JPS63290175A - 超音波モ−タ用ステ−タの製造方法 - Google Patents
超音波モ−タ用ステ−タの製造方法Info
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- JPS63290175A JPS63290175A JP62125327A JP12532787A JPS63290175A JP S63290175 A JPS63290175 A JP S63290175A JP 62125327 A JP62125327 A JP 62125327A JP 12532787 A JP12532787 A JP 12532787A JP S63290175 A JPS63290175 A JP S63290175A
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- stator
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- piezoelectric body
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
- H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、位相差をもつように配列された電極を有す
る圧電体に振動体を接着したステータ、およびそのステ
ータに加圧接触して回転運動を行なうロータからなる超
音波モータにおいて、前記圧電体に位相の異なる高周波
電圧を印加することによって、ステータに超音波振動を
起こし、その開田振動を利用してロータを駆動するステ
ータの製造方法に関するものである。
る圧電体に振動体を接着したステータ、およびそのステ
ータに加圧接触して回転運動を行なうロータからなる超
音波モータにおいて、前記圧電体に位相の異なる高周波
電圧を印加することによって、ステータに超音波振動を
起こし、その開田振動を利用してロータを駆動するステ
ータの製造方法に関するものである。
［発明の目的］
従来、超音波モータ用のステータを製造する場合、゛振
動体および圧電体を各部品として完成させた後、接着治
具に一組づつ組み付けながら接着を行なう方法を用いて
いた。
動体および圧電体を各部品として完成させた後、接着治
具に一組づつ組み付けながら接着を行なう方法を用いて
いた。
ところで、超音波モータの直径が例えば、２０ｍＩｍ以
下というように小さくなると各部品が小さいために、接
着の治具室てや段取りに時間を費やし、作業時間が多く
かかるという問題が新たに生じた。
下というように小さくなると各部品が小さいために、接
着の治具室てや段取りに時間を費やし、作業時間が多く
かかるという問題が新たに生じた。
この発明は、複数個の超音波モータ用電極パターンを設
けた、分極済の平板状圧電体に振動体を接着することに
より、一括してステータを製造する方法であり、 ■、ステータ１個当たりの接着工数が短縮された、ステ
ータの製造方法。
けた、分極済の平板状圧電体に振動体を接着することに
より、一括してステータを製造する方法であり、 ■、ステータ１個当たりの接着工数が短縮された、ステ
ータの製造方法。
■、ステータ１個当たりの接着時間が短縮された、ステ
ータの製造方法。
ータの製造方法。
■、治具立てが簡素化されたステータの製造方法。
を提供することを目的とする。
［発明の実施例］
以下図面を参照してこの発明の詳細な説明する。
第１図は、超音波モータ用ステータの外観図であり１１
はステータを示している。
はステータを示している。
ｌＯは、金属等によって作られている振動体、又、ｌは
、ＰＺＴ等の圧電体で位相差をもつように電橋が配列さ
れており、これらの振動体と圧電体は、相互に接着剤に
よって接着されている。なお、圧電体ｌは、焼結後、電
極パターンを描いてから分極処理を施しである。第２図
は、従来の超音波モータのステータ製造方法な表わして
いる。治具板１４に圧電体ｌを載せてから、エポキシ樹
脂系などの接着剤１２を均等に塗り、その上に振動体１
０を重ねあわせる。
、ＰＺＴ等の圧電体で位相差をもつように電橋が配列さ
れており、これらの振動体と圧電体は、相互に接着剤に
よって接着されている。なお、圧電体ｌは、焼結後、電
極パターンを描いてから分極処理を施しである。第２図
は、従来の超音波モータのステータ製造方法な表わして
いる。治具板１４に圧電体ｌを載せてから、エポキシ樹
脂系などの接着剤１２を均等に塗り、その上に振動体１
０を重ねあわせる。
次に、均等に加圧することができるように弾性質のクッ
ション材１３ａを接合しである加圧板１３によって所定
の加圧力Ｐで押えつけ、かつ一定加熱を行ないながら圧
電体ｌと振動体ＩＯを接着させていた。
ション材１３ａを接合しである加圧板１３によって所定
