JPS63252584A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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JPS63252584A
JPS63252584A JP8389687A JP8389687A JPS63252584A JP S63252584 A JPS63252584 A JP S63252584A JP 8389687 A JP8389687 A JP 8389687A JP 8389687 A JP8389687 A JP 8389687A JP S63252584 A JPS63252584 A JP S63252584A
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JP
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solvent
cleaning
cleaned
pipe
cleaning device
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JP8389687A
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野坂 良樹
真也 藤野
平部 友厚
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、各種部品に洗浄溶剤を噴射して洗浄する洗浄
装置に関し、特に、印刷機に使用するインキパン。
ドクター、インキハネカバー等の部品の洗浄に好適な洗
浄装置に関する。
〔従来の技術〕
グラビア印刷機において、印刷品目が変わる毎に。
毎回インキの色、タイプが異なる為、その都度インキパ
ンやドクター等を洗浄しなければならない。
従来の一般的なインキパン洗浄方法は1作業者が洗浄溶
剤及びぼろ布等を使って洗浄を行う手洗浄である。
しかしながら、このような手洗浄は重労働であり。
作業能率が悪く、シかも作業者が溶剤を吸い込み、労働
衛生上好ましくないという問題点を有している。
これを解消するため、洗浄すべきインキパンを下向きに
して金網製の籠に入れ、その下から溶剤をノズルで噴射
し、インキパンを籠ごと水平に往復動させて洗浄する洗
浄装置が知られている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記従来の洗浄装置では、複数のインキ
パンを同時に洗浄しようとすると、インキパンを重ねて
1内にセツティングしなければならず、その場合には全
部のインキパン内面に均一に溶剤を吹付けることができ
ず、洗浄むらが生じ、また溶剤を下から上に噴射するた
め、インキノセンから落ちてくる汚れでノズルが詰まっ
てしまう等の問題があった。勿論インキパンを重ねず並
べて部内にセツティングするようにすれば、全インキパ
ンを良好に洗浄することは可能であるが、その場合には
、itの面積が太き(必要となり。
洗浄装置の据付面積が大きくなるという問題が生じる。
また、インキパン等の重い被洗浄体をセットした壇を水
平に往復動させるため、その駆動装置が大型となるとい
う問題もあった。
本発明は、かかる従来の問題点を解決せんとするもので
、溶剤噴射ノズルに詰まりをあまり生じることなく、複
数のインキパン等の被洗浄体を均一に洗浄することが可
能な、且つ比較的小型の洗浄装置を提供することを目的
とする。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的を達成すべく為された本発明の洗浄装置は。
底部に溶剤溜まりを有し、被洗浄体を収容する密閉空間
を形成する筺体と、咳筺体内にほぼ垂直に配置され。
長手方向に適当な間隔をあけて配置された複数のノズル
を備えた溶剤噴射管と、該溶剤噴射管をその軸線を中心
として回転させる回転装置と、前記溶剤溜まり内の溶剤
を前記溶剤噴射管に供給する溶剤循環装置とを偏えたこ
とを特徴とするものである。
〔作用〕
上記構成の洗浄装置において、?8剤噴射管の周囲に。
インキパン等の被洗浄体をその洗浄すべき面を溶剤噴射
管に向けてセントする。この際、インキパンのように長
