JPS63257173A - 電子顕微鏡におけるデユアル画像画調調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電子顕微鏡を用いた試料観察に利用されるデュ
アル画像の百ｍ！Ｊ！整方法に関するものである。

従来の技術 近年、電子顕微鏡は優れた状態観察装置として研究所等
に普及しており、より理解し易く、鮮明な像を得る方法
が望まれている。その方法の１つとして以前より一画面
上に特定点を含む２つの異った視野の画像を表示するデ
ュアル画像表示が広く利用されている。

以下図面を用いて、従来の電子顕微鏡におけるデュアル
画像画１ｌｉ１１整方法の一例について説明する。

第２図は従来の電子顕微鏡におけるデュアル画像画ｔＩ
ｉ！ｌｌ整方法を示すブロック図である。第２図におい
て、ｌは電子ビーム、２は試料、３は電子ビーム走査用
コイル、４は陰極線走査コイル、６はある範囲を走査す
る第一走査モード信号を発生する第一走査回路５ａと別
の範囲を走査する第二走査モード信号を発生する第二走
査回路５ｂを含む走査を源、７は第一走査と第二走査の
切り換えをして走査電源を制御する制御回路、８は試料
２より発生した信号源を検出する検出器、９は検出器８
からの信号を任意に増幅ｔＡ！ｌ、画像を最良のコント
ラストと輝度に調整するビデオ増幅器、１０は第一走査
時の画像と第二走査時の画像を表示するＣＲＴである。

このようにして、同一画面上に同じ画調の異った２両像
が表示される。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記の画調調整方法において、試料上の
特定点の画像がエツジ効果等により白く光っている状態
で、その特定点を含む低倍率像と特定点の高倍率像をデ
ュアル画像表示する場合には、２画像の画調が同じ゛で
あることによって、どちらか一方の画像の画調が不適当
となり、その画像が不鮮明になるという問題を有してい
た。

本発明は上記問題点に鑑み、２画像とも最良のコントラ
ストと輝度を有する鮮明なデュアル画像を実現して電子
顕微鏡機能を向上させる電子顕微鏡におけるデュアル画
像画調調整方法を提供するものである。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の電子顕微鏡におけ
るデュアル画像画１１１＋１整方法は、制御回路で第一
走査と第二走査の２つの電子ビーム走査を制御すると同
時にスイッチング回路を制御し、検出器で信号源を検出
し、ビデオ増幅器で前記検出器の信号を任意に増ｆｐＭ
調整し、ビデオ調整回路で第二走査時のみ前記ビデオ増
幅器の信号を再度調整し、前記制御回路により制御され
る前記スイッチング回路で前記ビデオ増幅器の信号を第
一走査時にはＣＲＴに流して画像表示し、第二走査時に
は前記ビデオ調整回路を経た後ＣＲＴに流して画像表示
するようにスイッチングする構成を有している。

作用 本発明は上記した構成によって同一画面上の異なる２つ
の画像を、それぞれ独立に任意の画調に調整でき、より
理解し易く、鮮明なデュアル画像を実現し、電子顕微鏡
機能を向上させることとなる。

実施例 以下本発明の一実施例の電子顕微鏡におけるデュアル画
像画調調整方法について図面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の第一実施例である電子顕微鏡における
デュアル画像画調調整方法を示すブロック図である。第
１図において、１１は第一走査と第二走査の２つの電子
ビーム走査を切り換えるために走査電源６を制御すると
同時にスイッチング制御をする制御回路、１２はビデオ
増幅器９からの信号を再度調整するビデオ調整回路、１
３は制御回路１１により駆動されて、ビデオ増幅器９の
信号をＣＲＴＩＯまたはビデオ調整回路１２に流すよう
にスイッチングするスイッチング回路である。なお、同
図における１、２．３゜４、　５ａ、　　５ｂ、　　６
．　７．　８．　９．　１０は第２図に示した従来例同
符号のものと同様なものである。

以上のように構成された電子顕微鏡におけるデュアル画
像画調調整方法について、以下第１図を用いて説明する
。

まず、制御回路１１が第一走査回路５ａを作動させると
、スイッチング回路１３がそれに同期して作動し、ビデ
オ調整装置１２をＯＦ’Ｆ状態にする。第一走査状態で
は電子ビームｌの照射によって試料２から発生した信号
源は検出器８で検出され、検出器８の信号は画像が任意
のコントラストと輝度になるようにビデオ増幅器９によ
り増幅調整されて第一走査画像がＣＲＴＩＯに表示され
る。

次に、制御回路１１が第二走査回路５ｂを作動させると
、それに同期してスイッチング回路１３が作動して、ビ
デオ調整回路１２をＯＮ状態にする。

第二走査状態では電子ビーム１の照射によって試料２か
ら発生した信号源は検出器８により検出され、ビデオ増
幅器９によって第一走査状態と同一条件に増幅調整され
るが、ビデオ増幅器９の信号はビデオ調整回路１２によ
り画像が再度任意のコントラストと輝度になるように調
整され、第二走査画像がＣＲＴＩＯに表示される。以上
のことが繰り返えされてデュアル画像を得る。

発明の効果 以上のように本発明は電子顕微鏡でのデエアル画像観察
において同一画面上の異った２画像をそれぞれ独立に任
意の画調に調整できるので、より理解し易（鮮明な画像
が得られ、デュアル画像表示機能をより充実させると共
に、電子顕微鏡機能の向上を実現するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における電子顕微鏡における
デュアル画像画調調整方法を示すブロック図、第２図は
従来の電子顕微鏡におけるデュアル画像百ｆＩ調整方法
を示すブロック図である。 ６・・・・・・走査電源、１１・・・・・・制御回路、
１３・・・・・・スイッチング回路、８・・・・・・検
出器、９・・・・・・ビデオ増幅器、１２・・・・・・
調整回路。 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　はか１名第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 制御回路と、検出器と、ビデオ増幅器と、ビデオ調整回
   路と、スイッチング回路と、画像を表示するＣＲＴとを
   備え、前記制御回路で第一走査と第二走査の２種の電子
   ビーム走査を制御すると同時に前記スイッチング回路を
   制御し、前記検出器で信号源を検出し、前記ビデオ増幅
   器で前記検出器の信号を任意に増幅調整し、前記ビデオ
   調整回路で第二走査時のみ前記ビデオ増幅器の信号を再
   度任意に調整し、前記制御回路により駆動される前記ス
   イッチング回路で前記ビデオ増幅器の信号を第一走査時
   には前記ＣＲＴに流して画像表示し、第二走査時には前
   記ビデオ調整回路を経た後に前記ＣＲＴに流して画像表
   示するようにスイッチングすることによって前記ＣＲＴ
   上の異った二画像をそれぞれ独立に任意の画調に調整で
   きることを特徴とする電子顕微鏡におけるデュアル画像
   画調調整方法。