JPS63261131A - ガスケツト型圧力センサ− - Google Patents
ガスケツト型圧力センサ−Info
- Publication number
- JPS63261131A JPS63261131A JP9523887A JP9523887A JPS63261131A JP S63261131 A JPS63261131 A JP S63261131A JP 9523887 A JP9523887 A JP 9523887A JP 9523887 A JP9523887 A JP 9523887A JP S63261131 A JPS63261131 A JP S63261131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating plates
- electrode plate
- piezoelectric elements
- pressure sensor
- laminate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 6
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、内燃機関の燃焼室もしくは油圧、空気圧使
用機器から発生する圧力を検知する圧力センサーに関す
る。
用機器から発生する圧力を検知する圧力センサーに関す
る。
(従来の技術)
従来、内燃機関あるいは、油圧、空気圧使用機器より発
生する圧力を検知、測定する圧力センサーとして、環状
になった受圧部、すなわち押え金又は、板パツキンによ
って環状の圧電素子を配置した電極板を挟持、固定した
上、同型の金属製外皮内へ封入してなるもの(実開昭6
1−60137号)がある。
生する圧力を検知、測定する圧力センサーとして、環状
になった受圧部、すなわち押え金又は、板パツキンによ
って環状の圧電素子を配置した電極板を挟持、固定した
上、同型の金属製外皮内へ封入してなるもの(実開昭6
1−60137号)がある。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、上記従来のものにおいて、特に実開昭6
1−60137号の場合、圧力を検知、測定する受圧素
子が環状となるため、1枚のウェハーから1個しか型取
シすることができず、製品としても歩留シが非常に悪い
うえ、環状のため、製造時又は取付は時において不均等
荷重が加わると破損しやすい欠点がある。そのため耐衝
撃性に対して強度の高いブロック状の圧電素子を用い、
絶縁板上に穿設する収容孔に上記圧電素子を収納してな
るものも提案されているが、電極板上の一方にしか圧電
素子が配置されないので、感度が十分に向上しないとい
う問題があった。そこで、この発明は上記従来のものの
欠点を改善するものであり、衝撃性に対する強度があシ
、1枚の圧電素子を分割し多数のブロック状素子を形成
してコストが低くく、精度を十分に確保できるようにし
たものである。
1−60137号の場合、圧力を検知、測定する受圧素
子が環状となるため、1枚のウェハーから1個しか型取
シすることができず、製品としても歩留シが非常に悪い
うえ、環状のため、製造時又は取付は時において不均等
荷重が加わると破損しやすい欠点がある。そのため耐衝
撃性に対して強度の高いブロック状の圧電素子を用い、
絶縁板上に穿設する収容孔に上記圧電素子を収納してな
るものも提案されているが、電極板上の一方にしか圧電
素子が配置されないので、感度が十分に向上しないとい
う問題があった。そこで、この発明は上記従来のものの
欠点を改善するものであり、衝撃性に対する強度があシ
、1枚の圧電素子を分割し多数のブロック状素子を形成
してコストが低くく、精度を十分に確保できるようにし
たものである。
(問題点を解決するための手段)
環状の電極板の上面及び下面に配した絶縁板に複数の等
間隔のブロック状圧電素子を収納する収容孔を穿設する
と共に、絶縁板より厚い圧電素子を挿嵌し、上下方向よ
りパッキンによって挟持、環状金属ケース内に封入して
なるものである。
間隔のブロック状圧電素子を収納する収容孔を穿設する
と共に、絶縁板より厚い圧電素子を挿嵌し、上下方向よ
りパッキンによって挟持、環状金属ケース内に封入して
なるものである。
(作用)
上記の構成である力・ら、@撃が加わっても各ブロック
状素子が分散してその衝撃力を支え、かつ、不均等荷重
に対しても、その荷重も各ブロック状素子が支持するの
で全体に不均等となることはなく、さらに絶縁板にあら
かじめ等間隔に収容孔を穿設しであるので、自ら均等な
圧電素子の配置を可能とし、また圧電素子を収納した絶
縁板が電極板を挾んで両面にあるからその出力、精度を
一層向上することができる。その上、1枚のウェハーか
ら多数の素子を型取シできるのでコスト低減できること
はいうまでもない。
状素子が分散してその衝撃力を支え、かつ、不均等荷重
