JPS63281038A - Flaw detector for circuit board - Google Patents

Flaw detector for circuit board

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JPS63281038A
JPS63281038A JP11609287A JP11609287A JPS63281038A JP S63281038 A JPS63281038 A JP S63281038A JP 11609287 A JP11609287 A JP 11609287A JP 11609287 A JP11609287 A JP 11609287A JP S63281038 A JPS63281038 A JP S63281038A
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circuit board
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slice level
image
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山川 藤夫
Tsutomu Sakamoto
勉 坂本
Koichi Kobayashi
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Kazuo Chiiro
千色 一男
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Iwaki Electronics Co Ltd
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Iwaki Electronics Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To securely detect a minute flaw, as well by switching a slide level by two stages in real time corresponding to the conductor pattern part and clearance part of a circuit board being a body to be inspected. CONSTITUTION:Slide level generators 22a and 22b generate a slide level V1 a little bit higher than the normal signal level of the conductor pattern and a slide level V2 a little bit lower than the normal signal level of the clearance part and apply them to comparators 24a and 24b respectively. Normal image data on a circuit board which is not to be inspected are written previously in a template pattern memory 36 for pattern matching. Then an image signal from a camera 10 is compared by the comparators 24a and 24b with the slide levels V1 and V2 and converted into binarization data. One of those binarization data is selected according to an inspection place by controlling a switch circuit 32 with readout data from the pattern memory 36 and supplied to a serial/ parallel converter 26.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、カメラ等で捕らえた回路基板の画像信号を2
値化データに変換して画像メモリに記憶させ欠陥を検出
する装置に関し、更に詳しくは、2値化用スライスレベ
ルを回路基板の導体パターン部とクリアランス部とで2
段階に制御して、微細な亀裂や僅かな汚れ等でも検出で
きるようにした回路基板の欠陥検出装置に関するもので
ある。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Field of Application] The present invention combines image signals of a circuit board captured by a camera, etc.
Regarding a device that detects defects by converting it into digitized data and storing it in an image memory, more specifically, the slice level for binarization is divided into 2 levels between the conductor pattern part and the clearance part of the circuit board.
This invention relates to a circuit board defect detection device that can detect even minute cracks, slight dirt, etc. through step-by-step control.

[従来の技術] プリント配線基板やハイブリッドIC基板等の外観を光
学的に検査する装置においては、被検査物である回路基
板の画像は光の2次元の強度分布として与えられる。こ
れをディジタル画像処理するには、光電変換を行い、得
られたアナログ画像信号を更に2値化データに変換する
必要がある。
[Prior Art] In an apparatus for optically inspecting the appearance of printed wiring boards, hybrid IC boards, etc., an image of a circuit board as an object to be inspected is provided as a two-dimensional intensity distribution of light. In order to perform digital image processing on this, it is necessary to perform photoelectric conversion and further convert the obtained analog image signal into binary data.

被検査物である回路基板から得られた画像信号を2値化
処理する従来技術の一例を第3図に示す、従来の装置は
、カメラ10と、スライスレベル発生器12と、カメラ
1oがらの画像信号を一定のスライスレベル(電圧)■
と比較して2値化データに変換するコンパレータ14と
、該コンパレータ14からの直列データを並列データに
変換する直並列変換器16と、変換された並列データを
記憶する画像メモリ18、およびアドレスカウンタ20
等により構成されている。これらはクロック信号CLK
で同期がとられて動作する。
An example of a conventional technique for binarizing an image signal obtained from a circuit board as an object to be inspected is shown in FIG. 3. The conventional apparatus includes a camera 10, a slice level generator 12, and a camera 1o. Slice the image signal at a constant level (voltage)■
a comparator 14 that compares and converts the data into binary data, a serial/parallel converter 16 that converts the serial data from the comparator 14 into parallel data, an image memory 18 that stores the converted parallel data, and an address counter. 20
It is composed of etc. These are the clock signal CLK
It is synchronized and works.

