JPS6327077A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
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- JPS6327077A JPS6327077A JP16954586A JP16954586A JPS6327077A JP S6327077 A JPS6327077 A JP S6327077A JP 16954586 A JP16954586 A JP 16954586A JP 16954586 A JP16954586 A JP 16954586A JP S6327077 A JPS6327077 A JP S6327077A
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- JP
- Japan
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- discharge
- discharge tube
- tube
- thinner
- gas laser
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- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
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- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
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- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置に関し、特に、異常放電を防止
するようにしたガスレーザ装置に関する〔従来の技術〕 ガスレーザ装置では、放電管の端部を金属の接合部で接
続及び保持する必要がある。特に複数のセグメント放電
管を使用するシステムではこの接合部を保持する金属等
はその数も多くなり、一般にこの接合部は安全のために
アースされている。
するようにしたガスレーザ装置に関する〔従来の技術〕 ガスレーザ装置では、放電管の端部を金属の接合部で接
続及び保持する必要がある。特に複数のセグメント放電
管を使用するシステムではこの接合部を保持する金属等
はその数も多くなり、一般にこの接合部は安全のために
アースされている。
この例を第３図及び第４図に示す。第４図は第３図のＡ
−Ａ線で切断した断面図である。図において、１は放電
管であり、上部１ａと下部１ｂの肉厚は同一である。こ
の放電管の内部にはレーザ媒質ガスが存在し、放電を行
わせる。２ａ及び２ｂは電極であり、上部の電極２ａは
後述の高周波電源に接続され、下部の電極２ｂはアース
されている。４は放電用の高周波電源であり、５は整合
用のりアクタンスである。６は接合部であり、通常金属
であり、安全のためアースされている。
−Ａ線で切断した断面図である。図において、１は放電
管であり、上部１ａと下部１ｂの肉厚は同一である。こ
の放電管の内部にはレーザ媒質ガスが存在し、放電を行
わせる。２ａ及び２ｂは電極であり、上部の電極２ａは
後述の高周波電源に接続され、下部の電極２ｂはアース
されている。４は放電用の高周波電源であり、５は整合
用のりアクタンスである。６は接合部であり、通常金属
であり、安全のためアースされている。
しかし、このようなガスレーザ装置においては第３図の
Ｂに示すような電極２ａと接合部６の間で異常放電が発
生することがあり、−旦、異常放電が発生すると、本来
の放電部３での正常の放電が行われなくなってしまう。
Ｂに示すような電極２ａと接合部６の間で異常放電が発
生することがあり、−旦、異常放電が発生すると、本来
の放電部３での正常の放電が行われなくなってしまう。
これは放電管上部ｌａ及び放電管下部１ｂを経て放電す
るのが正常であるが、放電上部１ａを基準として放電管
下部１ｂを経由するよりも直接接合部６に放電した方が
インピーダンスが低いからである。
るのが正常であるが、放電上部１ａを基準として放電管
下部１ｂを経由するよりも直接接合部６に放電した方が
インピーダンスが低いからである。
これを防止するために、下部電極２ｂを放電管の内部に
入れることも考えられるが、それでは電極がレーザ媒質
ガスによって酸化してしまう。
入れることも考えられるが、それでは電極がレーザ媒質
ガスによって酸化してしまう。
又、上部電極２ａ及び下部電極２ｂ間のインピーダンス
を下げるために放電管の肉厚を一様に薄くすることも有
効であるが、複数の放電管を使用する場合のバラストコ
ンデンサの機能を果たさせる点で難点がある。
を下げるために放電管の肉厚を一様に薄くすることも有
効であるが、複数の放電管を使用する場合のバラストコ
ンデンサの機能を果たさせる点で難点がある。
本発明の目的は上記問題点を解決し、バラストコンデン
サの機能を低下させることなく異常放電を防止するよう
にしたガスレーザ装置を提供することにある。
サの機能を低下させることなく異常放電を防止するよう
にしたガスレーザ装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、絶縁体から
なる放電管の管壁の外側に金属電極を設けた放電管内の
レーザ媒質ガスを高周波放電によって励起しレーザ光を
発生させるように構成したガスレーザ装置において、 放電管の一方の側の肉厚を他方より薄クシたことを特徴
とするガスレーザ装置を、 採用した。
なる放電管の管壁の外側に金属電極を設けた放電管内の
レーザ媒質ガスを高周波放電によって励起しレーザ光を
発生させるように構成したガスレーザ装置において、 放電管の一方の側の肉厚を他方より薄クシたことを特徴
とするガスレーザ装置を、 採用した。
放電管の下部の肉厚を薄（したので、下部の誘電体の部
分のコンデンサのインピーダンスが低くなり、放電は６
に飛ぶことなく常に正常に行われる。しかも上部の１ａ
の肉厚は十分厚いので、そこではバラストコンデンサの
機能を低下させることなく、正常放電を促し、異常放電
を防止する。
分のコンデンサのインピーダンスが低くなり、放電は６
に飛ぶことなく常に正常に行われる。しかも上部の１ａ
の肉厚は十分厚いので、そこではバラストコンデンサの
機能を低下させることなく、正常放電を促し、異常放電
を防止する。
以下本発明の一実施例を図面に基すいて説明する。
第１図及び第２図に本発明の一実施例のガスレーザ装置