い被洗浄体は立てた状態でセントする。これにより、比
較的狭い場所にも多数の被洗浄体をセットできる1次い
で、溶剤噴射管に溶剤を送り、そのン容剤噴射管に取付
けた多数のノズルから溶剤を高圧噴射し、同時にその溶
剤噴射管を回転さセる。これにより、被洗浄体がノズル
による溶剤噴射により、洗浄され、且つその際の噴射位
置が溶剤噴射管の回転によって変化するので、細部まで
良好に洗浄される。また、この際。
ノズルから噴射され、筺体底部の溶剤溜まりに溜まった
溶剤を溶剤循環装置で再度ノズルに供給し、再使用でき
るので、溶剤使用量を削減でき、経済的である。
なお、必要に応じ、このノズルに新たな溶剤を送って被
洗浄体のリンス洗浄を行うとか、或いはリンス専用のノ
ズルを配置し、リンス洗浄を行うようにして、もよい。
〔実施例〕
以下1図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図は、印刷機のインキパン、ドクター等の部品の洗
浄に用いる本発明の一実施例の洗浄装置を備えた洗浄シ
ステム全体を概略的に示す斜視図である。この洗浄シス
テムは、大別すると、インキパン等の被洗浄体1に対す
る洗浄を行う洗浄装置2と、洗浄に使用する新溶剤を蓄
えた新溶剤タンク3と、使用済の廃溶剤を蓄える廃溶剤
タンク4と、その廃溶剤を再生する溶剤再生装置5とか
らなる。6は洗浄装置2に被洗浄体lを搬入するための
運搬台車である。
第2図、第3図は洗浄装置2を示す縦断面図及び水平断
面図である。同図において、8は密閉空間を形成する筺
体であり、その−側面に運搬台車6を出し入れするため
の開口8Aが設けられている。この開口8Aには、内側
のシャッター9と、外側の扉10とが設けられており、
内部で溶剤を高圧噴射しても溶剤が外部に漏れない構造
となっている。筺体8の底部には、適当量の溶剤を溜め
ることの可能な溶剤溜まり8Bが形成されており、且つ
その底面は、−隅に形成されたドレン口8Cに向かって
傾斜している。ドレン口8Cには金網バスケット型フィ
ルター11が着脱可能に取付けられ、且つ配管40が接
続されている。更に、筺体8内には、底部に溜まった溶
剤の液面よりも高い位置に、レール13及びガイド14
が配置され、運搬台車6を所定位置に案内するように成
っている。レール13の上面は床面15に対して同一高
さとなるように配置されており、従って、床上を走行す
る運搬台車6をそのまま、筺体8内に搬入することが可
能である。
17は、垂直に配置された溶剤噴射管であり、その軸線
を中心として回転可能に1M体8の天井8Dに保持され
ている。18は溶剤噴射管」7に取付けられたチェーン
ホイール、19は駆動モータ、20はチェーンであり、
これらは溶剤噴射管17を回転させる回転装置を構成す
る。溶剤噴射管17には、その近傍にセットされる被洗
浄体1の各部に対して溶剤を高圧で噴射する多数のノズ
ル21.22が長手方向に適当な間隔をあけて取付けら
れている。第4図、第5図、第6図はこの溶剤噴射管1
7.ノズル21.22等を示すものであり、溶剤噴射管
17は外管17Aと内管17Bとからなる二重管構造で
ある。外管17Aにはノズル21が連結され、内管17
Bにはノズル22が連結されている。第4図に示すよう
に溶剤噴射管17の上端には5回転継手23が設けられ
2回転継手23には循環溶剤を供給する配管40及び新
溶剤を供給する配管42B(第10図参照)が接続され
ている。配管40は回転継手23を介して外管17Aに
接続され。
配管42Bは回転継手23を介して内管17Bに接続さ
れる。
第2図において、筺体8の側面には、空気取入ダクト2
7が接続され、天井には排気ダクト28が接続されてい
る。いずれのダク1−27.28にもそれぞれダンパー
29.30が設けられている。排気ダクト28は建屋外
に延びており5且つ第10図に概略的に示すように、ミ
ストセパレータ31とブロワ−Bが配置されている。ミ
ストセパレータ31はブロワ−Bで排気される空気中の
溶剤ミストを分離し筺体8内に戻す作用を果たす。また
、N体8の開口8への近傍外側には。
局所排気装置(図示せず)が設けられており、シャッタ
ー9開に連動して動作するようになっている。
第7図、第8図、第9図は運搬台車6を示す斜視図。
