JPS63242180A - 超音波チヤツク - Google Patents
超音波チヤツクInfo
- Publication number
- JPS63242180A JPS63242180A JP62075215A JP7521587A JPS63242180A JP S63242180 A JPS63242180 A JP S63242180A JP 62075215 A JP62075215 A JP 62075215A JP 7521587 A JP7521587 A JP 7521587A JP S63242180 A JPS63242180 A JP S63242180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- pawls
- piezoelectric vibrator
- oscillating piece
- claw pieces
- Prior art date
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- Granted
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
鳶１＝Δ利Ｊｕ［艷
本発明は、リング状圧電体振動子を用い入超音波チャッ
クに関するものである。
クに関するものである。
炎米狭亙
一般に、チャックは・複数の爪片を固定する部材の方向
へ機械的に摺動させたり、また電磁的に摺動させたりし
ていた。
へ機械的に摺動させたり、また電磁的に摺動させたりし
ていた。
及朋Ｊ」じ１ム劃之考ｆｉ恵
しかしながら、このように構成した従来のチャックでは
、構成が複雑で、応答性が悪いという問題があった。
、構成が複雑で、応答性が悪いという問題があった。
ｔＩ へを するための
本発明は、上記問題点を解決するために、リング状圧電
体振動子の少なくとも片面に複数の爪片を接触して設け
るとともに、該爪片の先端を上記リング状圧電体振動子
の穴側に対向して設け、かつ上記爪片をそれぞればねで
外側方向に常に引張るように構成し、上記爪片を上記リ
ング状圧電体振動子の片面に押圧する押え部材を設けた
ことを特徴する。
体振動子の少なくとも片面に複数の爪片を接触して設け
るとともに、該爪片の先端を上記リング状圧電体振動子
の穴側に対向して設け、かつ上記爪片をそれぞればねで
外側方向に常に引張るように構成し、上記爪片を上記リ
ング状圧電体振動子の片面に押圧する押え部材を設けた
ことを特徴する。
−作月一
本発明によれば、リング状圧電体振動子の厚み方向ま゛
たは蝉方向に交２流電界を印加することにより、リング
状圧電体振動子の両面に中心方向に向う進行波が発生す
ることを利用して、この進行波で爪片を中心方向に移動
し、リング状圧電体振動子の穴を通る被加工部材を固定
する。交流電界を遮断すると、爪片はばねによって戻る
が、押え部材の押圧が強い場合は、押え部材の抑圧を緩
めると、爪片はばねによって速やかに戻り、被加工部材
は自由に外れる。
たは蝉方向に交２流電界を印加することにより、リング
状圧電体振動子の両面に中心方向に向う進行波が発生す
ることを利用して、この進行波で爪片を中心方向に移動
し、リング状圧電体振動子の穴を通る被加工部材を固定
する。交流電界を遮断すると、爪片はばねによって戻る
が、押え部材の押圧が強い場合は、押え部材の抑圧を緩
めると、爪片はばねによって速やかに戻り、被加工部材
は自由に外れる。
失態■
第１図は１本発明の詳細な説明するためのリング状圧電
体振動子の平面図及び側面図で、第１図（ｂ）に示すよ
うにリング状圧電体振動子１の両面の電極２，３に交流
電界を印加すると、点線Ａ、Ｂで示したように厚み方向
の振動が生じ、この振動によって、この厚み方向の振動
と９０″位相がずれた径方向の振動が生じる。ここで１
点線Ａのように厚み方向に膨張したとき、外径１ａは径
方向には収縮するが、そのとき、内径１ｂは収縮しない
ので、矢印Ｃに示したように進行波が発生する。この進
行波をチャックの爪片の移動に使用する。なお、リング
状圧電体振動子１の厚み方向の振動は径方向に分極して
外径１ａと内径１ｂの間に交流電界を印加しても生じる
。
体振動子の平面図及び側面図で、第１図（ｂ）に示すよ
うにリング状圧電体振動子１の両面の電極２，３に交流
電界を印加すると、点線Ａ、Ｂで示したように厚み方向
の振動が生じ、この振動によって、この厚み方向の振動
と９０″位相がずれた径方向の振動が生じる。ここで１
点線Ａのように厚み方向に膨張したとき、外径１ａは径
方向には収縮するが、そのとき、内径１ｂは収縮しない
