JPS63250453A - セラミツクス刃物 - Google Patents

セラミツクス刃物

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JPS63250453A
JPS63250453A JP8285287A JP8285287A JPS63250453A JP S63250453 A JPS63250453 A JP S63250453A JP 8285287 A JP8285287 A JP 8285287A JP 8285287 A JP8285287 A JP 8285287A JP S63250453 A JPS63250453 A JP S63250453A
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JP
Japan
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zirconium
ceramic
carbide
psz
edged tool
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Pending
Application number
JP8285287A
Other languages
English (en)
Inventor
Teruichiro Matsumura
松村 輝一郎
Kiichi Nakajima
中島 紀一
Takako Mori
貴子 森
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
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Publication of JPS63250453A publication Critical patent/JPS63250453A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はセラミックス刃物の改良に関する。ざらには耐
摩耗性、耐熱水性耐摩耗性などに優れたセラミックス刃
物に関する。
[従来の技術] 従来からセラミックス刃物はよく知られている。
たとえばハサミ、カミソリ、包丁、ナイフ、繊維カッタ
ー、フィルムカッターなどにおいて既に実用化されてい
る。たとえばアルミナセラミックス、タングステン−カ
ーバイド超硬セラミックス、ジルコニアセラミックス、
及びこれらの混合体等がよく知られている。とくにセリ
ウム、イツトリウム、マグネシウム、カルシウムおよび
その他の希土類元素の酸化物により部分安定化されたジ
ルコニア(以後PSZと称する)を主成分とするセラミ
ックスは、強度、靭性、および耐摩耗性がきわめて高く
、この特性を利用して刃物として利用されている。
しかし刃こぼれなど耐久性に未だ問題がある。
また手術用のメスはこれまで金属製のものヤマイクロサ
ージエリー用としてダイヤモンド、サファイア、ルビー
刃を用いたものなどが利用されている。
しかしながら、金属製のものは耐食性および耐摩耗性が
比較的低く、このため劣化しやすくさらに切れあじにも
問題がある。
またダイヤモンド、サファイア、ルビー刃は大きさが限
られ、靭性、強度が低く、単結晶であるため方向性があ
るなど加工性が悪く、更に高価であるという問題点があ
る。
また、PSZは水の存在下で高温にざらされると、正方
品系から単斜晶系への転位が促進され、この結果PSZ
成型物にクラックができる欠点がおることが知られてお
り(たとえば本発明者の中島らの発表にかかる昭和60
年窯業学会年会予稿集第657頁、第2回国際ジルコニ
ア会議B−20(1983)、米国セラミック学会、「
ジルコニアの化学と技術」第12巻第399頁(198
5)(^dvances in Ceramics、 
Vol、12 5ience andTechnolo
gy of Zirconia ■、The Amer
iCanCeramics 5ocrcty ) 、こ
のためPSZは水による沸騰消毒が必要である外斜用の
メスとしては利用困難であった。かかる問題点は長年改
