JPH0754858B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH0754858B2 JPH0754858B2 JP16954586A JP16954586A JPH0754858B2 JP H0754858 B2 JPH0754858 B2 JP H0754858B2 JP 16954586 A JP16954586 A JP 16954586A JP 16954586 A JP16954586 A JP 16954586A JP H0754858 B2 JPH0754858 B2 JP H0754858B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- discharge tube
- laser device
- gas laser
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスレーザ装置に関し、特に、異常放電を防止
するようにしたガスレーザ装置に関する。
するようにしたガスレーザ装置に関する。
ガスレーザ装置では、放電管の端部を金属の接合部で接
続及び保持する必要がある。特に複数のセグメント放電
管を使用するシステムではこの接合部を保持する金属等
はその数も多くなり、一般にこの接合部は安全のために
アースされている。
続及び保持する必要がある。特に複数のセグメント放電
管を使用するシステムではこの接合部を保持する金属等
はその数も多くなり、一般にこの接合部は安全のために
アースされている。
この例を第３図及び第４図に示す。第４図は第３図のＡ
−Ａ線で切断した断面図である。図において、１は放電
管であり、上部1aと下部1bの肉厚は同一である。この放
電管の内部にはレーザ媒質ガスが存在し、放電を行わせ
る。2a及び2bは電極であり、上部の電極2aは後述の高周
波電源に接続され、下部の電極2bはアースされている。
４は放電用の高周波電源であり、５は整合用のリアクタ
ンスである。６は接合部であり、通常金属であり、安全
のためアースされている。
−Ａ線で切断した断面図である。図において、１は放電
管であり、上部1aと下部1bの肉厚は同一である。この放
電管の内部にはレーザ媒質ガスが存在し、放電を行わせ
る。2a及び2bは電極であり、上部の電極2aは後述の高周
波電源に接続され、下部の電極2bはアースされている。
４は放電用の高周波電源であり、５は整合用のリアクタ
ンスである。６は接合部であり、通常金属であり、安全
のためアースされている。
しかし、このようなガスレーザ装置においては第３図の
Ｂに示すような電極2aと接合部６の間で異常放電が発生
することがあり、一旦、異常放電が発生すると、本来の
放電部３での正常の放電が行われなくなってしまう。こ
れは放電管上部1a及び放電管下部1bを経て放電するのが
正常であるが、放電上部1aを基準として放電管下部1bを
経由するよりも直接接合部６に放電した方がインピーダ
ンスが低いからである。
Ｂに示すような電極2aと接合部６の間で異常放電が発生
することがあり、一旦、異常放電が発生すると、本来の
放電部３での正常の放電が行われなくなってしまう。こ
れは放電管上部1a及び放電管下部1bを経て放電するのが
正常であるが、放電上部1aを基準として放電管下部1bを
経由するよりも直接接合部６に放電した方がインピーダ
ンスが低いからである。
これを防止するために、下部電極2bを放電管の内部に入
れることも考えられるが、それでは電極がレーザ媒質ガ
スによって酸化してしまう。
れることも考えられるが、それでは電極がレーザ媒質ガ
スによって酸化してしまう。
又、上部電極2a及び下部電極2b間のインピダンスを下げ
るために放電管の肉厚を一様に薄くすることも有効であ
るが、複数の放電管を使用する場合のバランスコンデン
サの機能を果たさせる点で難点がある。
るために放電管の肉厚を一様に薄くすることも有効であ
るが、複数の放電管を使用する場合のバランスコンデン
サの機能を果たさせる点で難点がある。
本発明の目的は上記問題点を解決し、バラストコンデン
サの機能を低下させることなく異常放電を防止するよう
にしたガスレーザ装置を提供することにある。
サの機能を低下させることなく異常放電を防止するよう
にしたガスレーザ装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、 絶縁体からなる放電管の管壁の外側に金属電極を設けた
放電管内のレーザ媒質ガスを高周波放電によって励起し
レーザ光を発生させるように構成したガスレーザ装置に
おいて、 放電管の一方の側の肉厚を他方より薄くしたことを特徴
とするガスレーザ装置を、 採用した。
放電管内のレーザ媒質ガスを高周波放電によって励起し
レーザ光を発生させるように構成したガスレーザ装置に
おいて、 放電管の一方の側の肉厚を他方より薄くしたことを特徴
とするガスレーザ装置を、 採用した。
放電管の下部の肉厚を薄くしたので、下部の誘電体の部
分のコンデンサのインピーダンスが低くなり、放電は６
に飛ぶことなく常に正常に行われる。しかも上部の1aの
肉厚は十分厚いので、そこではバランスコンデンサの機
能を低下させることなく、正常放電を促し、異常放電を
防止する。
分のコンデンサのインピーダンスが低くなり、放電は６
に飛ぶことなく常に正常に行われる。しかも上部の1aの
肉厚は十分厚いので、そこではバランスコンデンサの機
能を低下させることなく、正常放電を促し、異常放電を
防止する。
以下本発明の一実施例を図面に基ずいて説明する。
第１図及び第２図に本発明の一実施例のガスレーザ装置
の構成図を示す。第２図は第１図のＡ−Ａ線で切断した
断面図である。尚、第３図及び第４図と同一部分には同
一の符号が付してある。
の構成図を示す。第２図は第１図のＡ−Ａ線で切断した
断面図である。尚、第３図及び第４図と同一部分には同
一の符号が付してある。
図において、１は放電管であり、下部1bの肉厚は上部1a
の肉厚に比べ薄くしてある。この放電管の内部にはレー
ザ媒質ガスが存在し、放電を行わせる。2a及び2bは電極
であり、上部の電極2aは後述の高周波電源に接続され、
下部の電極2bはアースされている。４は放電用の高周波
電源であり、５は整合用のリアクタンスである。６は接
合部であり、通常金属であり、安全のためアースされて
いる。
の肉厚に比べ薄くしてある。この放電管の内部にはレー
ザ媒質ガスが存在し、放電を行わせる。2a及び2bは電極
であり、上部の電極2aは後述の高周波電源に接続され、
下部の電極2bはアースされている。４は放電用の高周波
電源であり、５は整合用のリアクタンスである。６は接
合部であり、通常金属であり、安全のためアースされて
いる。
このように、放電管の下部1bの肉厚を上部1aより薄くす
ることにより、バラストコンデンサの効果を上部1aの誘
