JPS63274509A - 切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、被切断基板を切断する際に用いる切断装置得
―１−−に関し、特に被切断基板を切断しかつ被切断基
板およびその部材を吸着する構成の切断装置用テーブル
に関するものである。

従来の技術 従来の技術として特開昭５９−１７４３１２号公報に記
載のダイシング装置がある。この装置は同一線上に設け
た回転ブレードを各々対応する回転軸により駆動し、か
つ夫々の切込み深さを独立に設定することにより、１度
のセツティングで完全切断を可能にすることを目的とし
たものである。

従来の技術例を第８図に示し説明する。シート１に接着
固定された半導体ウェハ２をＸ方向に移動可能なステー
ジ３に固定する。次にステージがゆっくり移動すると、
まず回転ブレード４で半導体ウェハ２の厚さを約μに切
断し、その後中央の回転ブレード６で完全に切断し、ス
テージ３は左端に移動する。次いで回転ブレード４，５
．６は所定のピッチだけＹ方向（紙面に垂直方向）に移
動する。ステージ３が右方向にゆっくり移動し始め、ま
ず回転ブレード６で半導体ウェハ２の厚さの約Ｗを切断
し、中央の回転ブレード５で完全切断される。以下同様
にして３つの回転ブレード４．５゜６を所定ピッチだけ
間欠的に移動させ、Ｘ方向のダイシングを終了させる。

次にステージ３を水平面内で９０’回転させ、Ｙ方向に
ついても同様にダイシングを行うものである。

発明が解決しようとする問題点 従来の技術例でみられるように被切断基板の切断はシー
トを用いることにより可能になる。しかし通常のテーブ
ルのみで被切断基板を完全切断することは困難である。

また一枚の被切断基板に一枚のシートが必要になり取扱
いが簡易ではない。

ブレードが被切断基板に接触し切断する際、シート厚み
のため被切断基板が振動するため従来例でみられるよう
に複数個のブレードを用いて切込み量を調整しなければ
ならない等の不利な点があった。そこで被切断基板を切
断する際、被切断基板が振動しない構造のテーブルが必
要であり、かつ被切断基板を完全切断でき、かつ切断後
被切断基板および部材をテーブルに吸着できることが必
要である。

本発明はかかる点に濫み、テーブル表面に溝を設は完全
切断できる構造のテーブルであり、被切断基板および部
材を真空吸着することができる。

問題点を解決するための手段 本発明は被切断物を載置する保持部材の上面に前記被切
断物を複数に切断するための切断溝と、前記被切断物を
真空吸着するための複数の溝とを形成し、この溝を前記
保持部材の下面まで連通ずるための複数の穴を前記保持
部材に形成し、前記複数の穴より空気を引くための真空
装置を設けたものである。

作用 上記のように本発明は保持部材の表面に溝を設は完全切
断できる構造であシ、切断時に被切断物は保持部材に真
空吸着され固定されるため、被切断物を固定するための
シートを必要とせず、刃物が被切断物に接触する際被切
断物が振動することもなく、被切断物および部材を保持
部材に吸着することができる。

実施例 以下、本発明の実施例について図面に基づいて説明する
。第１図は本発明の一実施例における切断装置の斜視図
である。第１図に示すように保持部材７と補助部材８を
ねじまたは接着剤で接合し、ダイシング装置またはスク
ライブ装置に装着し、被切断基板９を保持部材７上に設
置し、真空吸引溝から真空引きを行い切断する際保持部
材上の第１の＃４１ｏ上の被切断基板を真空吸着する。

その後切断溝１１に沿って被切断基板９を切断する際被
切断基板９の各切断端材を保持部材に真空吸着できる。

ダイシングのブレードが被切断基板９に接触する際被切
断基板９は保持部材７に真空吸着されるため振動するこ
ともなく精度よく完全切断できる。

次に実際に切断する被切断基板について説明する。第２
図において、液晶表示装置は透明電極１２とその上に配
向膜１３が付いた前面ガラス板１４と、τＦＴ素子（薄
膜トランジスタで構成され画素電極の印児電圧のスイッ
チングに用いるトランジスタ素子）部１６および画素部
１６とその上に配向膜１７が付いた液晶表示用基板１８
との間に、周辺部には予め所定のスペーサが混合された
シール剤１９があり、シール剤１９に囲まれたパネル中
に液晶２０、多数のスペーサ２１が存在している。そし
て偏光板２２．２３が前面ガラス板１４と液晶表示用基
板１８の両面に貼り付けられることにより構成される。