ので、矢印Ｃに示したように進行波が発生する。この進
行波をチャックの爪片の移動に使用する。なお、リング
状圧電体振動子１の厚み方向の振動は径方向に分極して
外径１ａと内径１ｂの間に交流電界を印加しても生じる
。
第２図は、本発明の実施例の超音波チャックの平面図、
第３図は第２図の超音波チャックの側面断面図で、リン
グ状圧電体振動子ｌの一方の面に接触して複数の爪片４
，５．６．７を先端が４ａ、５ａ、６ａ、 ７ａが中心
方向に向くように配置し、また後端４ｂ、５ｂ、６ｂ、
７ｂにばね８，９，１０．１１をそれぞれ設けて、爪片
４．５．６．７が常に外側に引張られるように構成する
。さらに、爪片４．５．６．７を圧電体振動子１に強く
接触させるために、爪片４．５．６．７の上からリング
状の押え部材１２で押圧する。この押え部材１２は爪片
を摺動し易いように接触面にテフロン加工を施している
。
第３図は第２図の超音波チャックの側面断面図で、リン
グ状圧電体振動子ｌの一方の面に接触して複数の爪片４
，５．６．７を先端が４ａ、５ａ、６ａ、 ７ａが中心
方向に向くように配置し、また後端４ｂ、５ｂ、６ｂ、
７ｂにばね８，９，１０．１１をそれぞれ設けて、爪片
４．５．６．７が常に外側に引張られるように構成する
。さらに、爪片４．５．６．７を圧電体振動子１に強く
接触させるために、爪片４．５．６．７の上からリング
状の押え部材１２で押圧する。この押え部材１２は爪片
を摺動し易いように接触面にテフロン加工を施している
。
このように構成した本実施例の超音波チャックは、第４
図及び第５図に示すようにリング状圧電体振動子１の穴
に例えば被加工部材１３を通して、圧電体振動子ｌに交
流電界を印加すると、爪片４゜５．６．７が同時に中心
方向に移動し、被加工部材１３を固定することができる
。また、被加工部材１３を外すときは、押え部材１２を
緩めれば、爪片４．５゜６．７はばね８．９．１０．１
１によって元に戻り、被加工部材１３を外すことができ
る。
図及び第５図に示すようにリング状圧電体振動子１の穴
に例えば被加工部材１３を通して、圧電体振動子ｌに交
流電界を印加すると、爪片４゜５．６．７が同時に中心
方向に移動し、被加工部材１３を固定することができる
。また、被加工部材１３を外すときは、押え部材１２を
緩めれば、爪片４．５゜６．７はばね８．９．１０．１
１によって元に戻り、被加工部材１３を外すことができ
る。
第６図は、本発明の他の実施例の超音波チャックの平面
図、第７図は第６図の超音波チャックの側面断面図で、
１は圧電体振動子、４，５．６，７は爪片、８．９．１
０．１１はばね、１２は押え部材であり、これらの構成
は上記実施例と同じであるので、説明は省略するが、本
実施例では、押圧部材１２と爪片４，５．６，７の間に
それぞれローラ１４．１５．１６゜１７を設けたもので
ある。
図、第７図は第６図の超音波チャックの側面断面図で、
１は圧電体振動子、４，５．６，７は爪片、８．９．１
０．１１はばね、１２は押え部材であり、これらの構成
は上記実施例と同じであるので、説明は省略するが、本
実施例では、押圧部材１２と爪片４，５．６，７の間に
それぞれローラ１４．１５．１６゜１７を設けたもので
ある。
二ρように構成した本実施例では、被加工部材を固定す
るとき、圧電体振動子１に交流電界を印加すると、爪片
４．５．６．７はローラ１４．１５．１６゜１７によっ
て容易に移動し、また被加工部材を外すときに交流電界
を遮断すると、爪片４．５．６．７はばね８．９．１０
．１１によって容易に元の位置に戻ることができる。
るとき、圧電体振動子１に交流電界を印加すると、爪片
４．５．６．７はローラ１４．１５．１６゜１７によっ
て容易に移動し、また被加工部材を外すときに交流電界
を遮断すると、爪片４．５．６．７はばね８．９．１０
．１１によって容易に元の位置に戻ることができる。
なお、押え部材１２としてリング状の押え部材を使用し
たが、被加工部材１３の先端だけを固定する ゛もの
であれば、押え部材１２は円盤部材でもよい。
たが、被加工部材１３の先端だけを固定する ゛もの
であれば、押え部材１２は円盤部材でもよい。
リング状圧電体振動子の両面に複数の爪片を接触させて
、より強固に被加工部材を固定する半うにしてもよい。
、より強固に被加工部材を固定する半うにしてもよい。
ｍυ裏里
以上の説明から明らかなように、本発明は、リング状圧
電体振動子の少なくとも片面に複数の爪片接触させ、組
数の爪片を抑圧部材で押付した簡単な構成であるので、
製造が容易で、コストが安いという利点がある。
電体振動子の少なくとも片面に複数の爪片接触させ、組
