JPS63281439A - 焼き付けずれチェック方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は焼き付けずれチェック方法であって、隣り合う
焼き付けパターン夫々に第１．第２のチェックパターン
を重なり合うよう設け、上記第１゜第２のチェックパタ
ーンを構成する第１〜第４の矩形の間の長さを比較する
ことにより焼きｆＪｌプずれの方向及び量を筒中にチェ
ックＪる。

〔産業上の利用分野〕

本発明は焼き伺１ノずれチェック方法に関し、特にレヂ
クル、マスターマスクを焼き付ける際の隣り合う焼き付
けパターン間のずれをチェックする方法に関する。

半導体集積回路製造時のフォトエツヂングで用いられる
フォトマスクの製造は、 （１）　　レチクルの作製 ■　マスターマスクの作製 Ｇ　ワーキングマスクの作製 の順に行なわれる。

レチクルの作製を細い光の点をコンピュータ制御で露光
用データに従ってｘ−Ｙ方向に動かし乾板に焼き付ける
パターンジェネレータにより行なう場合には、設８１デ
ータを露光用データに変更する処理の高速化、パターン
ジェネレータの焼き付け可能な面積の限界等の理由で、
レチクルを分割してその各部分パターンを順次焼き付【
ノる方法がとられる。この場合、レチクルの各部分パタ
ーン間で焼き付けずれが生じないことが要望される。

また、ステップリピータを用いてレチクルを繰り返し乾
板に焼きｆ」けてマスターマスクを作製する際にも、半
導体集積回路が複数のフォトマスクを使用して製造され
るので、マスターマスク上の複数のレヂクル焼き付（プ
パターン間で焼き付けずれが生じないことが要望される
。

〔従来の技術〕

従来、レチクルの各部分パターン間の焼き付【ノずれは
、各部分パターンの境界において各部分パターンにまた
がる直線等のずれを検出することによって行なわれてい
る。

また、従来、複数のレヂクル焼き付けパターン間の焼き
付けずれは、各レヂクル焼き付けパターン上の特定点間
の距１ｉｌｔを測定することによって行なわれている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかるに、レチクルの各部分パターンにまたがるＸ方向
及びＹ７’ｉ向に延在する直線等をみつけることは困難
で各部分のＸ方向及びＹ方向のずれを測定することが困
難であり、このような直線がないとぎにはレチクルの各
部分間の焼きイ］けずれを検出できないという問題点が
ある。

また、各レヂクル焼きイ」けパターン上の特定点の距離
を測定するのは困何で、かつ誤差が大きく、Ｘ方向及び
Ｙ方向の正確な焼き付けずれを検出するのが困難である
という問題点があった。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、焼き付
けずれを簡単に検出でき、ずれ吊を正確に検出できる焼
き付けずれチェック方法を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の焼き伺けずれチェック方法は、各辺がＸ方向及
びＹ方向に一致する第１の矩形（１３）と、第１の矩形
（１３）をＸ方向及ヒＹ方向とは５￥なる方向に重なる
ことなく平行移動した第２の矩形（１４）とよりなる第
１のチェックパターン（１１）を一方の焼きイ」【ツバ
ターン（１０）　にｄよ（プ、 Ｘ方向又はＹ方向の直線を含む鏡映面に対する第１のチ
ェックパターンの鏡像又は鏡像と相似であり、第３の矩
形（２３）及び第４の矩形（２４）−眠　　　− とよりなる第２のチェックパターン（２１）を第１のチ
ェックパターン（１１）と噛み合い状態で重なり合うよ
う他方の焼き付けパターン（２０）に設（プ、 第１乃至第４の矩形（１３，１４，２３，２４）夫々の
間の長さくＸ＋　、Ｘ２　、Ｖ＋、Ｖ２　）を比較しＣ
一方及び他方の焼〆゛付けパターン（１０゜２０）相互
のＸ方向及びＹ方向のずれをチェックする。

〔作用〕

本発明方法においては第１及び第２のチェックパターン
（１１，２１＞の小なり具合により目視するだけで焼き
付けパターン（１０，２０）間のずれを検出でき、また
第１・〜第４の矩形（１３゜１４．２３．２４．）夫々
の間の長さくＸ＋　、Ｘ２　。