に対しても、その荷重も各ブロック状素子が支持するの
で全体に不均等となることはなく、さらに絶縁板にあら
かじめ等間隔に収容孔を穿設しであるので、自ら均等な
圧電素子の配置を可能とし、また圧電素子を収納した絶
縁板が電極板を挾んで両面にあるからその出力、精度を
一層向上することができる。その上、1枚のウェハーか
ら多数の素子を型取シできるのでコスト低減できること
はいうまでもない。
(実施例)
この発明を図に示す実施例により更に説明する。
(1)はこの発明のガスケット型圧力センサーであ)、
このガスケット型圧力センサ−(1)は、内方に圧力を
検知、測定を行う積層体(13)が内封されている環状
の金属ケース(2)と内部にリード線(IIJを連結さ
せる保持管(4)とからなる。1ず圧力を検知、測定す
る積層体03は、第2図に示すように、電極板(9)の
上面及び下面に、ブロック形状の圧電索子(7)を収納
する収容孔(8)を等間隔に穿設した絶縁体(6)を配
置すると共に、さらに上下方向より、電極板(9)と圧
電索子(71ft収容した絶縁体(6)ヲ、押えパツキ
ン(5)によって挟持、固定するものである。この積層
体03)の圧電素子(7)は1枚のウェハーより同−形
状に分割して形成されるものであって、絶縁板(6)の
厚さよりも厚く構成され、その上面が絶縁板(6)表面
より突出しパツキン(5)に接している。この積層体0
3を環状の金属ケース(2)内へ封入し、一方、電極板
(9)の側方へ突出する端子部0旬とリード線圓を接合
させ、保持管(4)と連結して、外部にリード線(11
1’(i−取シ出すものである。この金属ケース(2)
内へ積層体(13を封入したときに生じる空間において
は、振動等による積層体a□□□の揺動を防止するため
、充填材(Iαをその周囲に充填し、同様に、充填材0
0)は必要に応じてリード線aυを保持する保持管(4
)内にも充填した上、ケース(2)上面の開口縁を内方
に折曲かしめつけ、ケース(2)内に上記積層体a3を
保持するものである。このガスケット型圧力センサ−(
1)は、環状であるため中央の取付孔(3)を使用して
種々の場所例えば、点火プラグを挿通し、点火プラグを
シリンダーヘッドに螺着することにより、この圧力セン
サーをシリンダーヘッド上に固定することができ、また
、過大の負荷が圧力センサー(11にかかったとき、金
属ケース(2)上部のかしめつけによ多形成される環溝
(121により、その変形を緩和することができる。
このガスケット型圧力センサ−(1)は、内方に圧力を
検知、測定を行う積層体(13)が内封されている環状
の金属ケース(2)と内部にリード線(IIJを連結さ
せる保持管(4)とからなる。1ず圧力を検知、測定す
る積層体03は、第2図に示すように、電極板(9)の
上面及び下面に、ブロック形状の圧電索子(7)を収納
する収容孔(8)を等間隔に穿設した絶縁体(6)を配
置すると共に、さらに上下方向より、電極板(9)と圧
電索子(71ft収容した絶縁体(6)ヲ、押えパツキ
ン(5)によって挟持、固定するものである。この積層
体03)の圧電素子(7)は1枚のウェハーより同−形
状に分割して形成されるものであって、絶縁板(6)の
厚さよりも厚く構成され、その上面が絶縁板(6)表面
より突出しパツキン(5)に接している。この積層体0
3を環状の金属ケース(2)内へ封入し、一方、電極板
(9)の側方へ突出する端子部0旬とリード線圓を接合
させ、保持管(4)と連結して、外部にリード線(11
1’(i−取シ出すものである。この金属ケース(2)
内へ積層体(13を封入したときに生じる空間において
は、振動等による積層体a□□□の揺動を防止するため
、充填材(Iαをその周囲に充填し、同様に、充填材0
0)は必要に応じてリード線aυを保持する保持管(4
)内にも充填した上、ケース(2)上面の開口縁を内方
に折曲かしめつけ、ケース(2)内に上記積層体a3を
保持するものである。このガスケット型圧力センサ−(
1)は、環状であるため中央の取付孔(3)を使用して
種々の場所例えば、点火プラグを挿通し、点火プラグを
シリンダーヘッドに螺着することにより、この圧力セン
サーをシリンダーヘッド上に固定することができ、また
、過大の負荷が圧力センサー(11にかかったとき、金
属ケース(2)上部のかしめつけによ多形成される環溝
(121により、その変形を緩和することができる。
(発明の効果)
以上のとおりの構成を具えるので、上下面に均等な配置
により圧カセンサーとしての出力、精度を著しく向上さ
せ、1枚のウェハーより多数の素子が形成できるので、
その製造コストを低減できる優れた効果をもつものであ
る。
により圧カセンサーとしての出力、精度を著しく向上さ
せ、1枚のウェハーより多数の素子が形成できるので、
その製造コストを低減できる優れた効果をもつものであ
る。
第1図は、この発明の実施例であるガスケット型圧力セ
ンサーの全体斜視図、第2図はその分解斜視図、第3図
