JPS63244546A - 永久磁石を用いた多重極レンズ - Google Patents
永久磁石を用いた多重極レンズInfo
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- JPS63244546A JPS63244546A JP7703987A JP7703987A JPS63244546A JP S63244546 A JPS63244546 A JP S63244546A JP 7703987 A JP7703987 A JP 7703987A JP 7703987 A JP7703987 A JP 7703987A JP S63244546 A JPS63244546 A JP S63244546A
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- Japan
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- magnetic
- vacuum chamber
- permanent magnet
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- Pending
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 41
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000005405 multipole Effects 0.000 claims description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 4
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 abstract 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、荷電粒子ビーム応用装置におけるイオンビ
ーム及び電子ビームの輸送に用いる多重極レンズに関す
るものである。
ーム及び電子ビームの輸送に用いる多重極レンズに関す
るものである。
本発明は、イオンビーム及び電子ビーム軌道内の多重極
レンズにおいて、ビームライン外周部に永久磁石と磁気
ヨークを設置し、ビーム軌道内部の磁極を磁化させるこ
とによって磁気多重極レンズ効果を得ようとするもので
ある。
レンズにおいて、ビームライン外周部に永久磁石と磁気
ヨークを設置し、ビーム軌道内部の磁極を磁化させるこ
とによって磁気多重極レンズ効果を得ようとするもので
ある。
従来の四重極レンズに代表されるような電磁コイルを使
用した磁気多重極レンズは、専用電源から電磁コイルに
電流を流すことにより、磁束を発生させ磁極を磁化させ
四重極レンズ効果を得ていた。
用した磁気多重極レンズは、専用電源から電磁コイルに
電流を流すことにより、磁束を発生させ磁極を磁化させ
四重極レンズ効果を得ていた。
しかし、上記のような電磁コイルの励磁による磁気多重
極レンズでは、コイルに電流を供給する専用電源及びコ
イルの発熱による温度上昇を抑える冷却装置が必要であ
った。そこで、本発明は従来のような問題点を解決する
ために、専用電源及び冷却装置を用いることなく磁気多
重極レンズを構成することを目的としている。
極レンズでは、コイルに電流を供給する専用電源及びコ
イルの発熱による温度上昇を抑える冷却装置が必要であ
った。そこで、本発明は従来のような問題点を解決する
ために、専用電源及び冷却装置を用いることなく磁気多
重極レンズを構成することを目的としている。
（問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するために、本発明においては、ビー
ム軌道内に磁極を設置し、外周部に永久磁石と磁極ヨー
クを有する磁気多重極レンズを構成した。
ム軌道内に磁極を設置し、外周部に永久磁石と磁極ヨー
クを有する磁気多重極レンズを構成した。
上記のような永久磁石を設置された磁気多重極レンズに
おいて、永久磁石からの磁束は、アルミ又はステンレス
によって代表される非磁性体で作られた真空チェンバー
側壁を透過し、真空チェンバー内部にある軟鉄によって
代表される強磁性体で作られた磁極を磁化することによ
って、磁気多重極レンズ効果を得る。レンズの強度の調
整は、強磁性体で作られた磁気ヨークとビーム軌道内に
ある磁極及び永久磁石の位置、すなわち磁気結合を調整
することにより行われる。
おいて、永久磁石からの磁束は、アルミ又はステンレス
によって代表される非磁性体で作られた真空チェンバー
側壁を透過し、真空チェンバー内部にある軟鉄によって
代表される強磁性体で作られた磁極を磁化することによ
って、磁気多重極レンズ効果を得る。レンズの強度の調
整は、強磁性体で作られた磁気ヨークとビーム軌道内に
ある磁極及び永久磁石の位置、すなわち磁気結合を調整
することにより行われる。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明による多重極レンズのうちの四重極レンズの
断面間であり、第２図は第１図のＡ−Ａ ’面における
断面図である。アルミ又は、ステンレスで代表されるよ
うな非磁性体で作られた真空チェンバー１の内部に、軟
鉄で代表されるような強磁性体で作られた磁極３がある
。真空チェンバー１の外周部に永久磁石４がそれぞれ９
０度ずつにＮ極、Ｓ極というように配置されており、更
にその外周部に軟鉄で代表されるような強磁性体で作ら
れた磁気ヨーク２が配置されている。今、永久磁石４に
より発生した磁束は、アルミ又は、ステンレスで作られ
た真空チェンバー１の側壁を透過し、真空チェンバー１
の内部にある軟鉄で作られた磁極３を磁気誘導の法則に
より、それぞれＳ極、Ｎ極というように磁化する。この
ようにして磁化された磁極３は、真空チェンバー１の中
心部に四重極レンズ効果を得るための磁界を発生するこ
とができる。四重極レンズの強度の調整、すなわち真空
チェンバー１の中心部の磁界の調整は、永久磁石４を磁
気ヨーク２の方向へ、すなわち真空チェンバー１の外周
部へ引き抜く方向へ移動させることにより行うことがで
きる。この時、永久磁石４を磁気ヨーク２の方向へ移動
させると、磁気ヨーク２への漏洩磁束は増加し、磁極３
への磁束は減少し、磁束３の磁化強度は減少する。又、
永久磁石４を磁気ヨーク２の外側まで移動させれば、永
久磁石４の磁束は磁極３へは到達せず、磁ｐｉｉ３は磁
化されない状態となる。これより、永久磁石４の位置を
調整することにより四重極レンズの強度を調整すること
ができる。
図は本発明による多重極レンズのうちの四重極レンズの