良することができなかった。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明はかかる従来技術の欠点を解消しようとするもの
であり、セラミックスの上にジルコニウムカーバイド、
ジルコニウムナイトライド、および炭化ケイ素から選択
された層からなる被膜を設けることにより、耐熱水性の
向上と、刃部の耐摩耗性を向上することを目的とする。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、上記目的を達成するために下記の構成を有す
る。
「 セラミックス刃物において、セラミックスの表面に
ジルコニウムカーバイド、ジルコニウムナイトライド、
および炭化ケイ素から選択された少なくとも一つの被膜
を有することを特徴とするセラミックス刃物。」 本発明におけるセラミックスとは、アルミナ系セラミッ
クス、タングステン−カーバイド系超硬セラミックス、
ジルコニア系セラミックス、及びこれらの混合体(とく
にはアルミナ系とジルコニア系)等、刃物に適用できる
セラミックスであればいかなるものでもよい。ジルコニ
ウムカーバイド、ジルコニウムナイトライド、および炭
化ケイ素から選択された被膜を被覆すれば耐摩耗性が向
上できるからである。
このうちとくに顕著な効果を発揮するのはジルコニア系
セラミックスである。耐摩耗性が向上するとともに、前
記従来技術の項で説明したとおり耐熱水性も向上できる
からである。
本発明においてジルコニアを主成分とするセラミックス
とは、ジルコニアにセリウム、イツトリウム、マグネシ
ウム、カルシウムおよびその他の希土類元素の酸化物を
添加して得られるジルコニア(PSZ)を主成分とする
セラミックスである。
PSZとしては、なかでも、比較的低温で焼結可能であ
り、したがってより結晶粒子径を小さくでき機械的強度
をより大きくできる、イツトリア(酸化イツトリウム)
およびマグネシア(酸化マグネシウム)を含むPSZが
好ましい。この場合、イツトリアでは全体に対して1〜
5モル%程度添加すれば良く、マグネシアでは7〜9モ
ル%程度の添加でよい。マグネシアとイツトリアを併用
しても良い。また正方品系の結晶を安定化させ、高い靭
性を有する焼結体を得ることができるという点でセリア
を添加することも好ましい。この場合セリアは全体の2
〜10モル%程度添加することが適当である。もちろん
他の添加物を共用することもできる。
本発明におけるPSZは、たとえばジルコニア粉末とイ
ツトリア粉末またはジルコニア粉末とマグネシア粉末を
所定の割合に混合し、ついでこれを800〜1000’
Cで仮焼した後粉砕することで合成できる。かかる仮焼
、粉砕を繰りかえして得た粉末をラバープレス法、金型
成型法などの周知の方法で所望の医用器具の形に成型し
、ついで1300〜1700℃まで20〜100’C/
hr程度の速度で昇温し、この温度で2〜6時間前後保
持し、ライで20〜180’C/hrの速度で8oo’
c程度まで冷却し、ざらに室温まで冷却し成型物を得る
ことができる。このようにして得た焼結物の表面を研磨
し、ホーニング加工、ラッピング等で刃立をおこなう。
本発明におけるPSZは正方品系の結晶溝造が主体であ
るものが好ましい。
PSZの表面に塗布して有効である炭化ケイ素薄膜は通
常炭素とケイ素を含有する原料からCVD等の方法で合
成できる。炭素とケイ素を含有する原料としてはこれら
の元素を同一の分子に含む、アルキルハロゲン化シラン
、等の化合物でもよく、メタン等の炭化水素とシラン等
のケイ素化合物との混合物でもよい。反応は通常水素等
の希釈剤の右下でおこなわれる。水素中の原料濃度は他
の条件により変化するが、0.1〜10%程度が好適で
ある。しかしこの範囲に限定されるものではない。
反応はこれら原料を種々の方法で活性化し行なうことが
できる。活性化の方法としてはプラズマによる方法、熱
による方法、レーザ等の光エネルギーによる方法などが
挙げられる。プラズマは直流放電、ラジオ波、マイクロ
波等の電磁波等により励起される。マイクロ波で励起し
プラズマを発生させる場合には、マイクロ波電力および
周波数は広い範囲、たとえば数Wから数KW、108〜
1011H2に渡り選択可能である。基板をマイクロ波
の中に置くことも、マイクロ波の後に置くことも可能で
