JPS61200693A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
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- JPS61200693A JPS61200693A JP3936985A JP3936985A JPS61200693A JP S61200693 A JPS61200693 A JP S61200693A JP 3936985 A JP3936985 A JP 3936985A JP 3936985 A JP3936985 A JP 3936985A JP S61200693 A JPS61200693 A JP S61200693A
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- Japan
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- microwave
- resonant cavity
- lamp
- light source
- microwave resonant
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- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野ゴ
この発明はマイクロ波数ｔ’を利用した光源装置。
とくにその効率の改善および構造の強化に関するもので
ある。
ある。
従来、この種の装置として第６図に示すものがある。
第６図は従来のマイクロ波数電光源装置ヲ示す断面構成
図であ夛１図において、（１）はマイクロ波発振器であ
るマグネトロン、１２１［マグネトロンアンテナ、（３
）は導波管、（５）はマイクロ波共振空胴で。
図であ夛１図において、（１）はマイクロ波発振器であ
るマグネトロン、１２１［マグネトロンアンテナ、（３
）は導波管、（５）はマイクロ波共振空胴で。
導波管（３）の端部に接続された空胴壁（６１と球形の
金属メツシュよシなる光透過性部材（７）とから構成さ
れる。（８）は空胴壁（６）に設けられた給電口で、導
波管（３）よりマイクロ波共振空胴（５）内にマイクロ
波全給電するためのものである。（９１はマイクロ波共
振空胴（５）内に配設された球形の無電極ランプである
。
金属メツシュよシなる光透過性部材（７）とから構成さ
れる。（８）は空胴壁（６）に設けられた給電口で、導
波管（３）よりマイクロ波共振空胴（５）内にマイクロ
波全給電するためのものである。（９１はマイクロ波共
振空胴（５）内に配設された球形の無電極ランプである
。
この装置の動作は以下のようである。マグネトロン（１
１で発振されたマイクロ波はマグネトロンアンテナ（２
）から導波管（３）ヲ通シ、給電口（８）からマイクロ
波共振空胴（５）内に放射される。このマイクロ波によ
り、ランプ（９）内のガスが放電励起され９発光し光は
金属メツシュ（７）ヲ通して外方へ放射される。
１で発振されたマイクロ波はマグネトロンアンテナ（２
）から導波管（３）ヲ通シ、給電口（８）からマイクロ
波共振空胴（５）内に放射される。このマイクロ波によ
り、ランプ（９）内のガスが放電励起され９発光し光は
金属メツシュ（７）ヲ通して外方へ放射される。
放射された光は光反射板（図示を省略）等で反射され、
被照射面へ照射される。以上のマイクロ波放電光源装置
においてはランプ（９）からの光は、そのほとんどが金
属メツシュ（７）から直接外部へ放射されるから、マイ
クロ波共振空胴ｉ５１外部の光反射板で効率的に光を反
射でき、光制御が容易である。
被照射面へ照射される。以上のマイクロ波放電光源装置
においてはランプ（９）からの光は、そのほとんどが金
属メツシュ（７）から直接外部へ放射されるから、マイ
クロ波共振空胴ｉ５１外部の光反射板で効率的に光を反
射でき、光制御が容易である。
又、光反射板がマイクロ波共振空胴１５１の外に設けら
れるのでマイクロ波共振空胴ｉ５１のマイクロ波特性に
影響を及ぼさずにこの光反射板の設計ができる。
れるのでマイクロ波共振空胴ｉ５１のマイクロ波特性に
影響を及ぼさずにこの光反射板の設計ができる。
しかしながら、このような従来の装置では、金属メツシ
ュに金属細線を網んだメツシュを用いれば、細線（素線
）の交差部での電気的な接触抵抗によるマイクロ波損失
によ多金属メツシュが加熱され破れる危険があると共に
、ランプへの電力注入効率が悪く１発光動車が悪いとい
う欠点があった。又、とのようなメツシュは機械的に弱
く、外力が加わった場合空胴が変形してマイクロ波の共
