JPS6328429A

JPS6328429A - 弗素，過酸化水素含有廃水及び排ガスの処理方法及びその装置

Info

Publication number: JPS6328429A
Application number: JP61171027A
Authority: JP
Inventors: Yasunori Mori; 森　康修; Hiroharu Miyoshi; 弘治三好; Toshimichi Mihara; 三原　利道; Yuji Wakabayashi; 若林　裕治
Original assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Current assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Priority date: 1986-07-21
Filing date: 1986-07-21
Publication date: 1988-02-06
Anticipated expiration: 2010-09-13
Also published as: JPH0783819B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔卒業上の利用分野］本発明は、電子部品や電気部品等の製造工場から排出さ
れる弗素、過酸化水素含有廃水及び排ガスを処理する方
法及び装置に関するものである。

（従来の技術〕電子部品や電気部品の製造に於て、弗素化合物はエフ・
チング等の表面処理工程では欠くことのできない物質で
あり、一般に広く使用されている。

同時に、部品の洗浄等のために過酸化水素を使用するこ
とが多く、特に半導体製造工場に於ては、弗素化合物の
廃水に過酸化水素が混入しているＶ′。

合が多い。

廃水中に含まれる弗素化合物は、多種多様のものがある
が、半導体製造工場では弗酸や弗化アンモニウム等が代
表例である。

これらの弗素を廃水から除去する方法として、従来から
様々な方法が取ろれている。

主な処理方法としては１、 ■カルシュウム化合物添加＋沈澱分離法■アルミニウム
化合物添加士沈澱分離法■鉄塩添加　　　　　　　＋沈
澱分離法■上記　■、■、■の内２つ以上の組合せ■カ
ルシュウム塩＋リン酸塩＋沈澱法 ■活性アルミナによる吸着法 ■活性炭又は骨炭による吸着法等がある。

この内、水質汚濁防止法に於ける排水基準である弗素化
合物１５■／ｇを満足させる方法として、維持管理費が
比較的安価であることから、上記■〜■の凝集沈澱法が
広く採用されている。

然し、前述したように、凝集沈澱法を行なう系統に過酸
化水素が数十〜数万■／ｌの割合で混入する場合が多く
、このままでは過酸化水素による微細気泡が、カルシュ
ウム塩等によって形成されたフロックに付着して一旦沈
澱槽に沈澱したスラッジから気泡が発生し、フロックが
再浮上して沈澱槽から溢流し、次工程に流出してしまう
。このフロックの流出によって、処理水中に高濃度の弗
化物やＳＳが検出されることもあった。

そこで、過酸化水素の除去のために、従来から活性炭に
よる吸着法や、重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤ｌ主人
による化学反応法等が行なわれている。

第４図は重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤注入による化
学反応法を示す説明図で、弗素と過酸化水素を含む廃水
は、先ず、還元剤を添加する反応槽１に流入し、ここで
過酸化水素の分解を行なう。

次に、水酸化力ルシュウムを添加する反応槽２に流入し
、ここで弗化カルシュウムを生成する。更に、この弗化
カルシュウムを反応槽３に於て、高分子凝集剤によって
凝集させる。その後、沈澱槽４に流入して、スラッジを
底部から抜き取り、上部から処理水を吐出する。尚、沈
澱槽４での滞留時間は、一般に３〜５時間である。

又、例えば半導体工場から排出される排ガスとしては、
弗酸、塩酸、硝酸、硫酸等の酸系ガス、アンモニアガス
等のアルカリ系、アルコール、現像液等の有機系、シラ
ン、アルシン、ホスフィン等の前糸等があり、これらは
これらに応じたスクラバーによって処理されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

然し、従来方法では廃水と排ガスとが各別に処理される
ため、設備が大掛かりとなり望ましくなかった。

又、廃水の処理に於ても、活性炭吸着法はランニングコ
ストが高く、又、過酸化水素のみを選択的に吸着する訳
ではなく、有機物や金属等も多足に吸着してしまうので
、効率が良くない。還元荊注入法も維持管理費が掛かり
、運転管理も繁雑となる外、処理水には漱細なフロック
が混入し、良好な処理水を得ることが難しい、といった
問題がある。