ある。PSZ基板はマイクロ波により発生するプラズマ
により熱せられるが、これとは別に適当な方法で基板を
熱し、または冷却し基板温度を調節することも可能であ
る。基板温度は通常500〜1000℃とされる。ラジ
オ波で原料を活性化する場合電源の結合は誘導的でも容
量的でもかまわない。この場合も周波数および電力は広
い範囲で選択できる。たとえば周波数は102〜107
H2に渡り選択可能である。また必要に応じ基板にバイ
アス電圧をかけることも可能である。
反応の圧力は原料の活性化方法にもよる。プラズマ法の
場合は、通常0.1〜100 torr、とくに1〜4
0 torr前後が好適であり、熱CVDの場合には7
60 torrから1 torrまでの範囲が好適であ
る。しかし、これ以外の圧力でもかまわない。
炭化ケイ素はCVD以外にスパッタ法等によってもセラ
ミクス上に作製できる。
またPSZの表面に塗布して有効であるジルコニウムカ
ーバイドはCVD、スパッタ、反応性スパッタ、溶射法
およびイオンブレーティング法等により作製される。C
VD法においては原料として塩化ジルコニウム、臭化ジ
ルコニウム等のハロゲン化ジルコニウムとメタン、エタ
ン等の炭化水素が用いられ、キャリアーガスとしては通
常水素が用いられる。CVDの条件は炭化ケイ素の作製
とほぼ同じ条件でよい。
セラミックスとしてジルコニア系を用いる場合には、C
VD法においてメタン、エタン等の炭化水素のみを原料
としてプラズマにより活性化するかまたは約1500℃
以上で反応させると、ジルコニアを構成する酸化ジルコ
ニウムがこれらの炭化水素により還元され、ジルコニア
成分を原料として添加しなくとも、ジルコニウムカーバ
イドが生成する。
ジルコニウムナイトライドもCVD、スパッタ、反応性
スパッタ、溶射法およびイオンブレーティング法等によ
り作製される。CVD法においては原料として塩化ジル
コニウム、臭化ジルコニウム等のハロゲン化ジルコニウ
ムとアンモニア、ヒドラジン、メチルアミン等のアンモ
ニア化合物が用いられ、キャリアーガスとしては通常水
素、または窒素が用いられる。CVDの条件は炭化ケイ
素の作製とほぼ同じ条件でよい。
セラミックスとしてジルコニア系を用いる場合には、C
VD法においてアンモニア、ヒドラジン、メチルアミン
または窒素等の窒素を含む化合物のみを原料としてプラ
ズマにより活性化するかまたは1500℃以上で反応さ
せると、ジルコニアを構成する酸化ジルコニウムがこれ
らの窒素を含゛む化合物により窒化され、ジルコニア成
分を原料として添加しなくとも、ジルコニウムナイトラ
イトが生成する。
本発明においては、これらのジルコニウムカーバイド、
ジルコニウムナイトライドおよび、炭化ケイ素が単独で
被覆されていてもよいが、これらの混合物がセラミック
スを被覆していてもよい。
ジルコニウムカーバイド、ジルコニウムナイトライド、
および炭化ケイ素から選択された被膜はその表面の耐熱
水性がPSZと比較して増大していればよく特別の制限
はないが、その厚さは、通常3μm以下が好ましく、さ
らには、1μm以下、500人程度で効果がおる。
また本発明の被覆層は単独で存在していてもよいし、他
の被覆層と積層されていてもよい。さらに本発明の被覆
層は、最表面層から内部のセラミック層に連続的に変化
していてもよい。
本発明の刃物は、前記の外科手術用メスの他、ハサミ、
カミソリ、包丁、ナイフ、繊維カッター、フィルムカッ
、ター、バリカン刃、特殊なものとして顕微鏡試料の作
製用のミクロトームのカッター刃などその用途を問わな
い。
次に図面を用いて説明する。
第1図A−Fは本発明の外科手術用メスの一例である。
刃部としては長さ3〜12mm程度幅1〜5mm厚さ0
.2〜0.7mm程度が適当である。刃を保持するホル
ダーとしてはいかなるものでもよい。
第2図は第1図りの刃部の断面図を示す。1はセラミッ
クス部、2はジルコニウムカーバイド、ジルコニウムナ
イトライド、および炭化ケイ素から選択された被覆部層
を示す。3が刃の先端部である。
[実施例] 以下の実施例において更に具体的に説明するが本発明は
、これらに限定されるものではない。
実施例1 純度99.9%のオキシ塩化ジルコニウムと純度99.