側面図、正面図である。運搬台車6は水平な底壁32と
、中央に直立した一対の垂直壁33とを有しており。
各底壁、垂直壁とも洗浄溶剤が通過しうるよう大部分を
金網で構成している。垂直壁33は、第2図に示すよう
に、インキパン等の大きい被洗浄体1を立てかけて保持
するためのものであり、且つ運搬台ff16を洗浄装置
2内の所定位置に搬入した際に、溶剤噴射管17の両側
に位置するように配置されている6第7図〜第9図にお
いて、垂直壁33には被洗浄体を固定するためのチェー
ン34が備えられ、また、小物部品を乗せるだめの取り
外し可能な金網トレイ35も備えられている。36は取
手、37は車輪である。
第10図は、第1図に示す洗浄システムの配管系統図で
ある。40は洗浄装置2底部の溶剤溜まり8Bの洗浄溶
剤をノズル21にWi還させる循環配管であり。
その途中にフィルタF、自動弁AI、#環ポンプP1゜
自動弁A2を備えている。41は、溶剤溜まり8Bの溶
剤を廃溶剤タンク4に排出する排出配管であり、Wi環
ポンプP1の吐出側に接続され、自動弁A3を備えてい
る。なお、自動弁A2.A3は循環配管40と排出配管
41とを切り換えるためのものであり1図示のように2
個の独立した開閉弁を使用する代わりに、1個の自動切
換弁を使用してもよい。また、以下の説明における他の
自動弁についても同様である。
42は新溶剤タンク3内の溶剤をノズル21.22に供
給する供給配管であり、自動弁A4を介して循環配管4
0の循環ポンプ吸込例に接続される第一分岐管42Aと
、自動弁A5、ポンプP2を介してノズル22に接続さ
れる第二分岐管42Bとに分岐している。
44は溶剤再生装置5を構成する蒸留釜であり、溶剤加
熱用のスチームジャケット45を備えている。46は受
液槽であり、内部に冷却管47を備えている。
l+ 48は、蒸留釜44を真空吸引するためのイジェクタ−
249はイジェクタ−48に駆動流体を供給する配管で
あり、ポンプP4を備えている。50は残渣排出用配性
であり、途中に残渣排出′ift循環用のポンプP5と
自動弁A7を備えている。51は残渣用ドラム缶である
。52は循環配管であり、自動弁A8を備えている。
53は廃溶剤タンク4の廃溶剤を溶剤再生装置5の蒸留
釜44に供給する溶射チャージ配管であり、途中にフィ
ルタF、チャージポンプP3.自動弁A6を備えている
。54は受液槽46に集められた再生溶剤を新溶剤タン
ク3に導(溶剤配管であり、自動弁A9を備えている。
56は新溶剤を供給するrr溶剤用ドラム缶、57はそ
のドラム缶56から新溶剤を新溶剤タンク3に補給する
補給配管であり、補給ポンプP6及び自動弁AIOを備
えている。
更に、第10図において、SO〜S6は液面センサであ
り、SOは洗浄装置2の溶剤溜まり8B内に循環洗浄に
必要な適量の洗浄溶剤が溜まつた際の液面レヘルに、S
lは溶剤溜まり8Bのゼロレベルに、S2は廃溶剤タン
ク4の廃溶剤が再生動作を開始するに適当な量となった
時の液面レベルに、53は廃溶剤タンク4のゼロレベル
に、34は新溶剤タンク3のオーバーフローレベルに、
35は新溶剤補給レベルに配置されている。また、液面
センサS6は残渣用ドラム缶51内に取り付けられる。
上記洗浄システムに使用する洗浄溶剤としては、インキ
を溶解可能なものを適宜使用可能であるが、インキ溶解
可能な塩素系の洗浄溶剤を用いることが望ましい、塩素
系の洗浄溶剤は、不燃性で安全であり、洗浄装置に対す
る防爆面での考慮をあまり必要としないので、装置を簡
略化しうる利点がある。
以上に説明した各ポンプ、自動弁、液面センサ等は操作
盤を備えた制御装置60 (第1図参照)に連結されて
おり、後述する動作を自動制御するようになっている。
次に、上記構成になる洗浄システムにおける動作を説明
する。
(11被洗浄体の洗浄動作 運搬台車6上にインキパン等の被洗浄体1を、洗浄すべ
き面が垂直壁33に向かい合うように乗せ、被洗浄体l
を運搬台車6ごと、洗浄装置2内に搬入する。
これにより、第2図、第3図に示すように、被洗浄体1
が溶剤噴射管17の両側に配置されることとなる。
運搬台車6の搬入後、シャッター9及び扉10を閉じ。
洗浄装置1!!2を密閉する0以上の動作は手動で行う
次に、第11図に示す動作フローチャートに示すように