カメラ10から得られた回路基板に関するアナログ画像
信号は、第4図に示すように、導体パターン部を示す低
レベル出力とクリアランス部を示す高レベル出力とが交
互に現れる。この画像信号はコンパレータ14において
、スライスレベル発生器12で上記高低両レベル出力の
中心値に予め設定したスライスレベルVと比較され、両
者の大小関係によって、例えば導体パターン部を示す’
IJもしくはクリアランス部を示す’OJの2値化デー
タに分別される。この2値化データは直列データとして
直並列変換器16に入力し、そこで8ビツトあるいは1
6ビツトの並列データに変換され画像メモリ18に記憶
される。
As shown in FIG. 4, in the analog image signal regarding the circuit board obtained from the camera 10, a low level output indicating a conductor pattern portion and a high level output indicating a clearance portion appear alternately. This image signal is compared in a comparator 14 with a slice level V, which is preset as the center value of the above-mentioned high and low level outputs in a slice level generator 12, and depending on the magnitude relationship between the two, it indicates, for example, a conductor pattern section.
It is classified into binary data of 'OJ' indicating IJ or clearance part. This binary data is input as serial data to the serial/parallel converter 16, where it is converted into 8-bit or 1-bit data.
The data is converted into 6-bit parallel data and stored in the image memory 18.

[発明が解決しようとする問題点] ところがこのような装置では、導体パターン上の大きな
亀裂aやクリアランス部の明らかな汚れbは前記スライ
スレベルVを横切るため検出できるが、導体パターン上
の微細亀裂Cは影が暗く、またクリアランス上の微小汚
れdはコントラストが小さいため検出できず、検出精度
が低い欠点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in such a device, large cracks a on the conductor pattern and obvious dirt b in the clearance part can be detected because they cross the slice level V, but fine cracks on the conductor pattern can be detected. In case C, the shadow was dark, and the minute dirt d on the clearance could not be detected due to the low contrast, resulting in low detection accuracy.

本発明の目的は、上記のような従来技術の欠点を解消し
、被検査物である回路基板の導体パターン部とクリアラ
ンス部とに対応してリアルタイムでスライスレベルを2
段階に切り換え、たとえ微細な欠陥であっても確実に検
出できるようにした回路基板の欠陥検出装置を提供する
ことにある。
An object of the present invention is to eliminate the drawbacks of the prior art as described above, and to change the slice level to two levels in real time corresponding to the conductor pattern portion and clearance portion of a circuit board to be inspected.
An object of the present invention is to provide a circuit board defect detection device that can detect even minute defects reliably by changing the steps.

[問題点を解決するための手段] 上記のような目的を達成することのできる本発明は、回
路基板上の導体パターン部から得られる正規の信号レベ
ルに近接した第1のスライスレベルとクリアランス部か
ら得られる正規の信号レベルに近接した第2のスライス
レベルを発生するスライスレベル発生器と、パターン照
合用のテンプレートパターンメモリと、該テンプレート
パターンメモリからの続出しデータに応じて前記2段階
のスライスレベルのいずれかに選択制御するスイッチ回
路を具備している回路基板の欠陥検出装置である。
[Means for Solving the Problems] The present invention, which can achieve the above-mentioned objects, has a first slice level close to the normal signal level obtained from the conductor pattern portion on the circuit board and a clearance portion. a slice level generator that generates a second slice level close to the normal signal level obtained from the second slice level; a template pattern memory for pattern matching; This is a circuit board defect detection device equipped with a switch circuit that selectively controls one of the levels.

ここでスライスレベルを切り換えるには、コンパレータ
を2個設けて各コンパレータに画像信号を印加し異なる
スライスレベルで2値化して、各出力をスイッチ回路で
切り換える構成としてもよいし、単一のコンパレータを
用い、スライスレベルをスイッチ回路で切り換えてコン
パレータに供給するように構成してもよい。
To switch the slice level here, it is also possible to provide two comparators, apply the image signal to each comparator, binarize it at a different slice level, and switch each output with a switch circuit, or use a single comparator. Alternatively, the slice level may be switched by a switch circuit and supplied to the comparator.

