JPS63279153A - バイオセンサチツプ - Google Patents
バイオセンサチツプInfo
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- JPS63279153A JPS63279153A JP62113929A JP11392987A JPS63279153A JP S63279153 A JPS63279153 A JP S63279153A JP 62113929 A JP62113929 A JP 62113929A JP 11392987 A JP11392987 A JP 11392987A JP S63279153 A JPS63279153 A JP S63279153A
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Landscapes
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔Ｊ！要〕
平板状体の１面に、液状被検体の流路をなす溝が形成さ
れ、この溝に連通して形成された凹部中にバイオセンサ
本体が収容され、このバイオセンサ本体と前記の溝とは
第２の平板状体によってカバーされているバイオセンサ
チップである。
れ、この溝に連通して形成された凹部中にバイオセンサ
本体が収容され、このバイオセンサ本体と前記の溝とは
第２の平板状体によってカバーされているバイオセンサ
チップである。
本発明は、バイオセンサチップに関する。特に、生体触
媒等のバイオセンサを使用して、単一の液状被検体の各
種の化学的性質を検出するバイオセンサチップに関する
。
媒等のバイオセンサを使用して、単一の液状被検体の各
種の化学的性質を検出するバイオセンサチップに関する
。
近来、生体触媒等のバイオセンサを使用して、血液−尿
等の生体液の液状被検体に含まれる各種イオンの濃度を
一括して同時に測定する集合型バイオセンサが開発され
ている。た（、この集合型バイオセンサは、未だ開発途
上にあるため、その構造は実験室的構造である０例えば
１球体状の容器の外面に、棒状のバイオセンサが放射状
に取り付けられた構造等が一般である。
等の生体液の液状被検体に含まれる各種イオンの濃度を
一括して同時に測定する集合型バイオセンサが開発され
ている。た（、この集合型バイオセンサは、未だ開発途
上にあるため、その構造は実験室的構造である０例えば
１球体状の容器の外面に、棒状のバイオセンサが放射状
に取り付けられた構造等が一般である。
従来技術に係る集合型バイオセンサは、上記のとおり、
その構造が工業的に未成熟であり、使用上取り扱い上不
便であり、単一の集合型パイオセンサに取り付けられた
複数のバイオセンサのすべてに同一の条件で液状被検体
が接触するようにすることが困難であり、また、近接す
るバイオセンサが相互に干渉するおそれがあり、検出精
度が劣るという欠点がある。
その構造が工業的に未成熟であり、使用上取り扱い上不
便であり、単一の集合型パイオセンサに取り付けられた
複数のバイオセンサのすべてに同一の条件で液状被検体
が接触するようにすることが困難であり、また、近接す
るバイオセンサが相互に干渉するおそれがあり、検出精
度が劣るという欠点がある。
本発明の目的は、これらの欠点を解消することにあり、
取り扱いが便利でありすべてのバイオセンサに同一の条
件（液圧・流速・流れの方向・撹拌の状態・温度等の条
件）で液状被検体を接触させることができ、各バイオセ
ンサが相互に干渉することがなく、検出精度がすぐれて
いる集合型バイオセンサたるバイオセンサチップを提供
することにある。
取り扱いが便利でありすべてのバイオセンサに同一の条
件（液圧・流速・流れの方向・撹拌の状態・温度等の条
件）で液状被検体を接触させることができ、各バイオセ
ンサが相互に干渉することがなく、検出精度がすぐれて
いる集合型バイオセンサたるバイオセンサチップを提供
することにある。
上記の目的を達成するために本発明が採った手段は、平
板状体（１）の１面に、液状被検体の流路をなす溝（４
）を形成し、該溝（４）に連通して形成された四部（３
）中にバイオセンサ本体（７）を収容し、該バイオセン
サ本体（７）と前記溝（４）とは第２の平板状体（９）
をもってカバーしているバイオセンサチップを構成する
ことにある。
板状体（１）の１面に、液状被検体の流路をなす溝（４
）を形成し、該溝（４）に連通して形成された四部（３
）中にバイオセンサ本体（７）を収容し、該バイオセン
サ本体（７）と前記溝（４）とは第２の平板状体（９）
をもってカバーしているバイオセンサチップを構成する
ことにある。
なお、上記平板状体（１）の材料は、工業用プラスチッ
ク等の高分子化合物でも、ガラス等でも、また、シリコ
ン等の半導体でもよい、エツチングをなしうる材料であ
ればよい。
ク等の高分子化合物でも、ガラス等でも、また、シリコ
ン等の半導体でもよい、エツチングをなしうる材料であ
ればよい。
本発明に係るバイオセンサチップにあっては、複数のバ
イオセンサが相互に平行に配置されて単一の平板状部材
に埋め込まれ、各バイオセンサは、上記の平板状部材に
設けられた溝を介して液状被検体が供給されることにさ
れている。そのため、従来技術の場合と異なり、球状容
器の外周に複数のバイオセンサを取り付ける必要はなく
。
イオセンサが相互に平行に配置されて単一の平板状部材
に埋め込まれ、各バイオセンサは、上記の平板状部材に
設けられた溝を介して液状被検体が供給されることにさ
れている。そのため、従来技術の場合と異なり、球状容