の加圧力Ｐで押えつけ、かつ一定加熱を行ないながら圧
電体ｌと振動体ＩＯを接着させていた。
第３図から第６図は、この発明に係る実施例を示してい
る。先ず第３図は、圧電体の仮止め図であり、図（ａ）
はその平面図、図（ｂ）はそのｘ−ｘ断面図である。図
（ａ）においては、複数個の超音波モータ用パターンが
描かれた圧電体２１が示されている。この圧電体２１は
、焼結した平板状の圧電体で複数個の電極パターン２２
を描き、その後一括して所定の分極処理を行なっである
。図（ｂ）において、治具板３０にはワックスなどの仮
止め用の接着剤３１を均一に塗布し、その面に圧電体２
１を接着させである。なおこの接着剤３１は、ステータ
完成の後には治具板３０から簡単に剥離出来る。
る。先ず第３図は、圧電体の仮止め図であり、図（ａ）
はその平面図、図（ｂ）はそのｘ−ｘ断面図である。図
（ａ）においては、複数個の超音波モータ用パターンが
描かれた圧電体２１が示されている。この圧電体２１は
、焼結した平板状の圧電体で複数個の電極パターン２２
を描き、その後一括して所定の分極処理を行なっである
。図（ｂ）において、治具板３０にはワックスなどの仮
止め用の接着剤３１を均一に塗布し、その面に圧電体２
１を接着させである。なおこの接着剤３１は、ステータ
完成の後には治具板３０から簡単に剥離出来る。
第４図は、圧電体切断後の状態を示すものであり図（Ｃ
）はその平面図、図（ｄ）はそのＹ−Ｙ断面図を表わす
。治具板３０に接着した圧電体２１から個々の超音波モ
ータ用圧電体ｌに切断した後、振動体ｌＯを接着させる
ためのエポキシ系などの接着剤１２が振動体との接着面
に均一に塗布されている状態を示しである。
）はその平面図、図（ｄ）はそのＹ−Ｙ断面図を表わす
。治具板３０に接着した圧電体２１から個々の超音波モ
ータ用圧電体ｌに切断した後、振動体ｌＯを接着させる
ためのエポキシ系などの接着剤１２が振動体との接着面
に均一に塗布されている状態を示しである。
第５図は、加圧状態を示すもので図（ｅ）はその平面図
、図（Ｆ）はそのＺ−Ｚ断面図を示している。面記第４
図に示すように、接着剤１２を塗った圧電体ｌに振動体
１０を位置合せして載せた後、クッション材３２ａを接
合しである加圧板３２で押えながら所定加圧Ｐ′及び加
熱を一定時間行なう。次に一定時間の経過後、加圧板３
２を外し圧電体ｌと振動体１０が一体となっているステ
ータ１１を取り外して前記接着剤３１を洗浄しステータ
を完成させる。
、図（Ｆ）はそのＺ−Ｚ断面図を示している。面記第４
図に示すように、接着剤１２を塗った圧電体ｌに振動体
１０を位置合せして載せた後、クッション材３２ａを接
合しである加圧板３２で押えながら所定加圧Ｐ′及び加
熱を一定時間行なう。次に一定時間の経過後、加圧板３
２を外し圧電体ｌと振動体１０が一体となっているステ
ータ１１を取り外して前記接着剤３１を洗浄しステータ
を完成させる。
なお、この工程では、平板状圧電体２１は振動体１０に
接着させる而に個々の電極パターンを有する圧電体ｌに
分離しであるが、上記に示した工程の一部を変更して、
平板上圧電体２１に振動体１０を接着させた後に所定の
圧電体ｌに分離するステータの製造方法も可能である。
接着させる而に個々の電極パターンを有する圧電体ｌに
分離しであるが、上記に示した工程の一部を変更して、
平板上圧電体２１に振動体１０を接着させた後に所定の
圧電体ｌに分離するステータの製造方法も可能である。
又、この発明は、重連の実施例に限定されるものではな
く、実施例以外の態様でもこの発明を実施しつるもので
ある。
く、実施例以外の態様でもこの発明を実施しつるもので
ある。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明によれば、複数個の超音
波モータ用電極パターンを設けた平板状圧電体に振動体
を接着することにより一括して超音波モータ用ステータ
を製造する方法のために、 ■ ステーター個当たりの接着工数が短縮される。
波モータ用電極パターンを設けた平板状圧電体に振動体
を接着することにより一括して超音波モータ用ステータ
を製造する方法のために、 ■ ステーター個当たりの接着工数が短縮される。
■ ステーター個当たりの接着時間が短縮される。
■ 一台の治具で複数個のステータを作るため治具立て
が簡素化される。
が簡素化される。
というきわめて有用な発明である。
第１図は、超音波モータ用ステータの外観図。
第２図は、従来の超音波モータ用のステータ製造法を示
す図。第３図（ａ）は、この発明の実施例を示す、圧電
体の仮止めの状態を示す平面図。第３図（ｂ）は、その
Ｘ−ｘ断面図。第４図（Ｃ）は、この発明の実施例を示
す圧電体切断後の状態を示す平面図。第４図（ｄ）は、
そのＹ−Ｙ断面図。第５図（ｅ）は、この発明の実施例
を示す、加圧状態を示すｆ面図。第５図（ｆ）は、その