[作用] パターン照合用のテンプレートパターンメモリは回路基
板の導体パターン部とクリアランス部の形状を記憶して
おり、カメラから得られているアナログ画像信号が導体
パターン部を示すものであるかクリアランス部を示すも
のであるかが読み出される。この読出しデータによって
スイッチ回路が制御され、一方のスライスレベルを選択
してコンパレータから一つの2値化データを取り出し、
画像メモリに記憶させる。
[Function] The template pattern memory for pattern matching stores the shapes of the conductor pattern portion and the clearance portion of the circuit board, and checks whether the analog image signal obtained from the camera indicates the conductor pattern portion or the clearance portion. It is read out whether it is the one indicated. The switch circuit is controlled by this read data, selects one slice level, takes out one piece of binary data from the comparator,
Store in image memory.

本発明では、例えば導体パターン部を検出している時は
可能なかぎリスライスレベルを下げ、クリアランス部を
検出している時は可能な限りスライスレベルを高くする
というように、回路基板のパターン形状に応じてリアル
タイムでスライスレベルを2段階に切り換え、画像入力
信号を2値化データに変換して画像メモリに蓄積してい
る。これによって導体パターン部の微細亀裂やクリアラ
ンス部の小さな汚れなど微細な欠陥でも正確且つ確実に
検出することが可能となる。
In the present invention, for example, when detecting a conductor pattern part, the reslicing level is lowered as much as possible, and when detecting a clearance part, the slicing level is raised as much as possible. The slice level is switched between two levels in real time according to the image input signal, and the image input signal is converted into binary data and stored in the image memory. This makes it possible to accurately and reliably detect even minute defects such as minute cracks in the conductor pattern section and small stains in the clearance section.

[実施例] 第1図は本発明に係る回路基板の欠陥検出装置の一実施
例を示すブロック図である。本装置は、被測定物である
rgJ路基板基板像を電気信号に変換するカメーラ10
と、それにより得られるアナログ画像信号が並列に供給
される第1および第2のコンパレータ24a、24bと
、両コンパレータ24a、24bにそれぞれ異なるスラ
イスレベル(電圧)を印加する第1および第2のスライ
スレベル発生器22a、22bと、両コンパレータ24
a、24bの出力を切り換えるスイッチ回路32と、該
スイッチ回路32により選択された直列の2値化データ
を並列データに変換する直並列変換器26と、変換され
た並列データを記憶する画像メモリ28と、該画像メモ
リ28を制御するアドレスカウンタ30と、先行アドレ
スカウンタ34と、それにより前記画像メモリ2Bと並
列にアクセス可能なテンプレートパターンメモリ36と
、テンプレートパターンメモリ36からの読出しデータ
を記憶して前記スイッチ回路32を制御する並直列変換
器J8とを具備している。
[Embodiment] FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a circuit board defect detection apparatus according to the present invention. This device includes a camera 10 that converts an image of an RGJ road board, which is an object to be measured, into an electrical signal.
, first and second comparators 24a and 24b to which analog image signals obtained thereby are supplied in parallel, and first and second slices to which different slice levels (voltages) are respectively applied to both comparators 24a and 24b. Level generators 22a, 22b and both comparators 24
a switch circuit 32 that switches the outputs of 24a and 24b, a serial-parallel converter 26 that converts the serial binarized data selected by the switch circuit 32 into parallel data, and an image memory 28 that stores the converted parallel data. , an address counter 30 that controls the image memory 28, a preceding address counter 34, a template pattern memory 36 that can be accessed in parallel with the image memory 2B, and stores read data from the template pattern memory 36. A parallel-to-serial converter J8 that controls the switch circuit 32 is provided.

本発明が従来技術と顕著に相違する点は、第2図に示す
ように第1のスライスレベル発生器22aでは回路基板
上の導体パターン部の正規の信号レベルよりもやや高い
スライスレベルvlが生じ、第2のスライスレベル発生
器22bでは回路基板上のクリアランス部の正規の信号
レベルよりもやや低いスライスレベル■2が生じるよう
にし、テンプレートパターンメモリ36からの読出しデ
ータでスイッチ回路32を制御し、検査個所に応じてど
ちらか一方のスライスレベルが選択されるようにした点
である。
The difference between the present invention and the prior art is that, as shown in FIG. 2, the first slice level generator 22a generates a slice level vl that is slightly higher than the normal signal level of the conductor pattern on the circuit board. , the second slice level generator 22b generates a slice level (2) that is slightly lower than the normal signal level of the clearance portion on the circuit board, and controls the switch circuit 32 with data read from the template pattern memory 36; The point is that one of the slice levels is selected depending on the inspection location.