ｙ＋　、　！１／２　）を測定して、Ｘ方向のずれ聞ｌ
Ｘ＋−Ｘ２　１／２．Ｙ方向のずれｆｆ１ｌ’／＋　−
Ｖ２　ｌ／２夫々を正確に（９ることができる。

ＩＱ　　　　− 〔実施例〕 第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の焼き付けずれチェック
方法を適用したレチクルの各部分の平面図を示す。

ここで、レチクルはＸ方向にｍ列で、Ｘ７ノ向と直交す
るＹ方向にｎ行の部分に分割されるものとして、１列１
行（ｉ、ｊ夫々は１≦１≦ｍ、　１≦、」≦ｎの整数）
の部分パターンについて、値（１」−ｊ）が奇数のもの
を奇数部分パターン、値（ｉ＋ｊ）が偶数のものを偶数
部分パターンと呼ぶ。

偶数部分パターン１０は第１図（Δ）に示す如く、四辺
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ上に夫々、レチクルの
パターンと重ならない位置に第１チェックパターン１１
が設けられている。

第１チェックパターン１１は第２図（Ａ＞に示す如く矩
形１３．１４より構成されている。矩形１３は正方形で
その辺１３ａ、１３ｂはＸ方向。

Ｙ方向と一致している。矩形１４は矩形１３と合同テア
リ、辺１４ａ、１４ｂ夫々ハ辺１３ａ。

１３ｂ夫々の延長上にあり、辺１４−ａ、１４ｂのなす
角は辺１３ａ、１３ｂのなす角と一致している。

奇数部分パターン２０は第１図（Ｂ）に示す如く、四辺
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２Ｏｄ上に夫々レブクルのパ
ターンと重ならない位置に第２チエツクパターン２１が
設けられている。第１図（Ｂ）の奇数部分２０が第１図
（Ａ）の偶数部分１０の右隣りに辺１０ｄと辺２０ｂと
を重ねて焼き付（プられる場合には辺１０ｄ上の第１ヂ
１ツクパターンの位置に対応する辺２０ｂの１７に第２
チェックパターンが設（プられ、他の辺２０ａ。

２０Ｇ、２０６夫々においても第２チェックパターンは
隣接する奇数部分の第１チェックパターンと噛み合い状
態で重なり合う位置に設けられる。

第２ヂ■ツクパターン２１は矩形２３．２４より構成さ
れている。第２チェックパターン２１は第１チェックパ
ターン１１の鏡像である。この場合の鏡映面はＸ方向又
はＹ方向の直線を含む面である。また、矩形２３の辺２
３ａ、２３ｂ夫々はＸ方向、Ｙ万−自失々と一致してい
る。

−７＝ このため、例えば第１図（Ａ）の偶数部分パターン１０
の右隣りに第１図（Ｂ）の奇数部分パターン２０を焼き
イ」け、更に偶数部分パターン１０゜奇数部分パターン
２０夫々の下方に奇数部分パターン２０′、偶数部分パ
ターン１０’夫々を焼き何番プだとき第３図に示す状態
となる。ここで例えば偶数部分パターン１０と奇数部分
パターン２０との間で焼き句けずれが生じると第１．第
２チェックパターン１１．２１は第４図に示す如くなり
、目視するだ（）でずれを検出することができる。第４
図において、矩形２３．１４間ｆｆ１Ｖ＋及び矩形１３
．２４間長ｙ２を測定して比較すれば、ｙｌ〉ｙ２の場
合に奇数部分２０がＹ方向１方にずれ、ずれ量がｌＶ＋
　−Ｖ２１／２であることを検出できる。

また、矩形２３．１３間長さ×１及び矩形１４゜２４間
長さ×２を測定して比較すれば、Ｘ、＜×２の場合に奇
数部分２０がＸ方向左方にずれ、ずれＲがｌＸｌ−Ｘ２
１／２であることを検出できる。

