JPS61273850A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS61273850A JPS61273850A JP11601785A JP11601785A JPS61273850A JP S61273850 A JPS61273850 A JP S61273850A JP 11601785 A JP11601785 A JP 11601785A JP 11601785 A JP11601785 A JP 11601785A JP S61273850 A JPS61273850 A JP S61273850A
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- JP
- Japan
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- microwave
- light
- source device
- conductive member
- light source
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- Pending
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、マイクロ波放電を利用した光源装置に関す
るものである。
るものである。
第２図は例えば特願昭５９−３９９８０号明細書に示さ
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す図であ）、図
において、１−はマイクロ波を発振するマグネトロン、
２はマグネトロンアンテナ、３はマイクロ波が伝播する
導波管、４は導波管３の側壁に開口した通風口、５はマ
イクロ波共振空胴で、導波管３の端部に設けられた空胴
壁６と円筒形の金属メツシュのマイクロ波空胴壁からな
る光透過性部材７とから構成されている。８は空胴壁６
に設けられたマイクロ波の給電口で、導波管３よりマイ
クロ波共振空胴５内にマイクロ波を給電、゛ する
。９は共振空胴５内に配設された球形の無電、ｊ・１ ≧：極放電ランプで、このランプ９に取付けられた支、
ハ、 □゛ 持棒ｌＯが上記空胴壁６にナツト１１で支持
され゛ ている。１２は光透過性部材７ｔ−囲む光
反射板、ハ 、 １３はマグネトロンｌとランプ９を冷却するフ
ァ“ ン、１４は上記各部材を収容する筐体である
。
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す図であ）、図
において、１−はマイクロ波を発振するマグネトロン、
２はマグネトロンアンテナ、３はマイクロ波が伝播する
導波管、４は導波管３の側壁に開口した通風口、５はマ
イクロ波共振空胴で、導波管３の端部に設けられた空胴
壁６と円筒形の金属メツシュのマイクロ波空胴壁からな
る光透過性部材７とから構成されている。８は空胴壁６
に設けられたマイクロ波の給電口で、導波管３よりマイ
クロ波共振空胴５内にマイクロ波を給電、゛ する
。９は共振空胴５内に配設された球形の無電、ｊ・１ ≧：極放電ランプで、このランプ９に取付けられた支、
ハ、 □゛ 持棒ｌＯが上記空胴壁６にナツト１１で支持
され゛ ている。１２は光透過性部材７ｔ−囲む光
反射板、ハ 、 １３はマグネトロンｌとランプ９を冷却するフ
ァ“ ン、１４は上記各部材を収容する筐体である
。
′□ 次に動作について説明する。マグネトロン
１から発振されたマイクロ波はアンテナ２から導波管３
内を伝播し、給電口８よりマイクロ波共振空胴５内に放
射される。そしてこのマイクロ波により、 無電極
放電ランプ９内のガスおよび発光金属が放電励起され発
光する。この光は光透過性部材７ｆＩ−透過し、光反射
板１２で反射され外部へ放射する。
１から発振されたマイクロ波はアンテナ２から導波管３
内を伝播し、給電口８よりマイクロ波共振空胴５内に放
射される。そしてこのマイクロ波により、 無電極
放電ランプ９内のガスおよび発光金属が放電励起され発
光する。この光は光透過性部材７ｆＩ−透過し、光反射
板１２で反射され外部へ放射する。
光反射板１２は光の用途によ）種々の形状に設計″″ｒ
：″：Ｊ：：：：二：二：： ｊ５７ ＳＭ； ； 、
； ： ゛用い、光透過性部材７はステンレス製で厚み
０．１［、“０薄板を格子状にしたも′・格子′チ１“
・１ 線幅０．１ ｆｉである。また、マイクロ波
数電光源装−置は外部へ放出される光の効率がよいこと
が望ま゛。
：″：Ｊ：：：：二：二：： ｊ５７ ＳＭ； ； 、
； ： ゛用い、光透過性部材７はステンレス製で厚み
０．１［、“０薄板を格子状にしたも′・格子′チ１“
・１ 線幅０．１ ｆｉである。また、マイクロ波
数電光源装−置は外部へ放出される光の効率がよいこと
が望ま゛。
れているため、光透過性部材７の開口率を上げ、しかも
光透過性部材からマイクロ波の漏れを少な ゛くす
る必要から、マイクロ波、特に基本発振周波数のマイク
ロ波の漏れを考慮して光透過性部材の ：厚みや開
口部のピッチ、線幅が決定されている。
光透過性部材からマイクロ波の漏れを少な ゛くす
る必要から、マイクロ波、特に基本発振周波数のマイク
ロ波の漏れを考慮して光透過性部材の ：厚みや開
口部のピッチ、線幅が決定されている。
従来のマイクロ波放電光源装置は以上のように構成され
ているので、マイクロ波の基本波以外のマイクロ波の漏
洩については考慮されておらず、 □特に高調波