〔発明の目的〕

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為された
もので、その目的は、弗素、過酸化水素の除去と排ガス
処理とを簡便な手段によって行なうことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係る弗素、過酸化水素含有廃水及び排ガスの処
理方法は、弗素、過酸化水素含有廃水と排ガスとを、上
部に排ガス処理用充填物を設け、下部に金属触媒を設け
たスクラバーに導入し、廃水を金属触媒に接触させて過
酸化水素を気泡化し、滴下する廃水に金属塩又は金属化
合物を添加して弗素化合物を生成した後、スクラバーか
ら排出して反応槽に於て高分子凝集剤を添加して弗素化
合物を凝集フロックとし、次いで加圧浮上槽の底部から
加圧水と共に流入させて固液を分離し、処理液の一部を
スクラバーの排ガス処理用充填物に散布しながら排ガス
を通過させるように構成したものである。

又、本発明に係る弗素、過酸化水素含有廃水及び排ガス
の処理装置は、上部に排ガス処理用充填物を設け、下部
に金属触媒を設け、排ガス処理用充填物と金属触媒との
間に弗素、過酸化水素含有廃水と排ガスとを各別に導入
する流入管を設け、排ガス処理用充填物の上部に吸収液
散布用管を設け、金属触媒の下部に滴下する廃水に金属
塩又は金属化合物と反応させる廃水貯溜槽を形成したス
クラバーと、このスクラバーと管路を介して連結し、高
分子凝集剤と廃水とを攪拌混合させる反応槽と、この反
応槽と管路を介して底部で連結し、上記管路に供給され
る加圧水と共に廃水を流入させ凝集フロックを分離する
加圧浮上槽と、この加圧浮上槽から導出された処理水を
貯溜する貯溜槽と、この貯溜槽と排ガス処理用充填物の
上部に設けた吸収液散布用管とを連結し、ポンプによっ
て貯溜槽中の処理水と所望の中和剤とを送水する吸収液
管路とから構成されたものである。

本発明に於て、金属塩としてはカルシュウム塩。

鉄塩等が好適である６又、金属化合物としてはカルシュ
ウム化合物、アルミニュウム化合物等が好適である。

〔発明の作用〕

本発明に於ては、弗素と過酸化水素とを含む廃水が、金
属塩又は金属化合物及び高分子凝集剤の添加によって弗
素化合物の凝集フロックを生成した後、加圧浮上槽内に
加圧水と共に流入されるから、加圧水が大気解放される
ことによって生じる微細気泡により、それまで凝集フロ
ックに殆ど付着していた気泡は浮上し除去されると同時
に廃水中に溶解している過酸化水素の一部も気泡化して
上昇して除去される。又、排ガスは、廃水処理済の処理
液を散布する排ガス処理用充填物を通過するから、処理
液に有害物が吸収されたり、中和されたりして排気され
る。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明に於けるプロセスを説明するための図で
ある。

図に於て、１０はスクラバーで、上部に排ガス処理用充
填＄５１）を設け、下部に金属触媒１２を設け、排ガス
処理用充填物１）と金属触媒１２との間に、弗素、過酸
化水素含有廃水を導入する管路に連結する散布管１３と
、排ガスを導入する管路１４とが各別に設けである。又
、排ガス処理用充填物１）の上部には、吸収液散布用管
１５を設け、金属触媒１２の下部には滴下する廃水に金
属塩又は金属化合物と反応させる廃水貯溜槽１６が形成
しである。この廃水貯溜槽１６には、撹拌用空気を導入
する管１７が設けである。そして、このスクラバー１０
には、上部に排ガスを排気する吐出口１８が設けである
。尚、金属触媒１２の材質としては、貴金属が最も良い
が、銅、鉄でも可能である。形状としては、円筒形状の
充填物或いは網状にして容器内に設置するようにしたも
のでも良い。