振条件が保てなくなってマイクロ波電力が空胴内に入射
し難くなシランプの放電への電力が下がる恐れもあった
。
ュに金属細線を網んだメツシュを用いれば、細線（素線
）の交差部での電気的な接触抵抗によるマイクロ波損失
によ多金属メツシュが加熱され破れる危険があると共に
、ランプへの電力注入効率が悪く１発光動車が悪いとい
う欠点があった。又、とのようなメツシュは機械的に弱
く、外力が加わった場合空胴が変形してマイクロ波の共
振条件が保てなくなってマイクロ波電力が空胴内に入射
し難くなシランプの放電への電力が下がる恐れもあった
。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、メツシュを構成する互いに交差す
る素線は、その交差する箇所において一体的かつ接触抵
抵なく電気的に結合したものである。
めになされたもので、メツシュを構成する互いに交差す
る素線は、その交差する箇所において一体的かつ接触抵
抵なく電気的に結合したものである。
この発明におけるマイクロ波放電光源装置における空胴
は一体的かつ接触抵抗なく電気的に結合したメツシュで
構成されているのでマイクロ波損失が少なく９機械的に
も変形し難い。
は一体的かつ接触抵抗なく電気的に結合したメツシュで
構成されているのでマイクロ波損失が少なく９機械的に
も変形し難い。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるマイクロ波放電光源
装置を示す断面構成図である。図において、（４）は通
風口、（５）は円筒形のマイクロ波共振空胴で少なくと
も壁面の一部に光透過性部材（７１を有する。光透過性
部材（７）は電気的に連続した金属メｙシュよシなシ、
ランプ（９１の一点から光透過性部材（７）側に張った
立体角の和が２πステラジアン以上となる。（８）は金
属よシなる空胴壁（６）の導波管（３）と接続されてい
る部分にあけられ、マイクロ波を導波管（３；からマイ
クロ波共振空胴（５）中へ給電するための給電口、（９
）はランプで中に希ガスや水銀等が封入され１石英ガラ
スのような透光体でできてｂる。（９っけランプ（９）
の外壁から伸びたランプ支持部でやはシ石英ガラスのよ
うな誘電体であフ。
装置を示す断面構成図である。図において、（４）は通
風口、（５）は円筒形のマイクロ波共振空胴で少なくと
も壁面の一部に光透過性部材（７１を有する。光透過性
部材（７）は電気的に連続した金属メｙシュよシなシ、
ランプ（９１の一点から光透過性部材（７）側に張った
立体角の和が２πステラジアン以上となる。（８）は金
属よシなる空胴壁（６）の導波管（３）と接続されてい
る部分にあけられ、マイクロ波を導波管（３；からマイ
クロ波共振空胴（５）中へ給電するための給電口、（９
）はランプで中に希ガスや水銀等が封入され１石英ガラ
スのような透光体でできてｂる。（９っけランプ（９）
の外壁から伸びたランプ支持部でやはシ石英ガラスのよ
うな誘電体であフ。
ランプ止めネジＱ（ｌでランプ（９）ヲ空胴壁（６）Ｋ
固定している。αυはマイクロ波共振空胴（５）から放
射された光を反射する光反射板、 ＜１２はマグネトロ
ン（１）やランプ（９）ｔ−冷却する冷却ファン、ａ３
は全体を覆う箱体である。
固定している。αυはマイクロ波共振空胴（５）から放
射された光を反射する光反射板、 ＜１２はマグネトロ
ン（１）やランプ（９）ｔ−冷却する冷却ファン、ａ３
は全体を覆う箱体である。
この装置の動作は次のようである。マグネトロン（１）
で発振されたマイクロ波はマグネトロンアンテナ（２）
から導波管（３）へ伝搬モードとして励振される。この
マイクロ波は給電口（８）ヲ通じて空胴壁（６１と金属
メツシュ（７）とで囲まれたマイクロ波共振空胴ｆ５１
へ給電される。
で発振されたマイクロ波はマグネトロンアンテナ（２）
から導波管（３）へ伝搬モードとして励振される。この
マイクロ波は給電口（８）ヲ通じて空胴壁（６１と金属
メツシュ（７）とで囲まれたマイクロ波共振空胴ｆ５１
へ給電される。
このマイクロ波によってランプ（９）中の希ガスが放電
しこのエネルギーでランプ壁が加熱され、封入された水
銀等が蒸発、ガス化して放電は水銀等の金属ガスの放電
が主となシ、ガスの種類に応じたスペクトルで発光する
。
しこのエネルギーでランプ壁が加熱され、封入された水
銀等が蒸発、ガス化して放電は水銀等の金属ガスの放電
が主となシ、ガスの種類に応じたスペクトルで発光する
。
金属メツシュ（７）はマイクロ波に対しては金属と同様
９反射するように作用し、光はメツシュ開口部から透過
するようになっている。すなわち、マイクロ波には不透