器の外周に複数のバイオセンサを取り付ける必要はなく
。
取り扱いが便利であり、各バイオセンサには。
お−むね同一条件の液状被検体が供給されることになり
、精度は向上し、しかも、各バイオセンサは相互に遮断
されているから、相互に干渉することもなく、この点か
らも精度が向上する。
、精度は向上し、しかも、各バイオセンサは相互に遮断
されているから、相互に干渉することもなく、この点か
らも精度が向上する。
以下、図面を参照しつ一１本発明の一実施例に係るバイ
オセンサチップについてさらに説明する。
オセンサチップについてさらに説明する。
第２図参照
シリコン基板１を熱酸化し、その面上に約１．ｃｍ厚の
二酸化シリコン膜２を形成する。
二酸化シリコン膜２を形成する。
第３図参照
リソグラフィー法を使用して、バイオセンサ収容領域３
及び液状被検体用流路をなす溝４を形成する。この工程
はレジストをスピンコードしてレジスト膜（図示せず）
を形成した後、所望のパターンを有するフォトマスクを
使用して露光Ｏ現像して所望のパターンを有するエツチ
ング用レジストマスクを形成し、このエツチング用レジ
ストマスクを使用し、ツー／酸とフッ化アンモニウムと
の混合液をエッチャントとして使用して二酸化シリコン
１４５Ｉ２をパターニングし、このパターニングされた
二酸化シリコン膜２をマスクとし、３５％水醸化カリウ
ムをエッチャントとしてシリコン基板ｌをエツチングす
ればよい。
及び液状被検体用流路をなす溝４を形成する。この工程
はレジストをスピンコードしてレジスト膜（図示せず）
を形成した後、所望のパターンを有するフォトマスクを
使用して露光Ｏ現像して所望のパターンを有するエツチ
ング用レジストマスクを形成し、このエツチング用レジ
ストマスクを使用し、ツー／酸とフッ化アンモニウムと
の混合液をエッチャントとして使用して二酸化シリコン
１４５Ｉ２をパターニングし、このパターニングされた
二酸化シリコン膜２をマスクとし、３５％水醸化カリウ
ムをエッチャントとしてシリコン基板ｌをエツチングす
ればよい。
その後、再び熱酸化して、上記のバイオセンサ収容領域
３及び液状被検体用流路をなす溝４の内面をｓ 、 ｏ
ｏｏ入厚の二酸化シリコン膜（符号３．４と重畳して、
いずれを指すか不明瞭になるので、図に記入せず）５を
もってカバーする。完成したチップの典型的な大きさは
５−■×５層層程度であり、これを１枚のウェーハ上に
多数形成する。
３及び液状被検体用流路をなす溝４の内面をｓ 、 ｏ
ｏｏ入厚の二酸化シリコン膜（符号３．４と重畳して、
いずれを指すか不明瞭になるので、図に記入せず）５を
もってカバーする。完成したチップの典型的な大きさは
５−■×５層層程度であり、これを１枚のウェーハ上に
多数形成する。
第４図参照
再びリソグラフィー法を使用して、バイオセンサ用電極
・配線６を形成する。この工程は、エツチング法を使用
してもリフトオフ法を使用してもなしうるが、リフトオ
フ法を使用することを前提として述べると、まず、上記
と同様にしてバイオセンサ用電極・配線６のパターンを
有するレジストマスク（図示せず）を形成し、クロムを
５００人厚に蒸着した後、金をｌル鳳厚に蒸着し、その
後、レジストマスク（図示せず）を除去して、バイオセ
ンサ用電極・配線６を完成する。
・配線６を形成する。この工程は、エツチング法を使用
してもリフトオフ法を使用してもなしうるが、リフトオ
フ法を使用することを前提として述べると、まず、上記
と同様にしてバイオセンサ用電極・配線６のパターンを
有するレジストマスク（図示せず）を形成し、クロムを
５００人厚に蒸着した後、金をｌル鳳厚に蒸着し、その
後、レジストマスク（図示せず）を除去して、バイオセ
ンサ用電極・配線６を完成する。
第５図参照
生体触媒等のバイオセンサ本体７をバイオセンサ収容領
域３に固定する０例えば２グルコースオキシダーゼとウ
レアーゼとを牛血清アルブミンとグルタルアルデヒドと
を使用して、それぞれ別個のバイオセンサ収容領域３に
固定する。
域３に固定する０例えば２グルコースオキシダーゼとウ
レアーゼとを牛血清アルブミンとグルタルアルデヒドと
を使用して、それぞれ別個のバイオセンサ収容領域３に
固定する。
第１図参照
電極パッド領域に電極リード線用開口８を有するガラス
板９をカバーし、エボギシ系接着材をもって固定する。
板９をカバーし、エボギシ系接着材をもって固定する。
ＩＯは電極リード線用開口８を貫通した電極リード線で
ある。
ある。
以上説明せるとおり、本発明に係るバイオセンサチップ
は、複数のバイオセンサが相互に平行に配置されて単一
の平板状部材に埋め込まれ、各バイオセンサは、上記の
平板状部材に設けられた溝を介して液状被検体が供給さ
れることにされているので、従来技術の場合と異なり１
球状容器の外周に複数のバイオセンサを取り付ける等の
ことをする必要はなく、取り扱いが便利であり、各バイ
オセンサには、おへむね同一条件の液状被検体が供給さ
れることになり、精度は向上し、しかも。
は、複数のバイオセンサが相互に平行に配置されて単一
の平板状部材に埋め込まれ、各バイオセンサは、上記の
平板状部材に設けられた溝を介して液状被検体が供給さ
れることにされているので、従来技術の場合と異なり１
球状容器の外周に複数のバイオセンサを取り付ける等の
ことをする必要はなく、取り扱いが便利であり、各バイ
オセンサには、おへむね同一条件の液状被検体が供給さ
れることになり、精度は向上し、しかも。
各バイオセンサは相互に遮断されているから、相互に干
渉することもなく、この点からも精度が向上する。
渉することもなく、この点からも精度が向上する。