に対しては漏洩が防止されていない問題点があった。
ているので、マイクロ波の基本波以外のマイクロ波の漏
洩については考慮されておらず、 □特に高調波
に対しては漏洩が防止されていない問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、マイクロ波の高調波の外部への漏洩も防止で
きるようにしたマイクロ波光源装置を得ることを目的と
する。
たもので、マイクロ波の高調波の外部への漏洩も防止で
きるようにしたマイクロ波光源装置を得ることを目的と
する。
この発明に係るマイクロ波放電光源装置は、光反射板の
開口部を、光は透過するがマイクロ波は反射する導電性
部材で閉塞し、マイク四肢共振空胴壁面と光反射板およ
び導電性部材からなる空間 □° をマイクロ
波の高調波の共振空間としたものであ（ぐ ゛る。
開口部を、光は透過するがマイクロ波は反射する導電性
部材で閉塞し、マイク四肢共振空胴壁面と光反射板およ
び導電性部材からなる空間 □° をマイクロ
波の高調波の共振空間としたものであ（ぐ ゛る。
□ 〔作 用〕
この発明におけるマイクロ波放電光源装置は、マイクロ
波共振空胴壁面と光反射板および導電性゛ 部材か
らなる空間を高調波の共振空間としたこと、 で、
この共振空間に高調波の電磁界が高ま）、抵抗損失が多
くなって高調波の外部への漏洩を防止することができる
。
波共振空胴壁面と光反射板および導電性゛ 部材か
らなる空間を高調波の共振空間としたこと、 で、
この共振空間に高調波の電磁界が高ま）、抵抗損失が多
くなって高調波の外部への漏洩を防止することができる
。
１、 以下、この発明の一実施例を図について説
明する。第１図において、符号１〜１４は第２図に示し
た従来のものと同一である。１５は光反射板１２の開口
部よル内方側に配設した光は透過するがマイクロ波は反
射するメツシュ部材からなる導電性部材で、この導電性
部材１５は分割された反射板１２の７ランプ部１２ａ、
１２ｂに挾持されて取付けられている。これにより、光
透過性部材７と光反射板１２および導電性部材１５とで
囲まれた高調波の共振空間１６が構成される。上記光反
射板１２は光学系条件とマイクロ波の高調波の共振条件
とを満足するようにしであるが、光学系を主体に光反射
板を設計し、その後、導電性部材１５を共振条件を満足
する位置に決め、その位置で光反射板１２ｔ−分割して
導電性部材１５を取付けるので、光反射板は光学系のみ
を考慮して設計できる。また、光反射板１５は空胴壁６
にマイクロ波が漏洩しないように接続されている。マイ
クロ波が漏洩しない接続方法は接続部全域を電気的に連
続するようにするか、接続しろ幅をマイクロ波に対して
カットオフになるように長くし圧接すれば □よい
。
明する。第１図において、符号１〜１４は第２図に示し
た従来のものと同一である。１５は光反射板１２の開口
部よル内方側に配設した光は透過するがマイクロ波は反
射するメツシュ部材からなる導電性部材で、この導電性
部材１５は分割された反射板１２の７ランプ部１２ａ、
１２ｂに挾持されて取付けられている。これにより、光
透過性部材７と光反射板１２および導電性部材１５とで
囲まれた高調波の共振空間１６が構成される。上記光反
射板１２は光学系条件とマイクロ波の高調波の共振条件
とを満足するようにしであるが、光学系を主体に光反射
板を設計し、その後、導電性部材１５を共振条件を満足
する位置に決め、その位置で光反射板１２ｔ−分割して
導電性部材１５を取付けるので、光反射板は光学系のみ
を考慮して設計できる。また、光反射板１５は空胴壁６
にマイクロ波が漏洩しないように接続されている。マイ
クロ波が漏洩しない接続方法は接続部全域を電気的に連
続するようにするか、接続しろ幅をマイクロ波に対して
カットオフになるように長くし圧接すれば □よい
。
上記のように構成したマイクロ波放電光源装置の動作は
従来の場合と同じであるが、この発明ではマイクロ波の
高調波を外部へ漏洩しないようにしたものである。すな
わち、光透過性部材７と光反射板１２および導電性部材
１５とで囲まれる共振空間１６を高調波に対して共振状
態としたことで、共振空間１６に高調波の電磁界が高ま
シ、共振空間１６を構成する部分の抵抗損失が多くなつ
て高調波の外部への漏洩が防止できる。
従来の場合と同じであるが、この発明ではマイクロ波の
高調波を外部へ漏洩しないようにしたものである。すな
わち、光透過性部材７と光反射板１２および導電性部材
１５とで囲まれる共振空間１６を高調波に対して共振状
態としたことで、共振空間１６に高調波の電磁界が高ま
シ、共振空間１６を構成する部分の抵抗損失が多くなつ
て高調波の外部への漏洩が防止できる。
なお、マイクロ波放電光源装置の具体例として、円筒状
の光透過部材はステンレス製で厚す０．１ ｆｉｌ。
の光透過部材はステンレス製で厚す０．１ ｆｉｌ。
線幅０．１１１１１．格子ピッチ１．２１ｍｌで、光透
過率は約８５俤のものを使用し、マイクロ波の基本周波
数は２４５０ＭＨ２，電力８００Ｗのマイクロ波、導電
性部材１５にタングステンの線径０．０２諺、ピッチが
約９．５ｍ、光開口率は約９５％のものを用い、基本波
の第６高調波の共振条件になるようにしたものを用いた
。
過率は約８５俤のものを使用し、マイクロ波の基本周波
数は２４５０ＭＨ２，電力８００Ｗのマイクロ波、導電
性部材１５にタングステンの線径０．０２諺、ピッチが
約９．５ｍ、光開口率は約９５％のものを用い、基本波
の第６高調波の共振条件になるようにしたものを用いた