断面間であり、第２図は第１図のＡ−Ａ ’面における
断面図である。アルミ又は、ステンレスで代表されるよ
うな非磁性体で作られた真空チェンバー１の内部に、軟
鉄で代表されるような強磁性体で作られた磁極３がある
。真空チェンバー１の外周部に永久磁石４がそれぞれ９
０度ずつにＮ極、Ｓ極というように配置されており、更
にその外周部に軟鉄で代表されるような強磁性体で作ら
れた磁気ヨーク２が配置されている。今、永久磁石４に
より発生した磁束は、アルミ又は、ステンレスで作られ
た真空チェンバー１の側壁を透過し、真空チェンバー１
の内部にある軟鉄で作られた磁極３を磁気誘導の法則に
より、それぞれＳ極、Ｎ極というように磁化する。この
ようにして磁化された磁極３は、真空チェンバー１の中
心部に四重極レンズ効果を得るための磁界を発生するこ
とができる。四重極レンズの強度の調整、すなわち真空
チェンバー１の中心部の磁界の調整は、永久磁石４を磁
気ヨーク２の方向へ、すなわち真空チェンバー１の外周
部へ引き抜く方向へ移動させることにより行うことがで
きる。この時、永久磁石４を磁気ヨーク２の方向へ移動
させると、磁気ヨーク２への漏洩磁束は増加し、磁極３
への磁束は減少し、磁束３の磁化強度は減少する。又、
永久磁石４を磁気ヨーク２の外側まで移動させれば、永
久磁石４の磁束は磁極３へは到達せず、磁ｐｉｉ３は磁
化されない状態となる。これより、永久磁石４の位置を
調整することにより四重極レンズの強度を調整すること
ができる。
本発明は以上説明したように永久磁石を用いることによ
って、磁極を磁化させ専用電源及び専用冷却装置なしで
、多重極レンズ効果を存するものであり、又構造も簡単
であり価格も安いという効果を存するものである。
って、磁極を磁化させ専用電源及び専用冷却装置なしで
、多重極レンズ効果を存するものであり、又構造も簡単
であり価格も安いという効果を存するものである。
第１図は四重極レンズの断面図であり、第２図は第１図
のＡ−Ａ ’の断面図である。 １・・・真空チェンバー ２・・・磁気ヨーク ３・・・磁極 ４・・・永久磁石 以上 出廓人 セイコー電子工業株式会社 ｒｒｒＪ＊ｍシｒス゛の！ＩＭＩ 第１［２１ 第 ２ 図
のＡ−Ａ ’の断面図である。 １・・・真空チェンバー ２・・・磁気ヨーク ３・・・磁極 ４・・・永久磁石 以上 出廓人 セイコー電子工業株式会社 ｒｒｒＪ＊ｍシｒス゛の！ＩＭＩ 第１［２１ 第 ２ 図
Claims (1)
- イオンビーム及び電子ビーム軌道内に、永久磁石及び磁
気ヨークを有することを特徴とする永久磁石を用いた多
重極レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7703987A JPS63244546A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | 永久磁石を用いた多重極レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7703987A JPS63244546A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | 永久磁石を用いた多重極レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63244546A true JPS63244546A (ja) | 1988-10-12 |
Family
ID=13622626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7703987A Pending JPS63244546A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | 永久磁石を用いた多重極レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63244546A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007287365A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | 多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法 |
| WO2012057166A1 (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社Ｐａｒａｍ | 電子レンズおよび電子ビーム装置 |
| EP3046133A1 (en) * | 2015-01-13 | 2016-07-20 | Fei Company | Multipole magnetic lens for manipulating a beam of charged particles |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP7703987A patent/JPS63244546A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007287365A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | 多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法 |
| WO2012057166A1 (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-03 | 株式会社Ｐａｒａｍ | 電子レンズおよび電子ビーム装置 |
| JP5148014B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2013-02-20 | 株式会社Ｐａｒａｍ | 電子レンズおよび電子ビーム装置 |
| US9418815B2 (en) | 2010-10-27 | 2016-08-16 | Param Corporation | Tubular permanent magnet used in a multi-electron beam device |
| EP3046133A1 (en) * | 2015-01-13 | 2016-07-20 | Fei Company | Multipole magnetic lens for manipulating a beam of charged particles |
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