JPS63262530A - 複屈折測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光デイスク基板等の試料に対し、光ビームと
試料の情報記録面（以下測定面という）との交点（以下
測定点という）をそのまへに保ちながら、光ビームの測
定面に対する垂直入射、斜めの入射等による偏光度また
は偏光状態を測定するだめの複屈折測定装置の改良に関
する。

〔従来の技術〕

従来、この種の複屈折測定装置としては、一般に偏光解
析法が用いられ、大別して偏光変調法、回転検光子法、
光路分離法があるが、現在最も広く使用されているもの
として、エリプソメークの原理を使用した回転検子法で
ある。

この方法による測定装置を第４図に示し、以下これにつ
いて説明する。

１はレーザのような単色光源、２は回転可能な偏光子、
３は試料、４は２波長板である補償板、５は回転可能な
検光子、６は光検出器である。

この測定装置においては、試料３は偏光子２と補償板４
との間に配置され、単色光源１から出たレーザ光は、偏
光子２により４５°の直線偏光となり、試料３に入射さ
れる。

この時、若し試料３が複屈折を示すならば、試料３を通
過したレーザ光は、直線偏光から楕円偏光に変わるもの
である。

この測定装置においては、楕円偏光の振巾比と位相差を
、検光子５を回転させて検光子５の回転角度を変化させ
ることによって、任意の角度における光検出器の出力で
光の強度を求めるものである。

〔発明が解決しようとする間頴点〕

前述の従来の複屈折測定装置にふいては、光ビームの入
射角に対する依存度が強いものとして知られているポリ
カーボネート樹脂等の複屈折特性を測定するには、ディ
スク基板に対して光ビームを傾けるか、若しくは光ビー
ム方向を一定にしておいて、ディスクを傾けるかしなけ
ればならない。

しかし、とのような場合に、再現性よく傾げ、或いは位
置決めすることが困難な欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明は、従来の複屈折測定装置における前述の欠点、
すなわち、光デイスク基板に複屈折が存在すると雑音が
発生し、Ｓ／Ｎ比が悪化するため基板材料の選定、成形
条件を適切に設定する必要があるという欠点を解消し、
光ビームに対して試料であるディスク基板の傾斜角度、
位置を任意に、且つ正確に設定できるようにすることを
目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は前述の目的を達成するために、基台に円弧面を
ローラで支承されたＹ軸変向台と、該Ｙ軸変向台の回転
中心に中心を有する円弧面をＹ軸変向台のローラに支承
されたＸ軸変向台とを、それぞれ駆動装置で回動させ、
Ｘ軸変向台には試料が前記回転中心を通るように試料を
移動できる移動手段を設けたことを要旨とする。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の基本構成を第３図について説明する。

即ち、１は単色光源、２は偏光子、３は試料、４は補償
板、５は検光子、６は光検出器で、試料３が偏光子２と
補償板４との間に位置され、これを傾けることによって
、測定点の光ビームに対する複屈折特性を測定しようと
するもので、第１図第２図が試料を傾ける複屈折測定装
置の実施例である。

第１図、第２図において、１８は基台で、左右両側に、
各２個のローラ１９が取付けてあり、このローラ１９上
には、Ｙ軸変向台１１の円弧面２０が移動可能に載置さ
れている。

基台１８には、モータによって駆動されるネジ軸１２が
設けられ、このネジ軸１２とＹ軸変向台１１のウオーム
歯車２１が噛合している。

従って、モータの回転によってネジ軸１２が回転すると
、これに噛合するウオーム歯車２１によって、Ｙ軸変向
台１１は、回転中心０を中心としたＹ軸の回転運動をす
る。

Ｙ軸変向台１１には、前後両側の各２個所にローラ１４
を設け、回転中心○を中心とする円弧面２２がこれに支
承されるように、Ｘ軸変向台９が載置されている。

そして、Ｙ軸変向台１１を回動させたのと同様なモータ
とネジ軸１０がＹ軸変向台１１に設けられ、このネジ軸
１０に、Ｘ軸変向台９のウオーム歯車２３が噛合し、モ
ータの回転によってＹ軸変向台１１と同様に、Ｘ軸変向
台９も回転中心○を中心としたＸ軸の回転運動をする。

このＸ軸変向台９．　Ｙ軸変向台１１の回動角度は角度
検出器１５．１６によって検出される。

Ｙ軸変向台１１には、上記と別にモータとネジ軸１３が
設けられていて、該ネジ軸１３には、試料台７を有する
移動台８とバランスウェイト１７が螺合し、ネジ軸１３
の回転によって移動台８とバランスウェイト１７とは逆
方向に移動する。

試料台７には、試料であるポリカーボネイト板の試料板
３が載置されるが、その測定面は回転中心Ｏと一致して
いる。

従って、モータによりネジ軸１３が回動すると、試料板
の測定点が回転中心Ｏ上を移動するが、この時の移動台
８の移動による重量のアンバランスを、バランスウェイ
ト１７の移動によって、バランスをとるものである。

このように、Ｙ軸変向台１１．Ｘ軸変向台９は、回転中
心○を通るＹ軸、Ｘ軸を中心として回動し、その角度は
任意に設定できると共に、移動台８の移動によって、測
定面の所要の個所を測定点に移動できるものである。

上記の実施例においては、光ディスクの基板の測定につ
いて述べたが、試料板３を載せる試料台７に代えて、光
学ミラ一台を載せ、光学測量、例えばレーザ遠隔測量に
おけるミラー調整台とし、遠隔操従によってそのモーフ
を動がし、ミラ一台の角度を調節し、その角度を検出器
で検出することにより行う等の応用ができる。

更に、恒風槽内に設置し、槽内の試料の姿勢を変える等
の遠隔制御にも応用できる。

〔発明の効果〕

本発明は叙上のように、試料となる光デイスク基板の光
ビームに対する入射角を設定するために、光ビームと測
定面の交点を中心としてＸ軸、Ｙ軸弧面、２１・・・ウ
オーム歯車、２２・・・円弧面。

何れの方向にも任意の角度傾け、入射角を再現性よく設
定することができる。

又、回転中心を通る回転軸や軸承枠が不要なため、機構
を小型化できると共に、試料台上面に障害物がないので
、試料の着脱が容易である。

更に、Ｘ軸変向台、Ｙ軸変向台の回動角度検出器を、円
弧面の外側に設置することができるため、測定精度を高
めることが可能である等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の側面略示図、第２図は、
同正面略示図、 第３図は、本発明の測定方法の概念図、第４図は、従来
の測定方法の概念図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基台上のローラに弧状面が支承され、基台上の駆動装置
   により弧状面がローラ上を移動するＹ軸変向台と、該Ｙ
   軸変向台の回転中心と一致する中心を有する弧状面がＹ
   軸変向台のローラに支承され、Ｙ軸変向台上の駆動装置
   により弧状面がローラ上を移動するＸ軸変向台と、該Ｘ
   軸変向台上に設けられ、その上に載置した試料がＸ軸回
   転中心に沿って移動可能に試料を載置する直線運動部材
   とを備えたことを特徴とする複屈折測定装置。