第１図は、本発明の一実施例に係るバイオセンサチップ
の平面図である。 第２〜５図は、本発明の一実施例に係るバイオセンサチ
ップの製造工程図である。 ｌ−φ・平板状体（シリコン基板）、 ２・−・二酸化シリコン膜、 ３・Φ・バイオセンサ収容領域、 ４・会・液状被検体の流路をなす溝、 ６＠ １１・バイオセンサ用電極偽配線、７・−・バイ
オセンサ本体、 ８−−・バイオセンサ電極リード線用開口、９・・・カ
バー（ガラス板）、 ｌＯ・・・バイオセンサ電極リード線用リード線。 工程図 ・ 第２図 工程図 第３図 工程図 第４図
の平面図である。 第２〜５図は、本発明の一実施例に係るバイオセンサチ
ップの製造工程図である。 ｌ−φ・平板状体（シリコン基板）、 ２・−・二酸化シリコン膜、 ３・Φ・バイオセンサ収容領域、 ４・会・液状被検体の流路をなす溝、 ６＠ １１・バイオセンサ用電極偽配線、７・−・バイ
オセンサ本体、 ８−−・バイオセンサ電極リード線用開口、９・・・カ
バー（ガラス板）、 ｌＯ・・・バイオセンサ電極リード線用リード線。 工程図 ・ 第２図 工程図 第３図 工程図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 平板状体（１）の１面に、液状被検体の流路をなす溝（
４）が形成され、 該溝（４）に連通して形成された凹部（３）中にバイオ
センサ本体（７）が収容され、 該バイオセンサ本体（７）と前記溝（４）とは第２の平
板状体（９）によってカバーされている ことを特徴とするバイオセンサチップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62113929A JPH0820396B2 (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | バイオセンサチツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62113929A JPH0820396B2 (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | バイオセンサチツプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63279153A true JPS63279153A (ja) | 1988-11-16 |
| JPH0820396B2 JPH0820396B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=14624730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62113929A Expired - Lifetime JPH0820396B2 (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | バイオセンサチツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820396B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101198460B1 (ko) | 2010-10-15 | 2012-11-06 | 한국과학기술원 | 플라스틱 바이오 센서 및 그 제조방법 |
| KR101198447B1 (ko) | 2010-10-13 | 2012-11-06 | 한국과학기술원 | 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5399885B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-01-29 | 株式会社朝日ラバー | バイオチップ基板の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5983047A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-05-14 | ビフオ−ク・アクチボラグ | 連続流通分析装置の一体的なマイクロ導管装置 |
-
1987
- 1987-05-11 JP JP62113929A patent/JPH0820396B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5983047A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-05-14 | ビフオ−ク・アクチボラグ | 連続流通分析装置の一体的なマイクロ導管装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101198447B1 (ko) | 2010-10-13 | 2012-11-06 | 한국과학기술원 | 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법 |
| KR101198460B1 (ko) | 2010-10-15 | 2012-11-06 | 한국과학기술원 | 플라스틱 바이오 센서 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0820396B2 (ja) | 1996-03-04 |
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