9%の塩化イツトリウムとを所定の割合で含む水溶液を
徐々に加熱蒸発し1qた生成物を100℃で150時間
乾燥し、さらに1000℃で空気中で2hr焼成した。
塩素イオンが検出できなくなるまで水洗し、ついでボー
ルミルで0.05〜0.1μの粒径になるまで粉砕した
。このようにして得た粉末を147MPaの圧力で成型
し、ついで1500℃、2hr空気中で焼成した。得ら
れた焼結体のイツトリア含有量は2.5モル%であった
また曲げ強さをJ l5RI 601の方法で測定した
結果、1100MPaであった。一方破壊靭性をインデ
ンテーションマイクロフラクヂャー法で測定した結果5
.8MPaJmで必り、カサ密度は理論値の98%であ
った。この焼結体を30度の角度で刃つけし、表面荒さ
が0.8〜1.0μとなるまで研磨しPSZ試料とした
。刃の形状は第1図D、及び第2図のとおりであった。
直径40cmの石英製反応管に厚さ3mm、大きさ3x
1Qmmのイツトリアを2.5モル%含有するPSZを
入れた。系を10−7torrまで減圧した後水素で4
0 torrまでもどした。2%の5iCu4を含む水
素を200cc/min 、メタンを1000C/mi
nの流速で反応系に通し、電熱により外部から700℃
に加熱し、1 R,間反応させた。
反応後、表面に生成した薄膜を評価した。試料のX線回
折スペクトルは2θ=35.5°の炭化ケイ素に基づく
ピークを示した。生成した薄膜の厚さは1.3μmでめ
った。このようにして1qた炭化ケイ素をコートしたP
SZを熱水処理(140℃、20hr)した後、X線回
折法により正方品系と単斜量系の割合を求めるとともに
、肉眼により観察した。炭化ケイ素を塗布しないPSZ
では単斜量系が90.1モル%に増加していたが、炭化
ケイ素を塗布した試料では単斜量系は15゜1モル%で
熱水処理の前の値にほぼ等しかった。
また肉眼観察により炭化ケイ素を塗15シないPSZで
は多数のクランクが試料の表面に認められたが、炭化ケ
イ素を塗布した試料ではクラックはまったく認められな
かった。
ざらに刃こぼれが少なく、耐摩耗性が良好でめった。
実施例2 実施例1の方法でイツトリアを3.5モル%含有する3
x5x5mmのPSZ試料を作成した。マイクロ波発振
装置(2,5GH2,1,2に臀)で発生した電磁波を
導波管により直径40mmの石英製反応管に導いた。反
応管の内部に上述のPSZ試料を保持し、反応管上部か
らメタンを1%含有する水素を40ml/minの速度
で導入した。系で消費されたマイクロ波のエネルギーは
0,6KWであった。4時間反応後試料を取り出し、表
面に生成したジルコニウムカーバイドを評価した。試料
のESCAスクトルはZr3dに帰属される181゜4
eVおよびジルコニウムと結合している炭素に基づ<2
81.4eVにピークを示した。この結果から、ジルコ
ニウムカーバイドの生成が確認された。生成した膜の厚
さは0.8μmであった。
このようにして)評だジルコニウムカーバイドをコート
したPSZを熱水処理(14’O’C,30hr)した
後、X線回折法により正方品系と単斜晶系の割合を求め
るとともに、肉眼により観察した。ジルコニウムカーバ
イド、を塗イ「シないPSZでは単斜晶系が70.8モ
ル%に増加していたが、ジルコニウムカーバイドを塗イ
1した試料では単斜晶系は7.9モル%で熱水処理の前
の値にほぼ等しかった。また肉眼観察によりジルコニウ
ムカーバイドを塗布しないPSZでは多数のクラックが
試料の表面に認められたが、ジルコニウムカーバイドを
塗布した試料ではクラックはまったく認められなかった
ざらに刃こぼれが少なく、耐摩耗性が良好でめった。
実施例3 実施例1の方法でイツトリアの代りにカルシアを3.5
モル%含有する3x5x5mmのPS7試利を作成した
。外径3Qmmの石英管に内径4Qmmの銅コイルを1
0回巻きこれを13.5)fllz 、2に臀のラジオ
波電源に容量的に結合した。圧力を15 Torrとし
、上述のPSZを中に入れ、塩化ジルコニウムを1%含
