JPS63256160A - 感光性樹脂の硬化方法及び硬化装置 - Google Patents
感光性樹脂の硬化方法及び硬化装置Info
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- JPS63256160A JPS63256160A JP9135787A JP9135787A JPS63256160A JP S63256160 A JPS63256160 A JP S63256160A JP 9135787 A JP9135787 A JP 9135787A JP 9135787 A JP9135787 A JP 9135787A JP S63256160 A JPS63256160 A JP S63256160A
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 33
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、光に反応して硬化する感光性樹脂の効率的
な硬化方法とその実施に用いる装置に関する。
な硬化方法とその実施に用いる装置に関する。
樹脂被覆線における被覆樹脂の塗布、硬化速度はコスト
の点で早いほど望ましく、感光性樹脂を用いて紫外線照
射により硬化させる方法が利用されている。
の点で早いほど望ましく、感光性樹脂を用いて紫外線照
射により硬化させる方法が利用されている。
感光性樹脂は、樹脂中の光開始剤が紫外領域の波長の光
を受けて開裂することによりラジカル反応を起こして硬
化する。
を受けて開裂することによりラジカル反応を起こして硬
化する。
ところで、この感光性樹脂に対する紫外線照射の光源と
しては、水銀ランプやメタルハライドランプ等が一般的
に用いられるが、これ等のランプは、紫外域のある特定
の波長で出力ピークを持つものである。第５図の（ａｌ
、（ｂ）及び（ｃ）は、種類の異なる代表的なランプの
出力波長特性を示しており、これから判るように、例え
ば、ランプ（８１はランプ（ｂｌに比べてパワー分布が
比較的短波長側に片寄っている。
しては、水銀ランプやメタルハライドランプ等が一般的
に用いられるが、これ等のランプは、紫外域のある特定
の波長で出力ピークを持つものである。第５図の（ａｌ
、（ｂ）及び（ｃ）は、種類の異なる代表的なランプの
出力波長特性を示しており、これから判るように、例え
ば、ランプ（８１はランプ（ｂｌに比べてパワー分布が
比較的短波長側に片寄っている。
これに対し、主な光開始剤の有効励起波長域は下表のよ
うになっている。
うになっている。
表 １
光開始剤 有効励起波長（ｔｍ）ジーｔａ
ｒｔ−ブチルパーオキサイド〈３００第６図は、光開始
剤の一例であるベンゾインイソプロピルエーテル及びグ
ロキュア１１７３（商品名）の波長によるモル吸光係数
の変化を示したものであって、その吸光ピーク波長は、
例えば、第５図のｆａｔ、（ｂｌ、（Ｃ）の出力ピーク
波長から明らかにずれている。
ｒｔ−ブチルパーオキサイド〈３００第６図は、光開始
剤の一例であるベンゾインイソプロピルエーテル及びグ
ロキュア１１７３（商品名）の波長によるモル吸光係数
の変化を示したものであって、その吸光ピーク波長は、
例えば、第５図のｆａｔ、（ｂｌ、（Ｃ）の出力ピーク
波長から明らかにずれている。
ところが、従来の感光性樹脂硬化装置は、光強度向上の
ため、複数本のランプを被硬化物の周囲に並列配置する
場合も勿論あるが、その場合にも、特定波長で出力ピー
クをもつ上述のランプのうちのいずれか同一種のランプ
のみを用いて構成されている。従って、励起波長域の一
部しか有効活用されず、このため光開始剤の励起効率が
悪く、硬化時間が長くなると云う問題があった。
ため、複数本のランプを被硬化物の周囲に並列配置する
場合も勿論あるが、その場合にも、特定波長で出力ピー
クをもつ上述のランプのうちのいずれか同一種のランプ
のみを用いて構成されている。従って、励起波長域の一
部しか有効活用されず、このため光開始剤の励起効率が
悪く、硬化時間が長くなると云う問題があった。
この発明は、上記の問題点を無くすため、並行配置され
た複数本の出力波長特性の異なるランプと、被硬化物の
通路を有し、その通路に向けて上記各ランプからの照射
光を集光する光学系とで感光性樹脂の硬化装置を構成す
る。
た複数本の出力波長特性の異なるランプと、被硬化物の
通路を有し、その通路に向けて上記各ランプからの照射
光を集光する光学系とで感光性樹脂の硬化装置を構成す
る。
また、この発明の方法は、樹脂被覆線の効率的な製造の
ために、上述した装置の通路に、表面が感光性未硬化樹
脂に覆われた線条体を走行させ、上記各ランプからの照
射光で線条体表面の未硬化樹脂を反応硬化させる。
ために、上述した装置の通路に、表面が感光性未硬化樹
脂に覆われた線条体を走行させ、上記各ランプからの照
射光で線条体表面の未硬化樹脂を反応硬化させる。
出力波長特性の異なる複数本のランプを用いると、個々
のランプの低出力波長域が互いに補われ、樹脂中の光開
始剤が広い出力波長域において効果的に励起される。従
って、樹脂の硬化時間は従来に比べて短かくなる。
のランプの低出力波長域が互いに補われ、樹脂中の光開
始剤が広い出力波長域において効果的に励起される。従
って、樹脂の硬化時間は従来に比べて短かくなる。
