CN111918831B - 铝板材的剥离装置以及铝板材的剥离方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供铝板材的剥离装置以及铝板材的剥离方法，其能够使处理工序、装置结构简化，即使在将铝板材减薄化、高平坦化的情况下、使铝板材的外径改变的情况下，也能够容易且可靠地使铝板材从堆叠体剥离，进而，环境负担极小且实施环境的自由度高。铝板材的剥离装置(1)构成为能够从通过加压退火而使多个铝板材(101、101……)粘合的铝板材的堆叠体(100)将1个或多个铝板材剥离。该剥离装置(1)包括：振动传递部(2)，其构成为能够与铝板材(101)的外周面(101a)抵接，并且能够对铝板材(101)赋予沿堆叠体(100)的堆叠方向(L)的振动(V)；以及振子(3)，其产生振动(V)并将该振动(V)传递至振动传递部(2)。

Description

铝板材的剥离装置以及铝板材的剥离方法

技术领域

本发明涉及从铝板材的堆叠体剥离各铝板材的铝板材的剥离装置以及剥离方法，所述铝板材的堆叠体通过对堆叠的多个铝板材进行加压退火使其粘合而得到。

背景技术

例如，对于磁盘用铝基板等的铝板材，为了确保其平面度，通过加压退火而进行平面度的矫正。在对多个铝板材进行堆叠加压的状态下执行平面度的矫正处理，在加压退火结束之后，使铝板材逐一从铝板材的堆叠体剥离。

另一方面，加压退火结束后的铝板材的堆叠体的各铝板材彼此粘合。即便要使铝板材逐一从加压退火结束后的铝板材的堆叠体剥离，也无法利用人手容易地剥离。

因此，为了使铝板材逐一从通过加压退火而粘合得到的铝板材的堆叠体剥离，提出了对铝板材施加超声波的方法。例如，提出了如下方法：在使坯料等单层板粘合的层叠体浸渍于液体中的状态下，对上述液体施加超声波振动，由此通过振动使彼此粘合的单层板剥离(专利文献1)。

另外，作为施加超声波的其他方法，还提出了如下方法：通过加压退火而彼此粘合，并在以该粘合状态相邻的铝盘的倒角部形成槽，对前端进入该槽且成为楔状部的振子进行按压而使其抵接于该槽，并对上述振子施加超声波振动，从而将粘合的铝盘剥离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平3-288742号公报

专利文献2：日本特开昭62-278254号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，上述专利文献1的技术中存在如下问题：借助作为传递超声波振动的介质的氟利昂-113(氯氟烃)等液体，将铝板材剥离，因此需要铝板材的浸渍工序以及干燥工序等，并且用于剥离处理的工序复杂。另外，需要对使用完毕的液体进行处理的排液处理，因此，处理繁琐且环境负担也大。并且，必须设置用于执行铝板材的浸渍工序以及干燥工序的各装置，导致装置结构变得复杂，并且设置空间受到限制。另外，水槽内的所有铝板材几乎同时剥离，因此，在水槽内铝板材彼此接触，有可能在表面产生损伤。

另外，关于上述专利文献2的技术，配置为从铝板材的两侧夹入半圆弧状的一对振子并对上述一对振子施加超声波振动，因此，若铝板材的外径随着规格变更等而变更，则必须每次都更换一对振子，导致处理繁琐。另外，超声波振动的方向是与基板的表面平行的方向，因此剥离后的铝板材彼此摩擦而有可能对表面造成损伤。另外，将一对振子的整个楔状部都插入至在平坦的铝板材的外周部形成的槽，因此，需要使整个楔状部大致形成于同一面上，要求尺寸精度，并且在随着时间变化而产生尺寸变化的情况下，无法将整个楔状部插入至槽中，导致无法断言能够使铝板材充分剥离。特别是近年来，随着磁盘的大容量化，要求铝板材减薄化且要求进一步平坦化，所以，在更平坦化的铝板材之间的界面，铝板材的粘合力增大，因此，与以往相比，要求更可靠地剥离铝板材。

本发明的目的在于提供铝板材的剥离装置以及铝板材的剥离方法，其能够使处理工序、装置结构简化，即使在铝板材实现减薄、高平坦化的情况下、铝板材的外径变更的情况下，也能够容易且可靠地使铝板材从堆叠体剥离，另外，不易对基板的表面造成损伤，并且环境负担极小且实施环境的自由度高。

用于解决课题的方法

[1]一种铝板材的剥离装置，其构成为能够从铝板材的堆叠体剥离1个或多个铝板材，所述铝板材的堆叠体通过对多个铝板材进行加压退火使其粘合而得到，所述铝板材的剥离装置的特征在于，其包括：

振动传递部，其构成为能够与所述铝板材的外周面抵接，并构成为能够对所述铝板材赋予沿所述堆叠体的堆叠方向的振动；以及

振子，其与所述振动传递部连接，产生所述振动并将该振动传递至所述振动传递部。

[2]根据上述[1]所述的铝板材的剥离装置，其还包括移动机构，该移动机构构成为能够使所述振动传递部和所述铝板材相对移动。

[3]根据上述[1]或[2]所述的铝板材的剥离装置，其中，所述振动传递部与所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向端面为50um以上的板厚中心侧的位置抵接。

[4]根据上述[3]所述的铝板材的剥离装置，其中，所述堆叠体的所述多个铝板材沿铅直方向堆叠配置，

所述振动传递部与所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向上端面为50um以上的板厚中心侧、且比所述铝板材的板厚方向中心位置更靠上方的位置抵接。