明体として光には透明体とじて働く。したがって、ラン
プ（９）からの光はマイクロ波共振空胴（５）から外へ
放射され、光反射板ａυで反射される。光反射板αυは
光の用途によシ種々の形状に設計される。光反射板へυ
はマイクロ波共振空胴（５）の外にあるため、マイクロ
波特性に影蕃せず光学設計が単独で行なえる。
９反射するように作用し、光はメツシュ開口部から透過
するようになっている。すなわち、マイクロ波には不透
明体として光には透明体とじて働く。したがって、ラン
プ（９）からの光はマイクロ波共振空胴（５）から外へ
放射され、光反射板ａυで反射される。光反射板αυは
光の用途によシ種々の形状に設計される。光反射板へυ
はマイクロ波共振空胴（５）の外にあるため、マイクロ
波特性に影蕃せず光学設計が単独で行なえる。
ここに用いたマイクロ波の給電法は低次の共振モードを
励振するのに向いておシ、低次の共振モードはマイクロ
波共振空胴（５）の寸法を小さくできる。
励振するのに向いておシ、低次の共振モードはマイクロ
波共振空胴（５）の寸法を小さくできる。
第２図（１）はこの発明の一実施例に係る円筒のマイク
ロ波共振空胴のモードパターンを示す縦断面図、第２図
（ｂ）は第２図（ａ）ＯＢ−Ｂ線に沿った横断面図であ
る。第２図（ａ）では、導波管（３）内での伝搬モード
からマイクロ波共振空胴（５）の共振モードへの結合を
詳しく描いている。図において、実線および小円Ｅは電
気力線すなわち電界を示し。点線Ｈに磁力線すなわち磁
界を示す。導波管（３）中のモードは方形’ｒｇ１（１
モードであシ、マイクロ波共振空胴（５）中のモードは
円筒の１１１１モード、すなわちどの方向にも電磁界の
山が１つあるモードで励振されている。このモードは図
でわかるように、導波’ｉ＋３）中とマイクロ波共振空
胴（５）中の電界および磁界の向きが一致し、結合が容
易である。ランプ（９）が放電した時は、マイクロ波共
振空胴（５）中のモードは図に示したものと若干異なる
と考えられるがほぼ近いモードになっている。したがっ
てやはり結合が容易である。実際には、マイクロ波共振
空胴（５）は、ランプ（９）が水銀等の金属ガスの放電
が定常になった状態で共振するように設計される。
ロ波共振空胴のモードパターンを示す縦断面図、第２図
（ｂ）は第２図（ａ）ＯＢ−Ｂ線に沿った横断面図であ
る。第２図（ａ）では、導波管（３）内での伝搬モード
からマイクロ波共振空胴（５）の共振モードへの結合を
詳しく描いている。図において、実線および小円Ｅは電
気力線すなわち電界を示し。点線Ｈに磁力線すなわち磁
界を示す。導波管（３）中のモードは方形’ｒｇ１（１
モードであシ、マイクロ波共振空胴（５）中のモードは
円筒の１１１１モード、すなわちどの方向にも電磁界の
山が１つあるモードで励振されている。このモードは図
でわかるように、導波’ｉ＋３）中とマイクロ波共振空
胴（５）中の電界および磁界の向きが一致し、結合が容
易である。ランプ（９）が放電した時は、マイクロ波共
振空胴（５）中のモードは図に示したものと若干異なる
と考えられるがほぼ近いモードになっている。したがっ
てやはり結合が容易である。実際には、マイクロ波共振
空胴（５）は、ランプ（９）が水銀等の金属ガスの放電
が定常になった状態で共振するように設計される。
放電開始から定常になるまでは、ランプ（９）のマイク
ロ波定数は金属ガスの蒸発につれて変化する。
ロ波定数は金属ガスの蒸発につれて変化する。
このため、定常になるまでは共振条件からはずれた状態
になっているが、この状態でも導波管（３）の途中に、
あるいはマイクロ波共振空胴（５）の中に条件全時間的
に変化させる機構を何ら設けなくても金属を蒸発させる
のに必要なマイクロ波エネルギーは導波管（３）からマ
イクロ波共振空胴（５）中へ、さらにはランプ（９）の
放電に供給され得る。これは。
になっているが、この状態でも導波管（３）の途中に、
あるいはマイクロ波共振空胴（５）の中に条件全時間的
に変化させる機構を何ら設けなくても金属を蒸発させる
のに必要なマイクロ波エネルギーは導波管（３）からマ
イクロ波共振空胴（５）中へ、さらにはランプ（９）の
放電に供給され得る。これは。
共振条件からはずれてはいるが、マイクロ波共振空胴（
５）が小さいため、比較的強いマイクロ波電磁界ができ
るからである。放電初期からランプ（９）にエネルギー
を供給できるから、金属の蒸発も速く。
５）が小さいため、比較的強いマイクロ波電磁界ができ
るからである。放電初期からランプ（９）にエネルギー
を供給できるから、金属の蒸発も速く。
短い時間で定常に達する。すなわち０発光の立上少時間