（実施例〕
第１図及び第２図に、この発明の装置の一例を示す。
第１図の硬化装置１は、被硬化物１０のパスラインを基
準にしてその左右に出力波長特性の異なる高圧水銀ラン
プ２とメタルハライドランプ３を並行配置し、さらに、
その２つのランプを凹面反射鏡４で囲ったものである。
準にしてその左右に出力波長特性の異なる高圧水銀ラン
プ２とメタルハライドランプ３を並行配置し、さらに、
その２つのランプを凹面反射鏡４で囲ったものである。
一方、第２図の硬化装置１′は、被硬化物１０の周囲に
３本の高圧水銀ランプ５．６．７を並行配置してそれ等
の周りを反射鏡８で囲ったもので、この場合のランプ５
．６．７は水銀の封入圧が異なっている。
３本の高圧水銀ランプ５．６．７を並行配置してそれ等
の周りを反射鏡８で囲ったもので、この場合のランプ５
．６．７は水銀の封入圧が異なっている。
水銀ランプは水銀の封入圧を、また、メタルハライドラ
ンプは封入するメタルハライドの種類或いは封入圧を変
えることによって出力波長特性を変化させることができ
る。従って、同一装置におけるランプの組合せパターン
は、水銀ランプとメタルハライドランプの組合せのほか
にも色々と考えられ、その組合せパターンの選択次第で
は、光開始剤のモル吸光係数の高い波長域をまんべんな
くカバーすることができる。つまり、組合せランプの出
力波長特性は、光開始剤のモル吸光係数の高い波長域と
対応していることが望ましいが、この発明によれば、こ
れを実現して励起効率を最大限に発揮させることが可能
である。
ンプは封入するメタルハライドの種類或いは封入圧を変
えることによって出力波長特性を変化させることができ
る。従って、同一装置におけるランプの組合せパターン
は、水銀ランプとメタルハライドランプの組合せのほか
にも色々と考えられ、その組合せパターンの選択次第で
は、光開始剤のモル吸光係数の高い波長域をまんべんな
くカバーすることができる。つまり、組合せランプの出
力波長特性は、光開始剤のモル吸光係数の高い波長域と
対応していることが望ましいが、この発明によれば、こ
れを実現して励起効率を最大限に発揮させることが可能
である。
なお、光開始剤も、複数種を混合すると効果がより増強
される場合がある。
される場合がある。
また、硬化装置は、ターンテーブル等で支持して被硬化
物のパスラインを中心に一定速度で回転させてもよい。
物のパスラインを中心に一定速度で回転させてもよい。
次に、この発明の方法の具体例を述べる。
第１図の硬化装置１を用いてその中心の通路に第３図に
示す断面構造の被硬化物、即ち、表面に液状感光性樹脂
１１の塗布されたガラスファイバ１２を走行させた。
示す断面構造の被硬化物、即ち、表面に液状感光性樹脂
１１の塗布されたガラスファイバ１２を走行させた。
装置１の高圧水銀ランプ２とメタルハライドランプ３は
、共に出力１．５に−で、第４図の（ａｌ、（ｂｌに示
す波長特性を示すものである。
、共に出力１．５に−で、第４図の（ａｌ、（ｂｌに示
す波長特性を示すものである。
一方、ガラスファイバ１２は、外径０．５ｍで、樹脂１
１の被覆層を含めた外径は０．７ｎである。
１の被覆層を含めた外径は０．７ｎである。
また、ここで用いた感光性樹脂はウレタンアクリレート
系のもので、光開始剤のベンゾフェノンを約５重量％含
み、完全硬化時のヤング率は８０ｋｒ／鶴２を示す。
系のもので、光開始剤のベンゾフェノンを約５重量％含
み、完全硬化時のヤング率は８０ｋｒ／鶴２を示す。
この硬化作業において、ガラスファイバの線速を５ ｍ
／ｗｉｎ 、１０ ｍ／ｍｉｎ 、 ２０ ｍ／ｗｉｎ
と３段階に変化させたところ、装置通過後の表面樹脂の
ヤング率は、それぞれ８０．７９．７５ｋｇ／ｍ”にな
っており、約１０ｍ／ａ＋ｉｎの線速で完全に硬化する
ことが判った。
／ｗｉｎ 、１０ ｍ／ｍｉｎ 、 ２０ ｍ／ｗｉｎ
と３段階に変化させたところ、装置通過後の表面樹脂の
ヤング率は、それぞれ８０．７９．７５ｋｇ／ｍ”にな
っており、約１０ｍ／ａ＋ｉｎの線速で完全に硬化する
ことが判った。
比較のため、２つのランプを、同一出力波長特性の高圧
水銀ランプに置き代えたところ、線速５．１０．２０ｍ
／ｌ１ｉｎでの装置通過後のヤング率は、それぞれ７８
．６９．６２に＋ｒ／鰭２と、いずれの線速においても
先の数値よりも低く、高速での完全硬化は不可能であっ
た。
水銀ランプに置き代えたところ、線速５．１０．２０ｍ
／ｌ１ｉｎでの装置通過後のヤング率は、それぞれ７８
．６９．６２に＋ｒ／鰭２と、いずれの線速においても
先の数値よりも低く、高速での完全硬化は不可能であっ
た。
以上の通り、この発明は、複数本のランプからピーク出
力波長の異なる光を同時に照射して広い波長域で樹脂中
の光開始剤を効率的に励起するようにしたものであるか
ら、照射光のロスを減らして感光性樹脂の硬化時間を早
めることができる。
力波長の異なる光を同時に照射して広い波長域で樹脂中
の光開始剤を効率的に励起するようにしたものであるか
ら、照射光のロスを減らして感光性樹脂の硬化時間を早
めることができる。
また、この発明の方法は、上記装置の通路に線状体を走
行させて表面の感光性樹脂を効率的に硬化させるので、
線状体の走行速度を上げることができ、樹脂被覆線の生
産性の向上と、製造費の削減につながると云う効果が得
られる。
