JPH0427087Y2 - - Google Patents
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- JPH0427087Y2 JPH0427087Y2 JP6148385U JP6148385U JPH0427087Y2 JP H0427087 Y2 JPH0427087 Y2 JP H0427087Y2 JP 6148385 U JP6148385 U JP 6148385U JP 6148385 U JP6148385 U JP 6148385U JP H0427087 Y2 JPH0427087 Y2 JP H0427087Y2
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- JP
- Japan
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- microwave
- source device
- light source
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- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 7
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、マイクロ波放電を利用したマイク
ロ波放電光源装置に関するものである。
ロ波放電光源装置に関するものである。
第２図は例えば特開昭56−126250号公報に示さ
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面図
であり、図において、１はマイクロ波を発振する
マグネトロン、２はマグネトロンアンテナ、３は
マイクロ波が伝搬する導波管で、管壁に通風口４
があいている。５は導波管３と連通する空胴壁、
６はマイクロ波は反射されるが光は通過する導電
材料からなる網体であつて、空胴壁５の前面開口
部にリング状の固定枠７と共にねじ８で取付けて
ある。９は空胴壁５の形状が回転対称形に形成さ
れ前面を網体６で覆つたマイクロ波共振空胴、１
０は導波管３よりマイクロ波を共振空胴９内に給
電するマイクロ波給電口、１１は共振空胴９内に
配設された球形の無電極ランプ、１２はマグネト
ロン１と無電極ランプ１１を冷却するフアン、１
３は上記これらの各部を覆う筺体である。また、
第３図ａは上記網体６の平面図であり、ｂはその
一部の拡大図であつて、１４は網体６を構成する
導電性のメツシユ部材である。
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面図
であり、図において、１はマイクロ波を発振する
マグネトロン、２はマグネトロンアンテナ、３は
マイクロ波が伝搬する導波管で、管壁に通風口４
があいている。５は導波管３と連通する空胴壁、
６はマイクロ波は反射されるが光は通過する導電
材料からなる網体であつて、空胴壁５の前面開口
部にリング状の固定枠７と共にねじ８で取付けて
ある。９は空胴壁５の形状が回転対称形に形成さ
れ前面を網体６で覆つたマイクロ波共振空胴、１
０は導波管３よりマイクロ波を共振空胴９内に給
電するマイクロ波給電口、１１は共振空胴９内に
配設された球形の無電極ランプ、１２はマグネト
ロン１と無電極ランプ１１を冷却するフアン、１
３は上記これらの各部を覆う筺体である。また、
第３図ａは上記網体６の平面図であり、ｂはその
一部の拡大図であつて、１４は網体６を構成する
導電性のメツシユ部材である。
次に動作について説明する。マグネトロン１か
ら発振されたマイクロ波はアンテナ２から導電管
３内を伝搬し、給電口１０より共振空胴９内に放
射される。そして共振空胴９内のマイクロ波によ
り無電極ランプ１１内のガスが放電励起されて発
光する。この光は網体６のメツシユ部材１４を通
過して外部に放射される。
ら発振されたマイクロ波はアンテナ２から導電管
３内を伝搬し、給電口１０より共振空胴９内に放
射される。そして共振空胴９内のマイクロ波によ
り無電極ランプ１１内のガスが放電励起されて発
光する。この光は網体６のメツシユ部材１４を通
過して外部に放射される。
上記のように構成したマイクロ波放電光源装置
においては、マグネトロン１から発振されたマイ
クロ波が共振空胴９内の無電極ランプ１１内のガ
スを放電励起する場合に、ランプ１１が経年劣化
すると給電口１０から共振空胴９の網体６のメツ
シユ部材１４に放電し、メツシユ部材１４を破損
する問題点があつた。
においては、マグネトロン１から発振されたマイ
クロ波が共振空胴９内の無電極ランプ１１内のガ
スを放電励起する場合に、ランプ１１が経年劣化
すると給電口１０から共振空胴９の網体６のメツ
シユ部材１４に放電し、メツシユ部材１４を破損
する問題点があつた。
この考案は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、無電極ランプが経年劣化して
も網体に放電することのないマイクロ波放電光源
装置を得ることを目的とする。
になされたもので、無電極ランプが経年劣化して
も網体に放電することのないマイクロ波放電光源
装置を得ることを目的とする。
この考案に係るマイクロ波放電光源装置は、網
体を構成するメツシユ部材の表面に電気絶縁性の
コーテイング部材を覆つたものである。