有する窒素を600C/minの流速で、またヒドラジ
ンを0.5%含有する窒素を40ml/minの速さで
流し、2hr反応させた。
生成したジルコニウムナイトライドの膜の厚さは1.1
μmであった。このようにして(qだジルコニウムナイ
トライドをコートしたPSZを熱水処理(140’C1
3Qhr)した俊、X線回折法により正方品系と単斜晶
系の割合を求めるとともに、肉眼により観察した。ジル
コニウムナイトライドを塗布しないPSZでは単斜晶系
が81.8モル%に増加していたが、ジルコニウムナイ
トライドを塗布した試料では単斜晶系は12.6モル%
であった。また肉眼観察によりジルコニウムナイトライ
ドを塗布しないPSZでは多数のクラックが試料の表面
に認められたが、ジルコニウムナイトライドを塗布した
試料ではクランクはまったく認められなかった。
ざらに刃こぼれが少なく、耐摩耗性が良好であった。
実施例4 実施例1と同じ装置にアルミナ系セラミックス刃物(レ
ザー刃形状)の刃部を入れ、塩化ジルコニウムを1%含
有する水素(59cc/mi n)とメタン(5cc/
min>とを導入した。系で消費されたマイクロ波のエ
ネルギーは1.0KWであった。2時間反応後試料を取
り出し、表面に生成したジルコニウムカーバイドを評価
した。試料のESCAスクトルはZr3dに帰属される
181.4eVおよびジルコニウムと結合している炭素
に基づ<281.46Vにピークを示した。この結果か
ら、ジルコニウムカーバイドの生成が確認された。生成
した膜の厚さは0.8μmであった。
得られた刃物で1 、000デニールのポリエステルフ
ィラメント糸を連続的に切断したところ、8万回切断し
ても刃こぼれはなかった。
これに対してジルコニウムカーバイド被膜の無いものは
、5千回で刃こぼれを生じた。
[発明の効果] 本発明によって熱水消毒等においてクラックの生成しな
い耐熱水性を有するジルコニウムカーバイド、ジルコニ
ウムナイトライド、および炭化ケイ素から選択された被
膜を有するジルコニアセラミックスを得ることができた
【図面の簡単な説明】
第1図A−Eは本発明の外科手術用メスの一例である。 第2図は第1図りの刃部の断面図を示す。1はセラミッ
クス部、2はジルコニウムカーバイド、ジルコニウムナ
イトライド、および炭化ケイ素から選択された被覆部居
を示す。3が刃の先端部でおる。 持直出願人  東し株式会社 第1図 第2riJ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)セラミックス刃物において、セラミックスの表面
    にジルコニウムカーバイド、ジルコニウムナイトライド
    、および炭化ケイ素から選択された少なくとも一つの被
    膜を有することを特徴とするセラミックス刃物。
  2. (2)特許請求の範囲第(1)項において、セラミック
    ス刃物が、外科手術用メスであることを特徴とするセラ
    ミックス刃物。
  3. (3)特許請求の範囲第(1)項において、ジルコニウ
    ムカーバイド、ジルコニウムナイトライド、および炭化
    ケイ素から選択された被膜の厚さが3μm以下であるこ
    とを特徴とするセラミックス刃物。
  4. (4)特許請求の範囲第(1)項において、セラミック
    スが、ジルコニアを主成分とするセラミックスであるこ
    とを特徴とするセラミックス刃物。
JP8285287A 1987-04-06 1987-04-06 セラミツクス刃物 Pending JPS63250453A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009127109A (ja) * 2007-11-27 2009-06-11 Hitachi Metals Ltd マグネトロンスパッタリング装置

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