の構成図を示す。第２図は第１図のＡ−Ａ線で切断した
断面図である。尚、第３図及び第４図と同一部分には同
一の符号が付しである。
の構成図を示す。第２図は第１図のＡ−Ａ線で切断した
断面図である。尚、第３図及び第４図と同一部分には同
一の符号が付しである。
図において、ｌは放電管であり、下部１ｂの肉厚は上部
１ａの肉厚に比べ薄くしである。この放電管の内部には
レーザ媒質ガスが存在し、放電を行わせる。２ａ及び２
ｂは電極であり、上部の電極２ａは後述の高周波電源に
接続され、下部の電極２ｂはアースされている。４は放
電用の高周波電源であり、５は整合用のりアクタンスで
ある。
１ａの肉厚に比べ薄くしである。この放電管の内部には
レーザ媒質ガスが存在し、放電を行わせる。２ａ及び２
ｂは電極であり、上部の電極２ａは後述の高周波電源に
接続され、下部の電極２ｂはアースされている。４は放
電用の高周波電源であり、５は整合用のりアクタンスで
ある。
６は接合部であり、通常金属であり、安全のためアース
されている。
されている。
このように、放電管の下部１ｂの肉厚を上部１ａより薄
くすることにより、バラストコンデンサの効果を上部１
ａの誘電体の部分で持たせ、下部１ｂの部分はインピー
ダンスを低くすることができ、正常な放電を促進し、異
常放電を防止する。
くすることにより、バラストコンデンサの効果を上部１
ａの誘電体の部分で持たせ、下部１ｂの部分はインピー
ダンスを低くすることができ、正常な放電を促進し、異
常放電を防止する。
上記の実施例では放電管を矩形状のものとじて説明した
が、円形の放電管においても下部を上部より薄（するこ
とにより、同様な効果をえることができる。
が、円形の放電管においても下部を上部より薄（するこ
とにより、同様な効果をえることができる。
以上説明したように本発明では、放電管の下部の肉厚を
上部の肉厚より薄＜シたので、バラストコンデンサの効
果を低下させることなく、異常放電を防止することがで
きる。
上部の肉厚より薄＜シたので、バラストコンデンサの効
果を低下させることなく、異常放電を防止することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例のガスレーザ装置の構成図、
第２図は第１図の切断図、
第３図は従来の放電管の断面図、
第４図は第３図の切断図である。
１−−−−−−・放電管−
１ａ・−・・−放電管上部
１ｂ・・−・・−放電管下部
２ ａ 、 ２ ｂ−−−−−・・電極３−・−放電部
４・−・・・・−高周波電源
特許出願人 ファナック株式会社
代理人 弁理士 服部毅巖
第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 絶縁体からなる放電管の管壁の外側に金属電極を設けた
放電管内のレーザ媒質ガスを高周波放電によって励起し
レーザ光を発生させるように構成したガスレーザ装置に
おいて、 放電管の一方の側の肉厚を他方より薄くしたことを特徴
とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16954586A JPH0754858B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16954586A JPH0754858B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6327077A true JPS6327077A (ja) | 1988-02-04 |
| JPH0754858B2 JPH0754858B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=15888463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16954586A Expired - Lifetime JPH0754858B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754858B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0389633A1 (en) * | 1988-09-09 | 1990-10-03 | Fanuc Ltd. | Discharge tube for a gas laser device |
| WO2017192285A1 (en) * | 2016-05-05 | 2017-11-09 | Access Laser | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| US10593776B2 (en) | 2016-05-05 | 2020-03-17 | Auroma Technologies, Co., Llc. | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP16954586A patent/JPH0754858B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0389633A1 (en) * | 1988-09-09 | 1990-10-03 | Fanuc Ltd. | Discharge tube for a gas laser device |
| US5151916A (en) * | 1988-09-09 | 1992-09-29 | Fanuc Ltd. | Electric discharge tube for gas laser |
| WO2017192285A1 (en) * | 2016-05-05 | 2017-11-09 | Access Laser | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| US10333268B2 (en) | 2016-05-05 | 2019-06-25 | Access Laser | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| US10593776B2 (en) | 2016-05-05 | 2020-03-17 | Auroma Technologies, Co., Llc. | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0754858B2 (ja) | 1995-06-07 |
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