JPS63270156A - 静電潜像形成装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、イオン流を変調し誘電体上に静電潜像を形成
する静電潜像形成装置の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に、イオン流を用いた静電記録の原理を第７図によ
り説明すると、静電記録ヘッド１１において発生したイ
オンは、回転ドラム１２面の記録媒体上に静電潜像１３
を形成し、該静電潜像１３には現像器１４によりトナー
等の現像剤を付着させてトナー像１５を形成し、転写部
１６においてトナー像１５が記録用紙１７に転写される
ことにより静電記録が行われる。そして、記録媒体は除
電部１８において除電された後、残った現像剤をトナー
除去部１９で除去し、次回の記録に備えている。

従来、上記静電潜像形成−置におけるイオン流発生方式
としては、ピン状電極を一列に並べ誘電体と接触させ、
誘電体との間で直接放電を起こさせる直接静電記録方式
が知られているが、電極と誘電体間のギャップを高精度
に維持しなければならず、また、放電を安定させること
ができないとか、電極が磨耗するとかの欠点があった。

上記欠点を除去するために、種々の間接静電記録方式が
知られている０例えば、第８図は特開昭５８−１３２５
７１号公報に提案されている方式であり、誘電体２６の
一面に放電電極２７ａ、２７ｂを対向して配列させると
共に、誘電体２６の他面には加速用電極２８を設け、放
電電極２７ａ、２７ｂ間に極性の異なる電圧パルスを印
加することにより、放電を起こさせて正、負のイオンを
発生させ、加速用電極２８への電圧パルスに応じてイオ
ンを導出し、潜像坦持体２５を正または負のイオンで帯
電させるものである。

また、第９図は米国特許第４，１６０，２５７号に堤案
されている方式であり、誘電体３０を挟んで駆動電極３
１と制御電極３２が形成され、さらに、絶縁層３３を介
して共通電極３４が形成されている。

該駆動電極３１と制御電極３２は互いに方向が異なるよ
うにマトリックス状に配設され、絶縁層３３および共通
電極３４には、該マトリックスに対応して複数の開口３
５および３６が形成される。

そして、複数の駆動電極３１と制御電極３２間に選択的
に交流電圧を印加することにより、マトリックスの選択
された部分に対応する制御電極３２近傍に正、負のイオ
ンが発生じ、制御電極３２と共通電極３４間のバイアス
電圧の極性に応じた正または負のイオンが、開口３５お
よび３６より導出されて静電記録が行われる。

上記静電潜像形成装置において、誘電体２６．３０上へ
の電極形成方法として、従来、電極のみを形成し誘電体
上に貼り合わせる方法、誘電体上に電極を印刷する方法
、或いは、誘電体上に導電層を設はエツチングにより電
極を形成する方法等により行われている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記誘電体への電極形成方法の内、電極
のみを形成し誘電体上に貼り合わせる方法においては、
通常ジヨイントを有する電極アレーを作成し、誘電体上
に貼り合わせた後にシタインドを切断しているが、電極
幅が狭い場合には電極が切れ易（なり、ジヨイントで保
持出来なくなるため、微細な形状の電極が形成できず、
また、複雑な電極を作成する場合には、貼り合わせた後
のジヨイント切断箇所も多数にわたり、かつ複雑な導電
パターンとなるため、切断工程が繁雑となり製造コスト
の上昇を招くという問題を有していまた、誘電体上に電
極を印刷する方法においては、印刷工程中の焼成工程に
より誘電体が変形、変質する恐れがあると共に、硬質の
薄い材料の場合には印刷時に割れてしまうという問題を
生じている。

また、誘電体上に導電層を設はエツチングにより電極を
形成する方法においては、エツチング液により誘電体が
変形、変質してしまう場合があるという問題を有してい
る。

本発明は上記問題を解決するものであって、誘電体を変
形、変質させることなく、微細、複雑な電極を誘電体上
に形成することができる静電潜像形成装置の製造方法を
提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

そのために本発明の静電潜像形成装置の製造方法は、誘
電体を挟んで第１の電極と第２の電極が配置された静電
潜像形成装置において、開口部を有する支持体上に電極
を形成した第１の構造体と、別工程により基体上に電極
を形成した第２の構造体とを、前記誘電体を挟み込んで
静電潜像形成装置を形成することを特徴とするものであ
る。