は第1図におけるI−I断面図である。 1・・・ガスケット型圧力センサ−,2・・・金属ケー
ス、3・・・取付孔、4・・・保持管、5・・・押えパ
ツキン、6・・・絶縁体、7・・・ブロック形状圧電素
子、8・・・収容孔、9・・・電極板、10・・・充填
材、11・・・リード線、12・・・環溝、13・・・
積層体。 特許出願人 代理人弁理士 藤木三幸第1図 11開0U63−261131(3) 第2図
ンサーの全体斜視図、第2図はその分解斜視図、第3図
は第1図におけるI−I断面図である。 1・・・ガスケット型圧力センサ−,2・・・金属ケー
ス、3・・・取付孔、4・・・保持管、5・・・押えパ
ツキン、6・・・絶縁体、7・・・ブロック形状圧電素
子、8・・・収容孔、9・・・電極板、10・・・充填
材、11・・・リード線、12・・・環溝、13・・・
積層体。 特許出願人 代理人弁理士 藤木三幸第1図 11開0U63−261131(3) 第2図
Claims (1)
- 環状の電極板の上面及び下面に配した絶縁板に等間隔に
複数の収容孔を設け、この収容孔に絶縁板より厚く、収
容孔に相似するブロック状圧電素子を挿嵌し、上記電極
板と絶縁板を板パッキンで挾持すると共に、環状金属ケ
ース内に封入してなるガスケット重圧力センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9523887A JPS63261131A (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | ガスケツト型圧力センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9523887A JPS63261131A (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | ガスケツト型圧力センサ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63261131A true JPS63261131A (ja) | 1988-10-27 |
Family
ID=14132181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9523887A Pending JPS63261131A (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | ガスケツト型圧力センサ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63261131A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05256709A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-10-05 | Fel Pro Inc | 囲まれた荷重センサをもつガスケット |
US20150268111A1 (en) | 2014-03-24 | 2015-09-24 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with process variable sensor carried by process gasket |
-
1987
- 1987-04-20 JP JP9523887A patent/JPS63261131A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05256709A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-10-05 | Fel Pro Inc | 囲まれた荷重センサをもつガスケット |
US20150268111A1 (en) | 2014-03-24 | 2015-09-24 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with process variable sensor carried by process gasket |
JP2017508977A (ja) * | 2014-03-24 | 2017-03-30 | ローズマウント インコーポレイテッド | プロセスガスケットにより導入されるプロセス変数センサを備えたプロセス変数トランスミッタ |
US10107700B2 (en) | 2014-03-24 | 2018-10-23 | Rosemount Inc. | Process variable transmitter with process variable sensor carried by process gasket |
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