実際の動作は次のような手順で行われる。予めテンプレ
ートパターンメモリ36には、被検査物である回路基板
の正規の画像データをパターン照合用として書き込んで
おく。
The actual operation is performed in the following steps. Regular image data of a circuit board, which is an object to be inspected, is written in the template pattern memory 36 in advance for pattern matching.

カメラ10からの画像信号は、両コンパレータ24a、
24bによりそれぞれスライスレベル発生器22a、2
2bから送られてくる所定のスライスレベルV、、V、
と比較され、それらの大小関係によって’IJまたは’
OJの2値化データに変換される。これらの2値化デー
タはスイッチ回路32において、画像メモリ28と並5
列にアクセスされるテンプレートパターンメモリ36か
らの読出しデータを並直列変換器38で変換した直列信
号により選択制御される。つまり検査している個所が導
体パターン部であれば第1のコンパレータ24aの出力
が選ばれ、クリアランス部であれば第2のコンパレータ
24bの出力が選ばれる。このようにして一つの2値化
データのみが取り出されて直並列変換器2Gに供給され
る。
The image signal from the camera 10 is transmitted to both comparators 24a,
24b respectively slice level generators 22a, 2
The predetermined slice levels V, ,V, sent from 2b
'IJ or' depending on their size
It is converted into OJ binary data. These binarized data are stored in the image memory 28 and in parallel in the switch circuit 32.
Selection is controlled by a serial signal obtained by converting read data from the template pattern memory 36 accessed in a column by a parallel-to-serial converter 38. That is, if the part being inspected is a conductor pattern part, the output of the first comparator 24a is selected, and if the part being inspected is a clearance part, the output of the second comparator 24b is selected. In this way, only one piece of binary data is extracted and supplied to the serial/parallel converter 2G.

なおアドレスカウンタ30と先行アドレスカウンタ34
には動作の上から位相差が設けられている。これは画像
メモリ28にデータを記憶させる時点でカメラ10は1
〜2バイト分先方の画像データを出力しており、その差
1〜2バイト分先行させる必要があるからである。直並
列変換器26では直列に送られてきた2値化データが8
ビツトあるいは16ビツトの並列データに変換され、画
像メモリ28に記憶される。
Note that the address counter 30 and the preceding address counter 34
A phase difference is provided for the operation. This means that the camera 10 is 1 when data is stored in the image memory 28.
This is because the image data of ~2 bytes ahead is output, and it is necessary to advance the image data by 1~2 bytes. The serial-to-parallel converter 26 converts the serially sent binary data into 8
The data is converted into bit or 16-bit parallel data and stored in the image memory 28.

第2図からも明らかなように、本発明によれば照合用パ
ターンに対応したテンプレートパターンメモリ36で制
御される2つのスライスレベルV、、V!が正規の信号
レベルに近接して設定されているため、大きな亀裂aや
顕著な汚れbは熱論のこと、導体パターン部に存在する
微細な亀裂Cやクリアランス部に存在する僅かな汚れd
のように、たとえ微細な欠陥であっても正確且つ確実に
検出することが可能となる。
As is clear from FIG. 2, according to the present invention, two slice levels V, , V! are controlled by the template pattern memory 36 corresponding to the matching pattern. is set close to the normal signal level, large cracks (a) and noticeable stains (b) are caused by heat, while minute cracks (C) in the conductor pattern and slight stains (d) in the clearance area are caused by heat.
Thus, even minute defects can be detected accurately and reliably.

なお上記の実施例では2個のコンパレータを並設し、対
応する両スライスレベル発生器からの出力でそれぞれ2
値化データとし、それをスイッチ回路で選択制御してい
るが、単一のコンパレータを用い、スライスレベル発生
器の出力をスイッチ回路に供給して、該スイッチ回路で
選択された一つのスライスレベルをコンパレータに供給
するように構成してもよい。
Note that in the above embodiment, two comparators are installed in parallel, and the output from both corresponding slice level generators is 2.
Valued data is selected and controlled by a switch circuit, but a single comparator is used, the output of a slice level generator is supplied to the switch circuit, and one slice level selected by the switch circuit is The signal may be configured to be supplied to a comparator.

