JPS63266243A - 防振装置 - Google Patents

防振装置

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Publication number
JPS63266243A
JPS63266243A JP9755787A JP9755787A JPS63266243A JP S63266243 A JPS63266243 A JP S63266243A JP 9755787 A JP9755787 A JP 9755787A JP 9755787 A JP9755787 A JP 9755787A JP S63266243 A JPS63266243 A JP S63266243A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
isolated
substance
base body
electromagnetic actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9755787A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiichi Hirako
敬一 平子
Seiya Ueno
上野 誠也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP9755787A priority Critical patent/JPS63266243A/ja
Publication of JPS63266243A publication Critical patent/JPS63266243A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、例えば人工衛星等の宇宙航行体に対して理
工学材料試験装置等の被防振体を搭載するのに用いる防
振装置に関する。
(従来の技術) 従来、防振装置としては、スプリングとダッシュポット
と称する流体緩衝器あるいは防振ゴムを組合わせ配置し
たものが知られている。このような防振装置は、そのス
プリングのばね特性と、流体!lIi器の粘性特性ある
いは防振ゴムの特性被防振体の物理特性と防振する振動
の特性とに応じて設定することにより、基体からの撮動
の伝播を防振するように構成される。
ところが、上記防振装置では、その構成上、設計時に想
定した振動特性より高い高周波振動(例えばジッタ振動
)が発生した場合、その撮動の伝播については、防振す
ることが困難なものであった。これは、特に、宇宙航行
体内における材料実験等の理工学実験にあっては、その
実験環境として低加速度レベル(例えば、1o−saレ
ベル)となるため、想定していない小さな蚤幅のジッタ
が発生しても、その2階微分の加速度が大きくなるので
問題となる。
(発明が解決しようとする問題点) 以上述べたように、従来の防振装置では、高周波振動の
防振効果が低いものであった。
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、簡易な
構成で、かつ、被防振体に対する振動の伝播を確実に防
振し得るようにした防振装置を提供することを目的とす
る。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) この発明は一方が被防振体に支持され、他方が基体に支
持された電磁アクチュエータと、前記被防振体の変位を
検出する変位検出手段と、この変位検出手段の検出信号
に応動して前記電磁アクチュエータを駆動制御して前記
被防振体を基体から浮上制御せしめる制御手段とを備え
たものである。
(作用) 上記構成により、被防振体を基体から浮上させて離間せ
しめ、基体からの振動の伝播を防振したものである。
(実施例) 以下、この発明の実施例について、図面を参照して詳細
に説明する。
第1図はこの発明の一実施例に係る防振装置を示すもの
で、図中10は例えば宇宙航行体等の基体である。この
基体10には第1の支持台11が設置され、この第1の
支持台11上には第2の支持台12が例えば2個の電磁
アクチュエータ13を介在して搭載される。この電磁ア
クチュエータ13は、例えばステータ13aが第1の支
持台11に支持され、そのロータ13bが第2の支持台
12に支持されており、その信号入力端には位置制御系
を構成する駆動制御回路14の信号出力端が接続されて
いる。そして、この第2の支持台12上には理工学材料
試験装置等の被防振体15が搭載される。
また、第1の支持台11には変位検出器16がステータ
13aに対向して配設され、この変位検出器16の出力
端は上記駆動制御回路14の入力端に接続されている。
この駆動制御回路14は例えばPID制御部14a、加
算器14b及びドライブ部14”Cで構成されており、
上記変位検出器16の検出信号17が、先ず、PID制
御部14aでPID!Ijt[Iが施されて電磁アクチ
ュエータ駆動信号18を生成する。この電磁7クチユ工
−タ駆動信号18は加算器14bに入力されて、バイア
ス信号19と加算されて後、ドライバ部14Cに入力さ
れ、上記ステータ13aにドライブ信号20を出力する
なお、駆動制御回路14としては、例えばアナログ回路
あるいはデジタル回路で構成可能なものである。
上記構成において、基体10に振動が発生した場合は、
先ず、その振動が第1の支持台11に伝播して、そのス
テータ13aと第2の支持台12のロータ13bの位置
が変位する。すると、この変位量が変位検出器16で検
出されて、その検出信号17は駆動制御回路14のPI
D!1IIt11部14aでPID制御が施されて、上
記電磁アクチュエータ駆動信号18が生成された後、加
算器14bでバイアス信号19と加算されてドライバ部
14Cに入力され、ドライバ信号20が生成されてステ
ータ13aの信号入力端に出力される。
これにより、電磁アクチュエータユは駆動制御されて、
そのステータ13aと第2の支持台12のロータ13b
が接触しないように一定の間隔に制御され、基体10の
振動が被防振体15に伝播するのが防振される。
また、第1の支持台11と第2の支持台12の距離を一
定に制御する上述した位置制御系の応答速度より速い振
動が基体10に発生した場合は、変位検出器16及び駆
動制御回路14が応答しないので、第2の支持台12に