〔作用） 本発明においては、例えば第３図に示すように、開口部
３ａを存する支持体３上に第２の電極４を形成した第１
の構造体Ｂと、基体１上に第１の電極２を形成した第２
の構造体Ｃとで誘電体５を挟んで第ｔＩ！Ｉおよび第２
図で示した静電潜像形成装置を作成するものであり、各
電極は基体１或いは支持体３上に一体的に保持されてい
るため、従来用いられているジヨイントは不要であり、
また、誘電体５は単に挟み込むだけであるため、誘電体
を焼成雰囲気やエツチング液中に曝す必要がなく、誘電
体を傷めることもない。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。第１
図は本発明が適用される静電潜像形成装置の１実施例を
示す断面図、第２閣は第１図における電極部の平面図、
第３図は本発明の静電潜像形成装置の製造方法の１実施
例を説明するための図、第４図は第３図における第１の
構造体の製造方法の１実施例を説明するための図、第５
図は第３図における第２の構造体の製造方法の１実施例
を説明するための図、第６図は本発明の静電潜像形成装
置の製造方法の他の実施例を説明するための図である。

図中、１は基体、２は第１の電極、３は支持体、４は第
２の電極、５は誘電体、３ａｓ　４ａｓ　１３ａは開口
部、６は潜像坦持体、７は静電潜像、８は第３の電極、
Ｄ、〜Ｄ４は第１の電極、Ｃ０、ＣＩは第２の電極、Ａ
は放電領域、Ｂは第１の構造体、Ｃは第２の構造体を示
す。

第１図において、本発明が適用される静電潜像形成装置
は、基体１に形成された加速用の第１の電極２と、絶縁
材からなる支持体３に形成された放電用の第２の電極４
と、これら第１および第２の電極２．４に挟持された誘
電体５とから構成されると共に、第２の電極４と支持体
３にはそれぞれ開口部４ａ、３ａが形成されている。そ
して、第２の電極４．４間に電圧パルスを印加すること
により、放電を起こさせて正、負のイオンを発生させ、
第１の電極２への電圧パルスに応じて、開口部４ａ、３
ａより正または負のイオンを導出して潜像坦持体６を帯
電させ、静電潜像７を形成するものである。

第２図は第１図における電極の配置例を示し、箔体ｌ上
に第１の電極Ｄ１、Ｄ！、Ｄｌ、Ｄ４を直線状に互いに
平行に成るように配置し、その上に誘電体５を積層し、
さらにその上に第１の電極２と交叉するように第２の電
極Ｃ０、Ｃ＋Ｚ、・・・、Ｃ０、Ｃ＊ｔを積層し、放電
領域Ａがマトリックス　　　状になるように配列し、各
放電領域Ａをマトリックス駆動させることにより、マト
リックスの選択された部分に対応する放電電極領域Ａに
イオンを発生させるものである。

次に、上記静電潜像形成装置の製造方法を第３図により
説明すると、開口部３ａを有する支持体３上に第２の電
極４を形成した第１の構造体Ｂと、基体１上に第１の電
極２を形成した第２の構造体Ｃとで薄い誘電体５を挟み
込んで第１図および第２図で示した静電潜像形成装置を
作成する０本方法においては、各電極は基体１或いは支
持体３上に一体的に保持されているため、従来用いられ
ているジヨイントは不要である。また、誘電体５は単に
挟み込むだけであるため、誘電体を焼成雰囲気やエツチ
ング液中に曝す必要がなく、誘電体を傷めることもない
。