２０はこのスクラバー１０と管路１０を介して連結し、
高分子凝集剤と廃水とを攪拌混合させる反応槽である。

内部に攪拌器２１が設けである。

２３：よこの反応槽２０と管路２２を介して底部２４で
連結し、上記管路２２に供給される加圧水と共に賽水を
流入させ凝集フロックを分離する加圧浮上槽である。こ
の加圧浮上槽２３ではスラッジを排出する管路２５と処
理水を排出する管路２６とが上部に各別に設けである。

２７はこの加圧浮上槽２３から排出された処理水を貯溜
する貯溜槽である。この貯溜槽２７から処理水が排出さ
れる。

２８はこの貯溜槽２７と排ガス処理用充填Ｔｈ１）の上
部に設けた吸収液散布用管１５とを連結し、循環ポンプ
２９によって貯溜槽２７中の処理水と所望の中和剤とを
送水する吸収液管路である。

次に、このよう５こ構成された本実施例の作用を説明す
る。

弗素と過酸化水素とを含む廃水とυトガスは、それぞれ
散布管１３及び管路１４を介してスクラバー１０に導入
される。

そして、廃水は、金属触媒１２に散布管１３によって散
布されると、廃水中の過酸化水素が金属触媒１２と接触
することによって気泡化される。

そのため、酸素はスクラバー１０内を上昇し、廃水は下
方の廃水貯溜槽１６に滴下していく。

廃水貯溜槽１６では、所望の水酸化カルシュウが添加さ
れると共に攪１↑用空気が管１７を介して供給されてお
り、廃水中の弗素が水酸化カルシュウムと化学反応して
弗化カルシュウムを生成する。

次に、廃水貯溜槽１６で処理された廃水は、管路１９を
介して反応槽２０に送られる。反応槽２０では、所望量
添加される高分子凝集剤と攪拌器２１によって攪拌され
て、弗化カルシュウムの凝集してフロックを大きくする
。

その後、反応槽２０で処理された廃水は、管路２２を介
して加圧浮上槽２３の底部２４から加圧水と共に流入す
る。この際、加圧水が大気解放された時に生じる微細気
泡によって、それまでに凝集フロックに殆ど付着してい
た気泡が）平上し、除去される。同時に、加圧水による
微細気泡２こよって原水中に溶解している過酸化水素の
一部も気泡化し、上昇して除去される。

この加圧浮上槽２３に於ける「原水＋加圧水」の滞留時
間は１〜３時間とする。これは、一般に使用されている
加圧浮上槽の滞留時間は３０分前餞であるが、加圧浮上
槽１４内での過酸化水素の気泡発生を充分に行なわせる
ためである。

この気泡発生の効率を上げるためには、反応槽２０に銅
や鉄等を注入するか、他の排水系統で有機物が含まれる
水を混入することが有効である。

ここで、銅としては、硫酸鋼等があり、又、鉄としては
、硫酸第一鉄、硫酸第二鉄、塩化第一鉄。

塩化第二鉄等がある。又、有機系排水としては、し尿浄
化槽処理水、アルコール含有排水、脂肪酸含有排水等が
ある。

斯くして、加圧浮上槽２３でスラッジを除去した処理水
は、管路２６を介して貯溜槽２７に送られる。そして１
、ここ力）らポンプ２９によって吸収液管路２８を介し
てスクラバー１内の吸収液散布管６に送られ、排ガス処
理用充填物１）に散布される。

この吸収液散布管１５から散布される液は、排ガスの種
類に応して所望の薬液が添加されるが、本実施例では排
ガスが弗酸であるから、カセーソーダを添加してｐＨを
９〜１（Ｈこしである。

従って、管１４を介してスクラバー１０内に導入された
排ガス（弗酸）は、排ガス処理用充填物１）を通過する
時に液で中相されて吐畠ＤＩ８から排気される。

尚、上記実施例では、排ガスとして弗酸について説明し
たが、その他の酸系、アルカリ系、有段系、青光であっ
ても良い。その場合には、排ガスが酸系の場合にはカセ
ーヅーダを注入し、排ガスがアルカリ系の場合には塩酸
を注入する。又、有害物質が混入している場合には、そ
れらに応じた薬品を添加して除去するようにする。