２−２断面図である。 ｌ・・−圧電体、１０−・・振動体、１１−・・ステー
タ、１２−・・接着剤、ｌ ３−・・加圧板、１４−治
具板、２１−・・平板状の圧電体、２２・−電極パター
ン、３０−・・治具板、３１′・−接着剤、３２・−加
圧板。
す図。第３図（ａ）は、この発明の実施例を示す、圧電
体の仮止めの状態を示す平面図。第３図（ｂ）は、その
Ｘ−ｘ断面図。第４図（Ｃ）は、この発明の実施例を示
す圧電体切断後の状態を示す平面図。第４図（ｄ）は、
そのＹ−Ｙ断面図。第５図（ｅ）は、この発明の実施例
を示す、加圧状態を示すｆ面図。第５図（ｆ）は、その
２−２断面図である。 ｌ・・−圧電体、１０−・・振動体、１１−・・ステー
タ、１２−・・接着剤、ｌ ３−・・加圧板、１４−治
具板、２１−・・平板状の圧電体、２２・−電極パター
ン、３０−・・治具板、３１′・−接着剤、３２・−加
圧板。
Claims (3)
- （１） 複数個の超音波モータ用電極パターンを設けた
分極処理済の平板状圧電体及び、振動体に所定の圧力及
び温度をくわえながら接着材によって一括して接着する
ことを特徴とする超音波モータ用ステータの製造方法。 - （２） 前記平板状圧電体は、振動体との接着前に個々
の超音波モータ用電極パターンを有する圧電体に分離さ
れていることを特徴とする第一項記載の超音波モータ用
ステータの製造方法。 - （３） 前記平板状圧電体は、振動体との接着後に個々
の超音波モータ用電極パターンを有する圧電体に分離さ
れることを特徴とする第一項記載の超音波モータ用ステ
ータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125327A JPS63290175A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 超音波モ−タ用ステ−タの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125327A JPS63290175A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 超音波モ−タ用ステ−タの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63290175A true JPS63290175A (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=14907370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62125327A Pending JPS63290175A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 超音波モ−タ用ステ−タの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63290175A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02110992U (ja) * | 1989-02-20 | 1990-09-05 | ||
| EP1132979A2 (en) * | 2000-03-10 | 2001-09-12 | Seiko Instruments Inc. | Method of manufacturing piezoelectric actuator |
-
1987
- 1987-05-22 JP JP62125327A patent/JPS63290175A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02110992U (ja) * | 1989-02-20 | 1990-09-05 | ||
| EP1132979A2 (en) * | 2000-03-10 | 2001-09-12 | Seiko Instruments Inc. | Method of manufacturing piezoelectric actuator |
| EP1132979A3 (en) * | 2000-03-10 | 2003-12-03 | Seiko Instruments Inc. | Method of manufacturing piezoelectric actuator |
| US6779238B2 (en) | 2000-03-10 | 2004-08-24 | Seiko Instruments Inc. | Method of manufacturing piezoelectric actuator |
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