第４図は、第３図における第１の構造体Ｂの製造方法の
１例を示している。先ず、（ａ）図に示すように、支持
体３に打ち抜き、エツチング等の方法により開口部３ａ
を形成する。この支持体の材質は、ＰＥＴ、イミド等の
樹脂シート、アルミナ等のセラミック、感光性樹脂等の
絶縁性を存するものであればいかなるものでもよい０次
に電極材を支持体３上に形成する。これは例えばステン
レス、銅、金等のシート状の電極材を支持体に貼り合わ
せるとかペースト状の物を塗布するとがの方法で達成さ
れる。また、この方法によらず支持体３と、電極材を一
体化したものに、開口部３ａを後でエツチング等により
作成することも可能であ次いで、電極材上にレジスト材
を塗布しくｂ）、所望のパターンのフォトマスクにより
露光しくＣ）た後、露光部分のレジスト層を除去する（
ｄ）、この例においてはポジ型の例を示しているが、ネ
ガ型であってもよい。しかる後にエツチングを行い独立
した第２の電極４を形成する（ｅ）。

この場合、支持体３の開口部３ａよりエツチング液が浸
入するのを防止するために、支持体３の開口部３ａ側の
電極材にも予めレジスト材を塗布しておくか、または、
開口部３ａをテープイング等により閉塞させるようにし
てもよい。

第５図は第３図における第２の構造体Ｃの製造方法の１
例を示している。すなわち、基体１上に電極層を蒸着、
塗布或いは貼り合わせ等の方法により形成した後、レジ
スト材を塗布する＜ａ＞。

次に、マスクにより露光を行い（ｂ）、不要なレジスト
材を除去する（ｅ）。しかる後、エツチング液程を行っ
て第１の電極２を形成する（ｄ）。

本実施例においては、エツチングにより電極を形成して
いるが、始めからスクリーン印刷等のプロセスにより電
極を基体上に形成することも熱論可能である。なお、基
体１の材質は絶縁性の材質であればどのようなものでも
よく、また、電極も導電性の材質であればどのようなも
のでもよい。

第６同は本発明の他の実施例を示し、前述した方法によ
り静電潜像形成装置を形成しくａ）、次に、（ｂ）に示
すような開口部８ａを有する第３の電極８を（ａ）図に
示した支持体３に貼り合わせることにより、（Ｃ）図に
示すような静電潜像形成装置を製造するものであり、第
９図において説明した静電潜像形成装置に適用されるも
のである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、開口部を有する支
持体上に電極を形成した第１の構造体と、別工程により
基体上に電極を形成した第２の構造体とを、前記誘電体
を挟みんで静電潜像形成装置を製造するため、微細で複
雑な形状の電極を簡易に誘電体上に形成することができ
ると共に、印刷やエツチングに不向きな誘電体材料であ
っても、材料を傷めることなく、いかなる誘電体材料で
あっても微細で複雑な形状の電極を形成することができ
、その結果、低コスト化をはかることができるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が適用される静電潜像形成装置の１実施
例を断面図、第２図は第１図における電極部の平面図、
第３図は本発明の静電潜像形成装置の製造方法の１実施
例を説明するための図、第４図は第３図における第１の
構造体の製造方法の１実施例を説明するための図、第５
図は第３図における第２の構造体の製造方法の１実施例
を説明するための図、第６図は本発明の静電潜像形成装
置の製造方法の他の実施例を説明するための図、第７図
は静電潜像形成装置の原理を説明するための図、第８図
および第９図は従来の静電潜像形成装置を説明するため
の図である。 １・・・基体、２・・・第１の電極、３・・・支持体、
４・・・第２の電極、５・・・誘電体、３ａ、４ａ、８
ａ・・・開口部、６・・・潜像坦持体、７・・・静電潜
像、８・・・第３の電極、Ｄ１〜Ｄ４・・・第１の電極
、Ｃ０、Ｃ，！・・・第２の電極、Ａ・・・放電領域、
Ｂ・・・第１の構造体、Ｃ・・・第２の構造体。 出　願　人　　　冨士ゼロックス株式会社代理人弁理士
　　白　井　博　樹（外２名）（ト） 第４図 第５図 （α） （Ｃ） 第６図 （、幻 ル） （（’） 第８図 （山） 第９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）誘電体を挟んで第１の電極と第２の電極が配置さ
   れた静電潜像形成装置において、開口部を有する支持体
   上に電極を形成した第１の構造体と、別工程により基体
   上に電極を形成した第２の構造体とを、前記誘電体を挟
   み込んで静電潜像形成装置を形成することを特徴とする
   静電潜像形成装置の製造方法。