又、吸収液散布管１５を介して循環される吸収ン夜の中
には、ＳＳは殆と゛ないが、カルシュウムカく溶解して
いるので、ポンプ２９は連袂運転して炭酸力ルシュウム
等の沈積を防止する。更に、スクラバー１０内の排ガス
処理用充填物１）と金属触媒１２にも、炭酸カルシュウ
ム等が沈積するので、定朋滴に塩酸を注入して、炭酸力
ルシュウムの固形物を塩化力ルシュウムの液に変えて目
詰まりを防止する。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、還元剤による過酸化水素
の分解プロセスが不要となる。フロックの流出が極めて
少なくなるので、良好な処理水が得られる。排ガス用ス
クラバーと兼用しているので、設備費及びスペースの面
で有利である。排ガス処理に使うカセーソーダ溶液によ
って弗素含有廃水の中和を為され、添加すべき水酸化力
ルシュウムの量を削減できるので、維持費が安（なる。

排ガス処理のための循環液は、通常その循環量の１）５
〜１／１０はオーバフローさせて廃水処理装置まで移送
する必要がない等の利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す説明図、第２図は従来例
を示す説明図である。１０・・・スクラバー、１）・・・排ガス処理用充填物
、１２・・・金属触媒、１３．１５・・・散布管、１４
・・・管、１６・・・廃水貯溜槽、２０・・・反応槽、
２３・・・加圧浮上槽、２７・・・貯溜槽、２８・・・
吸収液管路、２つ・・・循環ポンプ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）弗素、過酸化水素含有廃水と排ガスとを、上部に
排ガス処理用充填物を設け、下部に金属触媒を設けたス
クラバーに導入し、廃水を金属触媒に接触させて過酸化
水素を気泡化し、滴下する廃水に金属塩又は金属化合物
を添加して弗素化合物を生成した後、スクラバーから排
出して反応槽に於て高分子凝集剤を添加して弗素化合物
を凝集フロックとし、次いで加圧浮上槽の底部から加圧
水と共に流入させて固液を分離し、処理液の一部をスク
ラバーの排ガス処理用充填物に散布しながら排ガスを通
過させることを特徴とする弗素、過酸化水素含有廃水及
び排ガスの処理方法。
（２）金属塩が、カルシュウム塩、鉄塩等であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弗素過酸化水素
含有廃水及び排ガスの処理方法。
（３）金属化合物が、カルシュウム化合物、アルミニュ
ウム化合物等であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の弗素、過酸化水素含有廃水及び排ガスの処理
方法。
（４）排ガスが、弗酸、塩酸、硝酸、硫酸等の酸系ガス
、アンモニアガス等のアルカリ系、アルコール、現像液
等の有機系、シラン、アルシン、ホスフィン等の毒系等
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弗
素、過酸化水素含有廃水及び排ガスの処理方法。
（５）上部に排ガス処理用充填物を設け、下部に金属触
媒を設け、排ガス処理用充填物と金属触媒との間に弗素
、過酸化水素含有廃水と排ガスとを各別に導入する流入
管を設け、排ガス処理用充填物の上部に吸収液散布用管
を設け、金属触媒の下部に滴下する廃水に金属塩又は金
属化合物と反応させる廃水貯溜槽を形成したスクラバー
と、このスクラバーと管路を介して連結し、高分子凝集
剤と廃水とを攪拌混合させる反応槽と、この反応槽と管
路を介して底部で連結し、上記管路に供給される加圧水
と共に廃水を流入させ凝集フロックを分離する加圧浮上
槽と、この加圧浮上槽から導出された処理水を貯溜する
貯溜槽と、この貯溜槽と排ガス処理用充填物の上部に設
けた吸収液散布用管とを連結し、ポンプによって貯溜槽
中の処理水と所望の中和剤とを送水する吸収液管路とか
ら構成されたことを特徴とする弗素、過酸化水素含有廃
水及び排ガスの処理装置。