洗浄が行われる。即ち、まず、操作盤上で、l環洗浄及
びリンス洗浄の時間設定を行う0次いで、自動洗浄ボタ
ンをオンすると、第10図の循環配管40の自動弁Al
、A2が開き、且つ循環ポンプPLが動作を開始する。
これにより、洗浄装置2の底部の洗浄溶剤が循環配管を
通って溶剤噴射管17の外管17Aに送られ、ノズル2
1から被洗浄体1に向かって高圧で噴射され、被洗浄体
lを洗浄する。同時に、)合剤噴射管17が駆動モータ
19によって回転し、ノズル21による溶剤噴射位置を
変更する。かくして、被洗浄体1の各部に洗浄溶剤が高
圧で噴射され、細部まで良好に洗浄され、また、噴射後
、洗浄装置底部に溜まった洗浄溶剤は循環、再使用され
る。なお、循環洗浄を開始する際に、洗浄装置2底部に
洗浄溶剤が溜まっていない時には、溶剤供給配管42の
自動弁A4が開き。
ポンプP1により新溶剤タンク3内の溶剤がノズル21
に供給され、洗浄装置2内に投入されるが、その時の動
作は後述する。
循環洗浄をタイマーに設定した所定の時間だけ継続した
後、リンス洗浄に移る。即ち、W1環配管4oの循環ポ
ンプP1が停止し、自動弁AI、A2が閉じ、溶剤供給
配管42の自動弁A5が開き、ポンプP2が動作を開始
する。これにより、新溶剤タンク3内の溶剤が溶剤供給
配管42を通って、溶剤噴射管17の内管17Bに送り
込まれ、ノズル22から被洗浄体1に噴射される。カバ
して、被洗浄体1がきれいな洗浄溶剤でリンス洗浄され
る。なお、リンス洗浄の際には、洗浄液を高圧で被洗浄
体に吹きつける必要はなく、被洗浄体表面を濡らす程度
でよい、タイマーに設定した所定の時間だけリンス洗浄
を行つた後、ポンプP2が停止し、自動弁A5が閉じ、
溶剤噴射管170回転が停止する。
次いで、排気ダクト28のダンパ30が開き、ブロワ−
Bが動作して、洗浄装置2内を排気する。この時。
空気取入ダクト27のダンパ29も開き、洗浄装置内の
排気効果を高める。所定の時間排気を行った後、ダンパ
30が閉じ、ブロワ−Bが停止する。
その後、扉10及びシャッター9を開き、運搬台車6を
搬出する。この際、シャッター9の開動作に連動して局
所排気装置が作動して、開口8八周辺を局所排気し、溶
剤蒸気による作業環境の汚染を防止する。以上で1回の
洗浄動作が終了する。なお1局所排気はシャッター9の
閉動作に連動して停止する。
(2)  洗浄装置内の液面制御及び溶剤交換動作第1
2図は液面制御及び溶剤交換動作を示すフローチャート
である。同図において、洗浄を開始すべく洗浄ボタンを
オンした後、洗浄装置2底部の液面センサSOがオンか
オフか判定する。もし、液面センサSOがオンであれば
、洗浄装置2底部には循環洗浄を行うに必要な洗浄溶剤
が溜まっているので、上記した手順により循環洗浄、リ
ンス洗浄を行う、もし液面センサSOがオフであれば、
溶剤量が不足しているので、第10図の自動弁A4が開
き、循環ポンプPIによって新溶剤タンク3内の溶剤を
ノズル21に供給し、溶剤を投入する。この動作を継続
することにより、洗浄装置2底部の溶剤液面が上昇し、
液面センサSOがオンすると、自動弁A4が閉じ1通常
の循環洗浄に移る。
洗浄を所定回数(図示実施例では10回)繰り返すまで
、上記の動作を繰り返す、ところで、洗浄を繰り返して
いると、各洗浄ごとに、リンス洗浄を行い新溶剤を洗浄
装置内に送り込むため、液面が徐々に上昇することがあ
る。また、槽内の洗浄溶剤は洗浄を繰り返すことにより
当然汚れてくる。そこで、洗浄を所定回数操り返した後
は、第10図の自動弁At、A3が開き。
循環ポンプP1が動作して洗浄装置2内の溶剤を廃溶剤
タンク4に排出する。溶剤排出を継続し、洗浄装置1底
部の液面がゼロレベルに到達すると、液面センサS1が
オフとなり、自動弁At、A3が閉じ、循環ポンプP1
が停止して、排出を終了する。
このように、洗浄を成る回数操り返した後2溶剤を一旦
排出するように構成したことにより、槽内の液面が異常
に高くなるのを防ぐことができ、1個の液面センサSO
による液面制御が可能となり、また、汚れた溶剤を自動
的に排出可能となる。
(3)廃溶剤再生動作 第13図は廃溶剤再生動作を示すフローチャートである
。洗浄装置2からの廃溶剤が廃溶剤タンク4内に投入さ