。
また、上記導電性部材１５はマイクロ波損失の大きい例
えば導電性の低い部材の方が実質的に外部へ漏れる高調
波量が少なくなる。
えば導電性の低い部材の方が実質的に外部へ漏れる高調
波量が少なくなる。
以上説明したようにこの発明によれば、光反射板の開口
部を光は透過するがマイクロ波は反射する導電性部材で
閉塞したので、円筒形の光透過性部材と光反射板および
導電性部材で囲まれた共振空間によって高調波の外部へ
の漏洩が効果的に防止できる。
部を光は透過するがマイクロ波は反射する導電性部材で
閉塞したので、円筒形の光透過性部材と光反射板および
導電性部材で囲まれた共振空間によって高調波の外部へ
の漏洩が効果的に防止できる。
第１図はこの発明の一実施例を示すマイクロ波放電光源
装置の構成図、第２図は従来のマイクロ波放電光源装置
の構成図である。 ３・・・導波管、５・・・マイクロ波共振空胴、７・・
・光透過性部材、８・・・給電口、９・・・無電極放電
ランプ、１２・・・光反射板、１５・・・導電性部材、
１６・・・共振空間。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
装置の構成図、第２図は従来のマイクロ波放電光源装置
の構成図である。 ３・・・導波管、５・・・マイクロ波共振空胴、７・・
・光透過性部材、８・・・給電口、９・・・無電極放電
ランプ、１２・・・光反射板、１５・・・導電性部材、
１６・・・共振空間。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (4)
- （１）少なくとも壁面の一部が光は透過するがマイクロ
波は反射する部材で構成されたマイクロ波共振空胴、こ
の空胴内に配設された無電極放電ランプ、上記マイクロ
波共振空胴の壁面の外周に配設された光反射板を備えた
マイクロ波放電光源装置において、上記光反射板の開口
部を光は透過するがマイクロ波は反射する導電性部材で
閉塞し、上記マイクロ波共振空胴壁と光反射板および導
電性部材からなる空間がマイクロ波の高調波の共振空間
としたことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。 - （２）導電性部材が光反射板の開口部より内方に配設し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマイク
ロ波放電光源装置。 - （３）導電性部材がメッシュ部材としたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項および第２項記載のマイクロ波
放電光源装置。 - （４）導電性部材が導電性の低い部材としたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項ないし第３項記載のマイク
ロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11601785A JPS61273850A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11601785A JPS61273850A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61273850A true JPS61273850A (ja) | 1986-12-04 |
Family
ID=14676738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11601785A Pending JPS61273850A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61273850A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6424398A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-26 | Fusion Systems Corp | Microwave discharge light source |
| KR100421387B1 (ko) * | 2001-09-28 | 2004-03-09 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로파를 이용한 조명시스템의 도파관 구조 |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP11601785A patent/JPS61273850A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6424398A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-26 | Fusion Systems Corp | Microwave discharge light source |
| KR100421387B1 (ko) * | 2001-09-28 | 2004-03-09 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로파를 이용한 조명시스템의 도파관 구조 |
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