伝播しなくなり、被防振体15の防振が確実に行われる
なお、地上等の重力場においては、被防振体15、第2
の支持台12及びロータ13a等の浮上構成部品の全i
1mを無効とするバイアス信号19を電磁アクチュエー
タ駆動信号18に加算することで実現される。
このように、上記防振装置は基体10に支持される第1
の支持台11に対して被防振体15を支持する第2の支
持゛・台12を電磁アクチュエータ13を介在して配設
して、被防振体15を基体10から浮上制御させるよう
に構成したことによリ、基体10に位置制御系の応答速
度よりも速い高周波の振動が発生した場合においても、
被防振体15と基台10との間隔が一定に制御されるた
め、高周波の振動の伝播が防振できる。
なお、上記実施例では、駆動制御回路14を1台の防振
装置に備えるように構成した場合で説明したが、これに
限ることなく、複数の防振装置を時分割で制御するよう
に構成することで、複数の防振装置を1個の駆動制御回
路14で兼用するように構成することも可能である。
また、上記実施例では、電磁アクチュエータ上1を第1
及び第2の支持台11.12の間に配置して防振するよ
うに構成したが、これに限ることなく、例えば基体10
及び被防振体15に対して直接的に電磁アクチュエータ
13を配置するように構成することも可能である。
さらに、上記実施例では、検出信号17をPfDi!1
llIOするように構成したが、これに限ることなく、
例えばPD副制御るように構成することも可能である。
よって、この発明は、上記実施例に限ることなく、その
他、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実
施し得ることはいうまでもないことである。
[発明の効果] 以上述べたように、この発明によれば、簡易な構成で、
かつ、被防振体に対する振動の伝播を確実に防振し得る
ようにした防振装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例に係る防振装置を示す構成
図、第2図は第1図の駆動制御回路を取出して示す回路
構成図である。 10・・・基体、11.12・・・第1及び第2の支持
台、ユ・・・電磁アクチュエータ、13a・・・ステー
タ、13b・・・ロータ、14・・・駆動制御回路、1
4a・PID制御部、14 b ・・・加算器、14C
・・・ドライバ部、15・・・被防振体、16・・・変
位検出器、17・・・検出信号、18・・・電磁アクチ
ュエータ駆動信号、19・・・バイアス信号、20・・
・ドライバ信号。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 一方が被防振体に支持され、他方が基体に支持された電
    磁アクチュエータと、前記被防振体の変位を検出する変
    位検出手段と、この変位検出手段の検出信号に応動して
    前記電磁アクチュエータを駆動制御して前記被防振体を
    基体から浮上制御せしめる制御手段とを具備したことを
    特徴とする防振装置。
JP9755787A 1987-04-22 1987-04-22 防振装置 Pending JPS63266243A (ja)

Priority Applications (1)

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JP9755787A JPS63266243A (ja) 1987-04-22 1987-04-22 防振装置

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JP9755787A JPS63266243A (ja) 1987-04-22 1987-04-22 防振装置

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JPS63266243A true JPS63266243A (ja) 1988-11-02

Family

ID=14195541

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JP9755787A Pending JPS63266243A (ja) 1987-04-22 1987-04-22 防振装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11348899A (ja) * 1998-06-10 1999-12-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ペイロードの防振装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51121356A (en) * 1975-04-17 1976-10-23 Akira Yamamura Anti-vibration bench device
JPS54133303A (en) * 1978-04-07 1979-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Howling preventing device of record player

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51121356A (en) * 1975-04-17 1976-10-23 Akira Yamamura Anti-vibration bench device
JPS54133303A (en) * 1978-04-07 1979-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Howling preventing device of record player

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11348899A (ja) * 1998-06-10 1999-12-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ペイロードの防振装置

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