体を構成するメツシユ部材の表面に電気絶縁性の
コーテイング部材を覆つたものである。
この考案におけるマイクロ波放電光源装置は、
メツシユ部材の表面を電気的絶縁性のコーテイン
グ部材で覆うことにより、メツシユ部材と給電口
との空間が絶縁され、これによりランプが劣化し
ても給電口をメツシユ部材に放電することが防止
できる。
メツシユ部材の表面を電気的絶縁性のコーテイン
グ部材で覆うことにより、メツシユ部材と給電口
との空間が絶縁され、これによりランプが劣化し
ても給電口をメツシユ部材に放電することが防止
できる。
以下、この考案の一実施例を図について説明す
る。第１図ａ，ｂはこの考案による網体６の平面
図とメツシユ部材１４の一部拡大図であり、１５
はメツシユ部材１４の表面を覆つた電気絶縁性の
コーテイング部材である。なお、１６は放電によ
る光と空気が通過する開口部である。
る。第１図ａ，ｂはこの考案による網体６の平面
図とメツシユ部材１４の一部拡大図であり、１５
はメツシユ部材１４の表面を覆つた電気絶縁性の
コーテイング部材である。なお、１６は放電によ
る光と空気が通過する開口部である。
上記のように構成されたマイクロ波放電光源装
置は、上記したと同様の動作によりマイクロ波に
よつて無電極ランプ内のガスが放電励起されて発
光するもので、特にこの考案は網体６のメツシユ
部材１４の表面を絶縁性のコーテイング部材１５
で覆つたことにより、給電口と網体の空間が電気
的に絶縁されるので、無電極ランプが経年劣化し
ても給電口から網体に放電が生じるようなことが
防止できる。
置は、上記したと同様の動作によりマイクロ波に
よつて無電極ランプ内のガスが放電励起されて発
光するもので、特にこの考案は網体６のメツシユ
部材１４の表面を絶縁性のコーテイング部材１５
で覆つたことにより、給電口と網体の空間が電気
的に絶縁されるので、無電極ランプが経年劣化し
ても給電口から網体に放電が生じるようなことが
防止できる。
以上のようにこの考案によれば、網体を構成す
るメツシユ部材の表面に電気絶縁性のコーテイン
グ部材を覆つたことにより、無電極ランプが劣化
しても、給電口からの放電を絶縁してメツシユ部
材に放電することを防止でき、これにより網体の
放電による破損を解消することができる効果があ
る。
るメツシユ部材の表面に電気絶縁性のコーテイン
グ部材を覆つたことにより、無電極ランプが劣化
しても、給電口からの放電を絶縁してメツシユ部
材に放電することを防止でき、これにより網体の
放電による破損を解消することができる効果があ
る。
第１図ａ，ｂはこの考案の一実施例を示すマイ
クロ波放電光源装置の網体の平面図とそのメツシ
ユ部材の一部拡大図、第２図は従来のマイクロ波
放電光源装置の断面図、第３図ａ，ｂは従来の網
体の平面図とメツシユ部材の一部拡大図である。 ６……網体、１４……メツシユ部材、１５……
コーテイング部材、１６……開口部。なお、図
中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
クロ波放電光源装置の網体の平面図とそのメツシ
ユ部材の一部拡大図、第２図は従来のマイクロ波
放電光源装置の断面図、第３図ａ，ｂは従来の網
体の平面図とメツシユ部材の一部拡大図である。 ６……網体、１４……メツシユ部材、１５……
コーテイング部材、１６……開口部。なお、図
中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 少なくとも一面に網体を設けたマイクロ波共振
空胴に無電極ランプを配し、この無電極ランプを
マイクロ波電磁界により放電発光させるようにし
たマイクロ波放電光源装置において、上記網体が
これを構成する導電性メツシユ部材の表面に電気
的絶縁性を有するコーテイング部材で覆つたこと
を特徴とするマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148385U JPH0427087Y2 (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148385U JPH0427087Y2 (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61176767U JPS61176767U (ja) | 1986-11-04 |
| JPH0427087Y2 true JPH0427087Y2 (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=30589806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6148385U Expired JPH0427087Y2 (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0427087Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-04-24 JP JP6148385U patent/JPH0427087Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61176767U (ja) | 1986-11-04 |
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