画像信号を得るためカメラを使用しているが、ラインイ
メージセンサ等の画像入力装置を用いてもよい。
Although a camera is used to obtain image signals, an image input device such as a line image sensor may also be used.

[発明の効果] 本発明は上記のように回路基板上の導体パターン部とク
リアランス部の正規の信号レベルにそれぞれ近接した2
段階のスライスレベルを用い、テンプレートパターンメ
モリからの読出しデータによってスイッチ回路を制御し
、上記2段階のスライスレベルの一方に切り換えて画像
信号の2値化処理を行っているから、導体パターン部に
微小な亀裂があっても、あるいはクリアランス部に僅か
な汚れがあっても正確且つ確実に検出できる優れた効果
がある。
[Effects of the Invention] As described above, the present invention provides two
The switch circuit is controlled by the read data from the template pattern memory, and the image signal is binarized by switching to one of the two slice levels. It has an excellent effect of accurately and reliably detecting even if there are large cracks or slight dirt in the clearance area.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る回路基板の欠陥検出装置の一実施
例を示すブロック図、第2図はその構出動作を示す波形
図、第3図は従来技術の一例を示すブロック図、第4図
はその動作を示す波形図である。 lO・・・カメラ、22a、22b・・・スライスレベ
ル発生器、24 a、  24 b・・・コンパレータ
、26・・・直並列変換器、28・・・画像メモリ・、
30・・・アドレスカウンタ、32・・・スイッチ回路
、34・・・先行アドレスカウンタ、36・・・テンプ
レートパターンメモリ、3日・・・並直列変換器。 特許出願人  いわき電子株式会社 代  理  人     茂  見     積第1図 6日 第2図 回路基板の位置 第3図 第4図 回路基板の位置
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the circuit board defect detection device according to the present invention, FIG. 2 is a waveform diagram showing its configuration operation, and FIG. 3 is a block diagram showing an example of the prior art. FIG. 4 is a waveform diagram showing the operation. lO...Camera, 22a, 22b...Slice level generator, 24a, 24b...Comparator, 26...Serial to parallel converter, 28...Image memory...
30...Address counter, 32...Switch circuit, 34...Preceding address counter, 36...Template pattern memory, 3rd...Parallel-serial converter. Patent applicant Iwaki Denshi Co., Ltd. Agent Shigeru Estimate Figure 1 6th Figure 2 Location of circuit board Figure 3 Figure 4 Location of circuit board

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、被検査物である回路基板からの画像信号を所定のス
ライスレベルと比較して2値化データに変換するコンパ
レータと、該コンパレータからの2値化データを記憶す
る画像メモリを備えた装置において、回路基板上の導体
パターン部から得られる正規の信号レベルに近接した第
1のスライスレベルとクリアランス部から得られる正規
の信号レベルに近接した第2のスライスレベルを発生す
るスライスレベル発生器と、パターン照合用のテンプレ
ートパターンメモリと、該テンプレートパターンメモリ
からの読出しデータに応じて前記2段階のスライスレベ
ルのいずれかに選択制御するスイッチ回路を具備してい
ることを特徴とする回路基板の欠陥検出装置。
1. In an apparatus equipped with a comparator that compares an image signal from a circuit board that is an object to be inspected with a predetermined slice level and converts it into binary data, and an image memory that stores the binary data from the comparator. , a slice level generator that generates a first slice level close to the normal signal level obtained from the conductor pattern portion on the circuit board and a second slice level close to the normal signal level obtained from the clearance portion; Defect detection for a circuit board, comprising a template pattern memory for pattern matching, and a switch circuit for selectively controlling one of the two slice levels according to data read from the template pattern memory. Device.
JP62116092A 1987-05-13 1987-05-13 Circuit board defect detection device Expired - Lifetime JPH0646183B2 (en)

Priority Applications (1)

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JPH0646183B2 JPH0646183B2 (en) 1994-06-15

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Cited By (2)

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US6440849B1 (en) 1999-10-18 2002-08-27 Agere Systems Guardian Corp. Microstructure control of copper interconnects
JP2013104876A (en) * 2011-11-14 2013-05-30 Leica Microsystems Cms Gmbh Method for measurement of lifetime of excitation state in sample

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