が短い。−例として、導波管（３）に断面形状が９５ｍ
ｍＸ５４閣の方形のものを用い、マイクロ波共振空胴（
５）に直径８（Ｉｍ高さ９０職の円筒空胴を。
が短い。−例として、導波管（３）に断面形状が９５ｍ
ｍＸ５４閣の方形のものを用い、マイクロ波共振空胴（
５）に直径８（Ｉｍ高さ９０職の円筒空胴を。
ランプ（９）に直径３０薗の球形で＊ Ａｒ ｓｏ ｔ
ｏｒｒ Ｔ（）１００ｍ９ｔ−封入したものを用いた結
果１周波数２４５０ＭＨｚ 、電力８００Ｗのマイクロ
波を用いて定常に達するまで約５秒、導波管とマイクロ
波共振空胴の整合状態は定常時で、マイクロ波の電力反
射系数がＱ、 １以下となった。
ｏｒｒ Ｔ（）１００ｍ９ｔ−封入したものを用いた結
果１周波数２４５０ＭＨｚ 、電力８００Ｗのマイクロ
波を用いて定常に達するまで約５秒、導波管とマイクロ
波共振空胴の整合状態は定常時で、マイクロ波の電力反
射系数がＱ、 １以下となった。
ここで用いた金属メツシュよりなる光透過性部材（７）
は第３図のようにステンレス厚み０．１ ｍの薄板をエ
ツチングによシ格子状にしたもので、格子のピッチＷｐ
ｔ ｍｍ ｍ線巾Ｗｓ ０．１ ＋ｍＯものを用いた
。
は第３図のようにステンレス厚み０．１ ｍの薄板をエ
ツチングによシ格子状にしたもので、格子のピッチＷｐ
ｔ ｍｍ ｍ線巾Ｗｓ ０．１ ＋ｍＯものを用いた
。
金属細線を網んだメツシュが線と線は接触によってつな
がシ、電気的に接触抵抗を介しておシネ連続であるのに
比較してこの金属メツシュは電気的に連続しているため
マイクロ波共振空胴（５１の内壁金泥れるマイクロ波の
′壁面電流による損失が少ないから、金属メツシュがマ
イクロ波によって加熱され難く、ランプ（９）の放電へ
の電力も多くなってよシ効率が良い。
がシ、電気的に接触抵抗を介しておシネ連続であるのに
比較してこの金属メツシュは電気的に連続しているため
マイクロ波共振空胴（５１の内壁金泥れるマイクロ波の
′壁面電流による損失が少ないから、金属メツシュがマ
イクロ波によって加熱され難く、ランプ（９）の放電へ
の電力も多くなってよシ効率が良い。
又、メツシュ素線の交差部が一体になっておシ。
機械的に堅固で、立体構造に構成されたメツシュの空胴
が取り付は時に外力により変形したシ、ランプの放電時
にランプからの熱により変形してランプの放電への電力
が下がる恐れも少ない。ランプの放電への電力が多いこ
とは、放電初期からランプにエネルギーを多く供給でき
ることも意味し。
が取り付は時に外力により変形したシ、ランプの放電時
にランプからの熱により変形してランプの放電への電力
が下がる恐れも少ない。ランプの放電への電力が多いこ
とは、放電初期からランプにエネルギーを多く供給でき
ることも意味し。
よシ短い時制で放電が定常に達することになる。
金属メツシュ（７）はエツチングによるものでなくても
、金属薄板全レーザ加工等で穴あけしたものでもよく、
その他金属薄板を実質的にくシ抜いたものであれば同様
の性能が得られる。又、第４図（、）に示すような金属
細線を網んだものや、網状樹脂等に第４図（ｂ）の断面
図で示すように金属メッキや金属蒸着し、素線（７１〕
全金属薄膜層（７１って被いその表面を電気的に連続に
したものでもマイクロ波の損失が小さくなシ効率力″ζ
良く機械的にも堅固でエツチングによるメツシュと同様
の効果を奏する。
、金属薄板全レーザ加工等で穴あけしたものでもよく、
その他金属薄板を実質的にくシ抜いたものであれば同様
の性能が得られる。又、第４図（、）に示すような金属
細線を網んだものや、網状樹脂等に第４図（ｂ）の断面
図で示すように金属メッキや金属蒸着し、素線（７１〕
全金属薄膜層（７１って被いその表面を電気的に連続に
したものでもマイクロ波の損失が小さくなシ効率力″ζ
良く機械的にも堅固でエツチングによるメツシュと同様
の効果を奏する。
この発明の他の実施例として、角形のマイクロ波共振空
胴によるものを示す。第５図はこの発明の他の実施例Ｋ
ｆｆｌるマイクロ波共振空胴のモードパターンを示す横
断面図である。縦断面の電磁界モードは第２図（ａ）に
示すものに類似している。このモードは方形の露１１１
と呼ばれるモードで、やはシ導波管（３；からマイクロ
波共振空胴（５）へのマイクロ波結合が容易に行なわれ
る。この場合も、第２図の説明で用すたと同じ導波管（
３）とランプ（９）ヲ用込横断面形状が一辺８０閣の正
方形で高さ８０ｍの角形マイクロ波共振空胴（５）ｔ−
用いた結果１周波数２４５０ ＭＨｚ 、 を力８０
０ｗのマイクロ波を用いて定常に達するまで約５秒、マ
イクロ波の電力反射系数０．１程度となった。
胴によるものを示す。第５図はこの発明の他の実施例Ｋ
