JPS63254725A - Ｘ線リソグラフイ用マスクメンブレン及びその製造方法 - Google Patents

Ｘ線リソグラフイ用マスクメンブレン及びその製造方法

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JPS63254725A
JPS63254725A JP62088934A JP8893487A JPS63254725A JP S63254725 A JPS63254725 A JP S63254725A JP 62088934 A JP62088934 A JP 62088934A JP 8893487 A JP8893487 A JP 8893487A JP S63254725 A JPS63254725 A JP S63254725A
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film
ammonia
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Akimasa Sakuma
昭正 佐久間
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007099588A (ja) * 2005-10-07 2007-04-19 National Institute For Materials Science フッ素原子が導入された窒化ホウ素ナノチューブ及びその製造方法

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JP2007099588A (ja) * 2005-10-07 2007-04-19 National Institute For Materials Science フッ素原子が導入された窒化ホウ素ナノチューブ及びその製造方法

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