第３図は、基板１８側の構造を示すもので、Ｇは７７丁
素子のゲート電極、工は肥縁膜、ＡＶｉアモルファスシ
リコンよりなるチャンネル活性部、輩はノース１．ドレ
イン電極である。

実際に切断した被切断基板は液晶表示用基板であり、精
度よく安定に切断することができた。

次に本発明の切断装置用テーブルの構造について説明す
る。第４図は本発明の一実施例であるダイシング装置に
用いる切断装置用テーブルの表面から見た平面図である
。上述のように被切断基板９を真空吸着するための複数
の第１の溝１ｏとダイシング装置のブレードの通過する
切断溝１１を備え、さらに第１の溝１０と裏面にある第
２の溝をつなぐ結合穴２４を備えている。

第５図は本発明の一実施例であるダイシング装置に用い
る切断装置用テーブルを裏面から見た平面図である。被
切断基板９を真空吸着する際、真空経路の第２の溝２６
と補助部材８のはめ込みのだめの中ぐり２６と、装置か
ら真空吸引するための真空吸引溝２７！Ｌ　、２γｂ　
、２７０を備え、さらに表面の第１の溝１０と第２の溝
２５をつなぐ結合穴２４！Ｌを備えている。この結合穴
２４を通って溝２５およびこれに連通ずる溝１０の空気
が引かれる。

第６図に示すように真空装置２Ｂより空気を引くと溝２
７＆　、２７ｂ　、２７０より空気が引かれ、被切断基
板９は保持部材７に吸着され、この状態で切断溝１１部
分で切断される。切断後も個々の切断片は真空吸着状態
にある。

本発明の切断装置用テーブルをダイシングテーブルとし
て使用する場合、Ｘ方向を切断後テーブルを９０°回転
してＹ方向を切断する。また切断装置としてスクライバ
装置にも庚用できる。

このように、この実施例によれば、被切断基板を安定に
精度よく完全切断することができ、かつ切断後被切断基
板と切断端材を真空吸着することができ切断端材により
被切断基板を傷つけることがないという効果を有する。

発明の効果 以上のように本発明によれば次の効果を得ることができ
る。

（１）従来の製造方法で問題であったシート等を使用し
て完全切断する必要がなく、工数とコストの点で有利で
ある。

（２）　　被切断基板と切断端材は切断後真空吸着され
ているため切断破材により被切断基板を傷つけることが
ない。

（３）被切断基板は切断装置用テーブルに真空吸着され
固定されているため振動等がなく切断する際安定な完全
切断ができる。

（４）比較的安定に大量の処理を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における切断装置の斜視図、
第２図は液晶表示装置の断面図、第３図は同装置のＴＰ
Ｔ素子部および画素部の断面図、第４図は本発明の一実
施例における切断装置の要部を表面から見た平面図、第
６図は同切断装置の要部を裏面から見た平面図、第６図
は本発明の切断装置の断側面図、第７図は従来の切断装
置の原理図である。 ７・・・・・・保持部材、８・・・・・・補助部材、９
・・・・・・被切断基板、１ｏ・・・・・・第１の溝、
１１・・・・・・切断溝、２４゜２４ａ・・・・・・結
合穴、２６・・・・・・第２の溝、２６・・・・・・中
ぐり、２７１Ｌ　、２７ｂ　、２７０・−・・・・真空
吸引溝、２Ｂ・・・・・・真空装置。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名菓　
１ｔ！！ ≦　　　　　　憾 第　４　図 ／（、＋　２４ 第　５　図 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被切断物を載置する保持部材の上面に前記被切断
   物を複数に切断するための切断溝と前記被切断物を真空
   吸着するための複数の溝とを形成し、この溝を前記保持
   部材の下面まで連通するための複数の穴を前記保持部材
   に形成し、前記複数の穴より空気を引くための真空装置
   を設けた切断装置。
2. （２）保持部材の下面にも溝を形成し、この溝に複数の
   穴の一部を連通させ、前記保持部材の下面の前記溝を設
   けた部分を補助部材で覆うようにした特許請求の範囲第
   １項記載の切断装置。