行させて表面の感光性樹脂を効率的に硬化させるので、
線状体の走行速度を上げることができ、樹脂被覆線の生
産性の向上と、製造費の削減につながると云う効果が得
られる。
第１図は、この発明の装置の一例を示す斜視図、第２図
は他の実施例の平面図、第３図は被硬化物の一例を示す
断面図、第４図の（ａ）、（ｂｌは方法の実施に用いた
装置のランプの出力波長特性を示すグラフ、第５図の（
ａ）、伽）、ｆｃｌは種類の異なる代表的なランプの出
力波長特性を示すグラフ、第６図はベンゾイン イソプ
ロピルエーテル及びダロキエア１１７３の波長によるモ
ル吸光係数の変化を示すグラフである。 １．１′・・・・・・硬化装置、２．５．６．７・・・
・・・高圧水銀ランプ、３・・・・・・メタルハライド
ランプ、４．８・・・・・・反射鏡、１０・・・・・・
被硬化物、１１・・・・・・液状感光性樹脂、１２・・
・・・・ガラスファイバ第５図 第６図 ３ω ３５０ ４００→
波長（ロー （ｎｒｒｉ
は他の実施例の平面図、第３図は被硬化物の一例を示す
断面図、第４図の（ａ）、（ｂｌは方法の実施に用いた
装置のランプの出力波長特性を示すグラフ、第５図の（
ａ）、伽）、ｆｃｌは種類の異なる代表的なランプの出
力波長特性を示すグラフ、第６図はベンゾイン イソプ
ロピルエーテル及びダロキエア１１７３の波長によるモ
ル吸光係数の変化を示すグラフである。 １．１′・・・・・・硬化装置、２．５．６．７・・・
・・・高圧水銀ランプ、３・・・・・・メタルハライド
ランプ、４．８・・・・・・反射鏡、１０・・・・・・
被硬化物、１１・・・・・・液状感光性樹脂、１２・・
・・・・ガラスファイバ第５図 第６図 ３ω ３５０ ４００→
波長（ロー （ｎｒｒｉ
Claims (2)
- （１）並行配置された複数本の出力波長特性の異なるラ
ンプと、被硬化物の通路を有し、その通路に向けて上記
各ランプからの照射光を集光する光学系とで構成される
感光性樹脂の硬化装置。 - （２）並行配置された複数本の出力波長特性の異なるラ
ンプと、被硬化物の通路を有し、その通路に向けて上記
各ランプからの照射光を集光する光学系とで構成される
硬化装置の上記通路に、表面が感光性未硬化樹脂に覆わ
れた線条体を走行させ、上記各ランプからの光で上記線
条体表面の未硬化樹脂を反応硬化させることから成る感
光性樹脂の硬化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9135787A JPS63256160A (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | 感光性樹脂の硬化方法及び硬化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9135787A JPS63256160A (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | 感光性樹脂の硬化方法及び硬化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63256160A true JPS63256160A (ja) | 1988-10-24 |
Family
ID=14024135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9135787A Pending JPS63256160A (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | 感光性樹脂の硬化方法及び硬化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63256160A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2196855A1 (de) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | CST GmbH | Belichtungskopf und Verfahren zur Herstellung von Druckformen |
| US9803712B2 (en) | 2012-10-03 | 2017-10-31 | Konecranes Global Corporation | Brake monitoring |
-
1987
- 1987-04-13 JP JP9135787A patent/JPS63256160A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2196855A1 (de) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | CST GmbH | Belichtungskopf und Verfahren zur Herstellung von Druckformen |
| US9803712B2 (en) | 2012-10-03 | 2017-10-31 | Konecranes Global Corporation | Brake monitoring |
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