数の爪片を抑圧部材で押付した簡単な構成であるので、
製造が容易で、コストが安いという利点がある。
第１図は本発明の詳細な説明するための図、第２図は本
発明の１実施例の超音波チャックの平面図、第３図は第
２図の超音波チャックの側面断面図、第４図及び第５図
は第２図及び第３図の超音波チャックの動作説明図、第
６図は本発明の１実施例の超音波チャックの平面図、第
７図は第６図の超音波チャックの側面断面図である。 １・・・圧電体振動子、４．５．６．７・・・爪片、８
，９．１０．１１・・・ばね、１２・・・押え部材、１
３・・・被加工部材、１４．１５．１６．１７・・・ロ
ーラ。
発明の１実施例の超音波チャックの平面図、第３図は第
２図の超音波チャックの側面断面図、第４図及び第５図
は第２図及び第３図の超音波チャックの動作説明図、第
６図は本発明の１実施例の超音波チャックの平面図、第
７図は第６図の超音波チャックの側面断面図である。 １・・・圧電体振動子、４．５．６．７・・・爪片、８
，９．１０．１１・・・ばね、１２・・・押え部材、１
３・・・被加工部材、１４．１５．１６．１７・・・ロ
ーラ。
Claims (3)
- （１）リング状圧電体振動子の少なくとも片面に複数の
爪片を接触して設けるとともに、該爪片の先端を上記リ
ング状圧電体振動子の穴側に対向して設け、かつ上記爪
片をそれぞればねで外側方向に常に引張るように構成し
、上記爪片を上記リング状圧電体振動子の片面に押圧す
る押え部材を設けたことを特徴する超音波チャック。 - （２）上記押圧部材は上記複数の爪片を一度に押えるリ
ング部材または円盤部材であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の超音波チャック。 - （３）上記押圧部材は上記リング部材または円盤部材に
設けたローラで上記複数の爪片をそれぞれ押えるように
したことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の超音
波チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62075215A JP2599914B2 (ja) | 1987-03-28 | 1987-03-28 | 超音波チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62075215A JP2599914B2 (ja) | 1987-03-28 | 1987-03-28 | 超音波チヤツク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63242180A true JPS63242180A (ja) | 1988-10-07 |
| JP2599914B2 JP2599914B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=13569765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62075215A Expired - Fee Related JP2599914B2 (ja) | 1987-03-28 | 1987-03-28 | 超音波チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2599914B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009123854A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Juki Corp | 部品保持装置及び部品配置装置 |
-
1987
- 1987-03-28 JP JP62075215A patent/JP2599914B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009123854A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Juki Corp | 部品保持装置及び部品配置装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2599914B2 (ja) | 1997-04-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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