れ、その液面が再生開始液面レベルを越えると。
その位置に配置された液面センサS2がオンとなり。
溶剤チャージ配管53のチャージポンプP3が動作を開
始し、自動弁A6が開き、廃溶剤を溶剤再生装置4の蒸
留釜44に供給する。同時に溶剤再生装置li!4が動
作を開始する。即ち、蒸留側44のジャケット45にス
チームが供給されて内部を加熱し、ポンプP4が動作を
開始してイジェクタ−48を駆動し、蒸留釜44内を真
空吸引する。また、ポンプP5が動作し、循環配管52
の自動弁へ8が開き、1留釜44内の廃溶剤をVa環さ
せる。これにより、蒸留釜44内の廃溶剤が真空蒸留さ
れ、吸引された溶剤蒸気はイジェクタ−48の駆動流体
によって受液槽46に送られ、冷却管47内の冷却水に
よって冷却されている受液槽46に貯えられ9次いで、
新溶剤タンク3に送り込まれる。この再生動作がm続し
、廃溶剤タンク4内の廃溶剤が無くなり、ゼロレベルの
液面センサS3がオフとなると。
チャージポンプP3が停止し、自動弁A6が閉じる。
その後、タイマーに設定した所定時間(釜内の廃溶剤に
対する蒸留を終了するに必要な時間)が経過すると。
ポンプP4.P5が停止し、自動弁A8が閉じて再生動
作を終了する。
その後、自動弁A7が開き、ポンプP5が動作して蒸留
釜44内の残渣を残渣用ドラム缶51内に排出する。残
渣排出は、タイマー設定により一定時間継続し。
その後、ポンプP5が停止、自動弁A7が閉じて残渣排
出を停止する。なお、ドラム缶51内に所定量の残渣が
収容され、液面センサS6がオンとなった時点でも、残
渣排出が停止する。この場合には、ドラム缶51が一杯
になったことを警報によって表示し1作業者はドラム缶
51を空のドラム缶と交換する。
(4)新溶剤補給動作 新溶剤を入れたドラム缶56を新溶剤タンク3の近傍に
運び、第10図のようにセットする。その後、リンス洗
浄或いは洗浄装置2への新溶剤投入等により。
新溶剤タンク3の液面が液面センサS5の下に低下し。
液面センサS5がオフとなると、自動弁AIOが開き。
ポンプP6が動作してドラム缶56内の新溶剤を補給す
る。この補給は液面センサS5がオンとなるまで行われ
る。
以上に説明したように、上記洗浄システムでは、被洗浄
体の洗浄装置2に対する搬入、排出、新溶剤ドラム缶5
6のセット、残渣排出用ドラム缶51のセット。
排出等を作業者が手動で行う以外は、洗浄動作(循環洗
浄、リンス洗浄)、排気動作、洗浄装置からの廃溶剤排
出動作及び洗浄装置への新溶剤の投入動作、廃溶剤の再
生動作等を自動的に行うことが可能である。なお、各動
作を自動的に行う方法は、上記説明に限定されず種々変
更可能であることは言うまでもなく1例えば、上記実施
例では廃溶剤の再生を廃溶剤タンク4の液面センサS2
からの液面検出信号によって、開始しているが、その代
わりに、洗浄装置2からの廃溶剤の排出動作に連動して
、溶剤再生動作を開始するようにしてもよい。
なお、上記実施例になる洗浄装置2は、被洗浄体Iを運
搬台車6に乗せた状態で、運搬台車ごと被洗浄体を筺体
B内に挿入する構成であるが、この代わりに。
レール13の位置に金網等の溶剤を通過させうる支持部
材を配置し、その上に被洗浄体を台車を使用せずにセッ
トする構成としてもよい、しかし2図示実施例のように
運搬台車を使用すると、被洗浄体の搬入、搬出が極めて
容易となる利点が得られる。また、上記実施例では単一
の溶剤噴射管17を二重管構造とし、循環洗浄用ノズル
21とリンス洗浄用ノズル22とを設けたが、この代わ
りに、循環洗浄用ノズル21と洗浄用ノズル22とを、
互いに平行に配置した別個の溶剤噴射管に設けるように
してもよい。しかし8図示実施例のように二重管構造の
溶剤噴射管17を使用すると5同じ位置から被洗浄体に
対して溶剤を噴射することができ、洗浄効果が良く、且
つノズル配置に要するスペースを小さくできる利点が得
られる。
〔発明の効果〕
以上に説明したように1本発明の洗浄装置は、底部に溶
剤溜まりを有し、被洗浄体を収容する密閉空間を形成す
る筺体内に、長手方向に適当な間隔をあけて配置された
複数のノズルを備えた溶剤噴射管をほぼ垂直に配置し、
且つその溶剤噴射管をその軸線を中心として回転させる
構成としたので、その溶剤噴射管の周囲に、インキパン