電体の部分で持たせ、下部1bの部分はインピーダンスを
低くすることができ、正常な放電を促進し、異常放電を
防止する。
ることにより、バラストコンデンサの効果を上部1aの誘
電体の部分で持たせ、下部1bの部分はインピーダンスを
低くすることができ、正常な放電を促進し、異常放電を
防止する。
上記の実施例では放電管を矩形状のものとして説明した
が、円形の放電管においても下部を上部より薄くするこ
とにより、同様な効果をえることができる。
が、円形の放電管においても下部を上部より薄くするこ
とにより、同様な効果をえることができる。
以上説明したように本発明では、放電管の下部の肉厚を
上部の肉厚より薄くしたので、バラストコンデンサの効
果を低下させることなく、異常放電を防止することがで
きる。
上部の肉厚より薄くしたので、バラストコンデンサの効
果を低下させることなく、異常放電を防止することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例のガスレーザ装置の構成図、 第２図は第１図の切断図、 第３図は従来の放電管の断面図、 第４図は第３図の切断図である。 １……放電管 1a……放電管上部 1b……放電管下部 2a、2b……電極 ３……放電部 ４……高周波電源
Claims (1)
- 【請求項１】絶縁体からなる放電管の管壁の外側に金属
電極を設けた放電管内のレーザ媒質ガスを高周波放電に
よって励起しレーザ光を発生させるように構成したガス
レーザ装置において、 放電管の一方の側の肉厚を他方より薄くしたことを特徴
とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16954586A JPH0754858B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16954586A JPH0754858B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6327077A JPS6327077A (ja) | 1988-02-04 |
| JPH0754858B2 true JPH0754858B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=15888463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16954586A Expired - Lifetime JPH0754858B2 (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754858B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274086A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置用放電管 |
| US10593776B2 (en) | 2016-05-05 | 2020-03-17 | Auroma Technologies, Co., Llc. | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| US10333268B2 (en) | 2016-05-05 | 2019-06-25 | Access Laser | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP16954586A patent/JPH0754858B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6327077A (ja) | 1988-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS554957A (en) | Gas type laser beam generator | |
| JPH0754858B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| DE3278834D1 (en) | Multi-section power capacitor with all-film dielectric | |
| CA1149003A (en) | Electron gun having a low capacitance cathode and grid assembly | |
| EP0308975B1 (en) | Cold cathode discharge tube | |
| GB1474841A (en) | Socket for busbars | |
| JP2606412B2 (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH01150376A (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| JPS5970426A (ja) | 金属板の歪取り方法 | |
| JP2841625B2 (ja) | 進行波管増幅器 | |
| JPH0239870B2 (ja) | ||
| JPH0535580Y2 (ja) | ||
| JPS60156765U (ja) | コンデンサ内蔵形パルスガスレ−ザ | |
| KR920005847Y1 (ko) | 전자레인지용 마그네트론의 음극지지부 세라믹구조 | |
| US4019154A (en) | Lightning rod mirror protection | |
| JPS6197983A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPH0376283A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS6366825A (ja) | マグネトロン | |
| JPH0422179A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH0215246Y2 (ja) | ||
| JPH0424974A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPS5670680A (en) | Gas laser tube | |
| JPS60237768A (ja) | スポツトキラ−回路 | |
| JPS58196082A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| Cilea et al. | Hollow cathode He-Zn laser with an additional command electrode. |