ｆｆｌるマイクロ波共振空胴のモードパターンを示す横
断面図である。縦断面の電磁界モードは第２図（ａ）に
示すものに類似している。このモードは方形の露１１１
と呼ばれるモードで、やはシ導波管（３；からマイクロ
波共振空胴（５）へのマイクロ波結合が容易に行なわれ
る。この場合も、第２図の説明で用すたと同じ導波管（
３）とランプ（９）ヲ用込横断面形状が一辺８０閣の正
方形で高さ８０ｍの角形マイクロ波共振空胴（５）ｔ−
用いた結果１周波数２４５０ ＭＨｚ 、 を力８０
０ｗのマイクロ波を用いて定常に達するまで約５秒、マ
イクロ波の電力反射系数０．１程度となった。
このように、給電口（８）に平行なマイクロ波共振空胴
（５）の断面形状の最大寸法を小さくシ、第２図（ｂ）
、第５図で示したように、横断面で低次であるモードを
用いることで、マイクロ波共振空胴（５）の外部に設け
た光反射板０υの有効部分を大きくできる。よって光反
射板αυの設計の自由度が増し、光の利用効率も良くな
る。ここで、給電口（８）に平行なマイクロ波共振空胴
（５１の断面形状において、その最大寸法でもマイクロ
波の波長の１／／２以下にるれば励振が難しくなり、マ
イクロ波々長の２倍以上になれば上記利点が生かせない
。即ち、光反射板ｆｉｔ）の設計自由度に制限をうける
。又、この範囲で励振できるモードを用いれば上記二側
と大差ない性能が得られる。
（５）の断面形状の最大寸法を小さくシ、第２図（ｂ）
、第５図で示したように、横断面で低次であるモードを
用いることで、マイクロ波共振空胴（５）の外部に設け
た光反射板０υの有効部分を大きくできる。よって光反
射板αυの設計の自由度が増し、光の利用効率も良くな
る。ここで、給電口（８）に平行なマイクロ波共振空胴
（５１の断面形状において、その最大寸法でもマイクロ
波の波長の１／／２以下にるれば励振が難しくなり、マ
イクロ波々長の２倍以上になれば上記利点が生かせない
。即ち、光反射板ｆｉｔ）の設計自由度に制限をうける
。又、この範囲で励振できるモードを用いれば上記二側
と大差ない性能が得られる。
以上のようにこの発明によれば、光透過性部材を１表面
が導電性を帯びたメツシュで構成するとともに、このメ
ツシュを構成する互いに交差する素＠Ｆｉ、その交差す
る箇所において一体的かつ接触抵抗なく電気的に結合さ
れたものとしたので。
が導電性を帯びたメツシュで構成するとともに、このメ
ツシュを構成する互いに交差する素＠Ｆｉ、その交差す
る箇所において一体的かつ接触抵抗なく電気的に結合さ
れたものとしたので。
ランプが効率良く放電し、空胴が機械的に堅固なマイク
ロ波数電光暉装置が得られる効果がある。
ロ波数電光暉装置が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるマイクロ波放電光源
装置を示す断面構成図、第２図（１）はこの発明の一実
施例に係るマイクロ波共振空胴のモードパターンを示す
縦断面図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿
った横断面図、第３図はこの発明による金属メツシュの
拡大図、第４図（、）は金属メッキ前の網状材料金示す
図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）の網状材料に金属メッ
キした材料の断面図、第５図はこの発明の他の実施例に
係るマイクロ波共振空胴のモードパターンを示す横断面
図、第６図は従来のマイクロ波数電光源装ｆｆｉ會示す
゛断面構成図である。 （３］は導波管、１５）はマイクロ波共振空胴、（７）
は光透過部材、（８）は給電口、（９）はランプ、αＤ
は光反射板。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
装置を示す断面構成図、第２図（１）はこの発明の一実
施例に係るマイクロ波共振空胴のモードパターンを示す
縦断面図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿
った横断面図、第３図はこの発明による金属メツシュの
拡大図、第４図（、）は金属メッキ前の網状材料金示す
図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）の網状材料に金属メッ
キした材料の断面図、第５図はこの発明の他の実施例に
係るマイクロ波共振空胴のモードパターンを示す横断面
図、第６図は従来のマイクロ波数電光源装ｆｆｉ會示す
゛断面構成図である。 （３］は導波管、１５）はマイクロ波共振空胴、（７）