等の被洗浄体をその洗浄すべき面を溶剤噴射管に向けて
セットし、溶剤噴射管に溶剤を送り。
その溶剤噴射管に取付けた多数のノズルから溶剤を高圧
噴射し、同時にその溶剤噴射管を回転させることにより
、被洗浄体をノズルからの噴射溶剤で、細部まで良好に
洗浄することができ、しかもこの際、インキパンのよう
な細長い被洗浄体は立ててセントできるので。
小さい床面積に対して大量の被洗浄体を洗浄することが
できる。更に、従来のように被洗浄体を移動させるa・
嬰がなく、比較的軽量な溶剤噴射管のみを回転させれば
よいので1回転装置が小型でよい等の効果を有している
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による洗浄装置を備えた洗浄
システムの概略斜視図、第2図はその洗浄装置を示す縦
断面図、第3図はその洗浄装置の水平断面図。 第4図は洗浄装置に使用する溶剤噴射管の側面図、第5
図はその水平断面図、第6図はその縦断面図2第7図は
運搬台車の斜視図、第8図はその側面図2第9図はその
正面図、第10図は上記洗浄システムの配管系統図、第
11図は洗浄動作のフローチャート第12図は液面制御
及び溶剤交換動作を示すフローチャート第13図は廃溶
剤再生動作を示すフローチャートであ1−被洗浄体 2
−・洗浄装置 3−新溶剤タンク4・−・廃溶剤タンク
 5−溶剤再生装置6−運搬台車 8−筺体 8A・・
・開口8B−溶剤溜まり 9−シャッター 1o−・−
扉13・−レール 14−・−ガイド 15−・−床面
17−・溶剤噴射管 18・−チェーンホイール19−
駆動モータ 2o・−・チェーン21.22・・−ノズ
ル 4o−循環配管41・−排出配管 42−・−供給
配管 44−蒸留釜45−ジャケット 46−受液槽 48−イジェクタ−50〜・・残渣排出配管51−残渣
用ドラム缶 53−・溶剤チャージ配管56−新溶剤ド
ラム缶 P1〜P6・・・ポンプA1〜ALO・−自動
弁 5L−36・−・液面センサ代理人 弁理士 乗 
松 恭 三 1−8.扛洗才捧 2−1洗汁笈普 3−・上洛を17ン7 4−膚9G、簀17>7 5−ノ各(ト)メ1也1罠!iL 第4 図 第5図 才6図 オフ 図 ″)fPll 図 第12図 牙13図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)底部に溶剤溜まりを有し、被洗浄体を収容する密
    閉空間を形成する筺体と、該筺体内にほぼ垂直に配置さ
    れ、長手方向に適当な間隔をあけて配置された複数のノ
    ズルを備えた溶剤噴射管と、該溶剤噴射管をその軸線を
    中心として回転させる回転装置と、前記溶剤溜まり内の
    溶剤を前記溶剤噴射管に供給する溶剤循環装置とを有す
    る洗浄装置。
  2. (2)前記筺体が、被洗浄体を乗せた運搬台車を搬入さ
    せるよう、前記溶剤溜まりの上に運搬台車保持用のレー
    ルを備えていることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の洗浄装置。
JP8389687A 1987-04-07 1987-04-07 洗浄装置 Pending JPS63252584A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8389687A JPS63252584A (ja) 1987-04-07 1987-04-07 洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP8389687A JPS63252584A (ja) 1987-04-07 1987-04-07 洗浄装置

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5295967A (en) * 1976-02-09 1977-08-12 Hitachi Ltd Wafer washing and drying unit
JPS589670U (ja) * 1981-07-13 1983-01-21 三菱電機株式会社 太陽熱利用温水器

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