−ａ　　　　− −８＝ また、マスターマスク上にｍ列ｎ行のレチクル焼き付け
パターンが設けられるとき、レチクルの部分と同様にし
て各レチクル焼きイ］ｌツバターンを奇数パターン、偶
数パターンと呼ぶ。

偶数パターン３０は第５図（Ａ）に示す如くパターン３
０の各辺３０ａ〜３０ｄの外方に第１ブエツクパターン
１１が設りられている。各第１チエツクパターン１１の
辺１３ａ、１３ｂ夫々はＸ方向、Ｙ方向夫々と一致して
いる。

奇数パターン３１は第５図（Ｂ）に示す如くパターン３
１の各辺３１ａ−３１６の外力に第２ヂ■ツクパターン
２１が設（すられている。各第２チエツクパターン２１
の矩形２３の辺２３ａ、２３ｂ夫々はＸ方向、Ｙ方向人
々に一致している。

各辺３１ａ〜３１ｄの外方に設けられた第２チェックパ
ターン２１は相隣る偶数パターンの第１チェックパター
ンと対応する位置に設【プられる。

マスターマスク上では各レチクル焼きイ・目シバターン
は所定距離だけ離間して配置されるが、この場合にも偶
数パターンの第１チエツクパターンと相隣る奇数パター
ンの第２チエツクパターンとが第４図に示す如く重なり
、長さｙ＋　、Ｖ２　、Ｘ＋　。

×２夫々を測定及び比較して焼き付けずれを検出できる
。

なお、矩形１３は長方形であっても良く、矩形１４は上
記矩形１３をＸ方向及び’ｌ’７Ｊ向と責なる方向に矩
形１３と重なることなく平行移動して得たものであって
も良く、上記実施例に限定されない。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明の焼き付けずれチェック方法によれ
ば、第１．第２のチェックパターンの重なり具合を目視
するだけで焼き付けずれを簡単に検出でき、また、第１
乃至第４の矩形夫々の間の長さによりＸ方向、Ｙ方向夫
々のずれ歩を正確に検出でき、実用上ぎわめで有用であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を適用したレチクルの各部分パター
ンの一実施例の平面図、 第２図はチェックパターンの平面図、 第３図は複数の部分パターンで構成されたレチクルを説
明するための図、 第４図はチェックパターンの重なり状態を示す図、 第５図は本発明方法を適用した各レチクル焼き付けパタ
ーンの一実施例の平面図である。 図において、 １０．２０は部分パターン、 １１は第１チェックパターン、 １３．１４．２３．２４は矩形、 ２１は第２チェックパターン、 ３０．３１はレチクル焼き付【プパターンである。 一ノ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　−ノ第３
図 ７４開昭６３−２８１４３９　（５） １ユ巾廿「゛

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　Ｘ方向及び該Ｘ方向と直交するＹ方向の少なくとも一
   方に隣り合って焼き付けられる焼き付けパターンのずれ
   をチェックする焼き付けずれチェック方法において、 各辺が該Ｘ方向及びＹ方向に一致する第１の矩形（１３
   ）と、該第１の矩形（１３）を該Ｘ方向及びＹ方向とは
   異なる方向に重なることなく平行移動した第２の矩形（
   １４）とよりなる第１のチェックパターン（１１）を一
   方の焼き付けパターン（１０）に設け、 該Ｘ方向又はＹ方向の直線を含む鏡映面に対する該第１
   のチェックパターンの鏡像又は該鏡像と相似であり、第
   ３の矩形（２３）及び第４の矩形（２４）とよりなる第
   ２のチェックパターン（２１）を該第１のチェックパタ
   ーン（１１）と噛み合い状態で重なり合うよう他方の焼
   き付けパターン（２０）に設け、 該第１乃至第４の矩形（１３，１４，２３，２４）夫々
   の間の長さ（ｘ＿１，ｘ＿２，ｙ＿１，ｙ＿２）を比較
   して該一方及び他方の焼き付けパターン（１０，２０）
   相互の該Ｘ方向及びＹ方向のずれをチェックすることを
   特徴とする焼き付けずれチェック方法。