は光透過部材、（８）は給電口、（９）はランプ、αＤ
は光反射板。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (4)
- （１）導波管から給電口を通してマイクロ波が給電され
、壁面の大半が光透過性部材で形成されるマイクロ波共
振空胴、このマイクロ波共振空胴内に配設されたランプ
、このランプがこのランプの一点から上記光透過性部材
側に張つた立体角の和が２πステラジアン以上となる位
置に配設されたものにおいて、上記光透過性部材を表面
が導電性を帯びたメッシュで構成するとともに、このメ
ッシュを構成する互いに交差する素線は、その交差する
箇所において一体的かつ接触抵抗なく電気的に結合され
ていることを特徴とするマイクロ波放電光源装置。 - （２）マイクロ波共振空胴は円筒ＴＥ＿１＿１＿１モー
ドで励振されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のマイクロ波放電光源装置。 - （３）マイクロ波共振空胴は方形ＴＥ＿１＿１＿１モー
ドで励振されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のマイクロ波放電光源装置。 - （４）給電口に平行なマイクロ波共振空胴の断面形状の
最大寸法をマイクロ波波長の１／２〜２倍としたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電
光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3936985A JPS61200693A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3936985A JPS61200693A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61200693A true JPS61200693A (ja) | 1986-09-05 |
Family
ID=12551136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3936985A Pending JPS61200693A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61200693A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012527720A (ja) * | 2009-05-20 | 2012-11-08 | セラビジョン・リミテッド | 半透明のプラズマのルツボ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS581511A (ja) * | 1981-06-28 | 1983-01-06 | 山口 直樹 | 木材剥皮装置 |
| JPS58194242A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波放電光源装置 |
| JPS596032A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-13 | 株式会社島津製作所 | パルスドツプラ−血流速測定装置 |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP3936985A patent/JPS61200693A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS581511A (ja) * | 1981-06-28 | 1983-01-06 | 山口 直樹 | 木材剥皮装置 |
| JPS58194242A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波放電光源装置 |
| JPS596032A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-13 | 株式会社島津製作所 | パルスドツプラ−血流速測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012527720A (ja) * | 2009-05-20 | 2012-11-08 | セラビジョン・リミテッド | 半透明のプラズマのルツボ |
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