[5]根据上述[1]至[4]中任一项所述的铝板材的剥离装置，其中，所述振动传递部与位于所述堆叠体的最外部的1个铝板材的外周面抵接。

[6]一种铝板材的剥离方法，是从铝板材的堆叠体剥离1个或多个铝板材的铝板材的剥离方法，所述铝板材的堆叠体通过对多个铝板材进行加压退火使其粘合而得到，所述铝板材的剥离方法的特征在于，对所述铝板材的外周面赋予沿所述堆叠体的堆叠方向的振动。

[7]根据上述[6]所述的铝板材的剥离方法，其中，对所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向端面为50um以上的板厚中心侧的位置赋予所述振动。

[8]根据上述[7]所述的铝板材的剥离方法，其中，

对所述堆叠体的所述多个铝板材沿铅直方向进行堆叠配置，

对所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向端面为50um以上的板厚中心侧且比所述铝板材的板厚方向的中心位置更靠上方的位置赋予所述振动。

[9]根据上述[6]至[8]中任一项所述的铝板材的剥离方法，其中，对位于所述堆叠体的最外部的1个铝板材的外周面赋予所述振动。

发明的效果

根据本发明，由于对铝板材的外周面赋予沿堆叠体的堆叠方向的振动，因此，即使在铝板材实现了减薄化、高平坦化的情况下、铝板材的外径变更的情况下，也能够容易地在该铝板材与堆叠体之间的界面产生用于使它们分离的足够的剥离力，能够可靠地将1个或多个铝板材从堆叠体剥离。另外，由于无需铝板材的浸渍、干燥，因此，剥离处理工序简化，另外，由于无需对使用完毕的液体进行处理的排液处理，因此，不会产生繁琐的处理，环境负担也极小。并且，只要是振子能够与铝板材的外周面抵接的构造、形状即可，另外，由于无需其他特别的装置等，因此，能够使装置结构简化，并能够提高实施环境的自由度。另外，由于剥离后的超声波振动的方向也是剥离基板的主面的方向，因此，不易对表面造成损伤。

附图说明

图1是概要地示出本发明实施方式所涉及的铝板材的剥离装置的结构的图。

图2的(a)～图2的(c)是用于对本发明实施方式所涉及的铝板材的剥离方法进行说明的图。

图3的(a)～图3的(b)是用于对图2的铝板材的剥离方法的变形例进行说明的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是概要地示出本实施方式所涉及的铝板材的剥离装置的结构的图，图1的 (a)示出铝板材的剥离装置的整体图，图1的(b)示出后述的振动传递部2的俯视图。此外，图1示出铝板材的剥离装置的结构的一例，本发明的铝板材的剥离装置的结构并不局限于图1中所示的结构。

如该图中所示，铝板材的剥离装置1构成为能够从通过加压退火使多个铝板材101、101……粘合而得到的铝板材的堆叠体100将1个或多个铝板材剥离。具体而言，铝板材的剥离装置1包括：振动传递部2，其构成为能够与铝板材101 的外周面101a抵接，并构成为能够对铝板材101赋予沿堆叠体100的堆叠方向 L的振动V；以及振子3，其与振动传递部2连接并产生振动V，将该振动V传递至振动传递部2。

另外，剥离装置1包括移动机构4，该移动机构4构成为能够使振动传递部 2和铝部件101相对移动。移动机构4包括第1移动装置41，该第1移动装置 41构成为能够使振动传递部2相对于铝板材101的外周面101a移动。第1移动装置41例如具有：壳体41a；缸体41b，其固定于壳体41a且在相对于堆叠方向 L垂直的方向上伸缩；以及支承部41c，其固定于缸体41b且对振子3进行支承。通过缸体41b的伸缩而使得振动传递部2在相对于堆叠方向L垂直的方向上移动，使振动传递部2抵接于铝板材101的外周面101a或者对其进行按压而使其抵靠于铝板材101的外周面101a，由此对铝板材101赋予振动传递部2的振动 V。在将1个铝板材从堆叠体100剥离的情况下，振动传递部2与位于堆叠体100的最外部(最上部)的1个铝板材101的外周面101a抵接。

另外，移动机构4包括第2移动装置42，该第2移动装置42构成为能够使铝板材101相对于振动传递部2移动。第2移动装置42例如具有：保持部42a，其对铝板材101或堆叠体100进行保持；以及致动器42b，其构成为能够使保持于保持部42a的铝板材101相对于振动传递部2移动。致动器42b构成为能够使保持部42a沿堆叠方向L移动。

由此，在于移动机构4中，第1移动装置41和第2移动装置42协作而能够使振动传递部2抵接于铝板材101的外周面101a的任意位置。

振动传递部2例如是具有端部2a的长条状的部件，当对铝板材101赋予振动V时，端部2a与铝板材101的外周面101a抵接。从防止对铝板材101的外周面101a造成损伤的观点出发，优选端部2a为具有朝向外周面101a侧膨胀的曲面的凸状部。

振子3的振动V并未特别限制，例如为几千次/分钟以下的振动、声波区域内的高速的微弱振动(20kHz～20kHz)、或者超声波振动(超过20kHz)。另外，在声波区域的高速的微弱振动或者超声波振动的情况下，其输出功率例如为 100W以上且300W以下。

振子3只要能够对铝板材101产生沿着堆叠体100的堆叠方向L的振动V 即可，并未限制其结构，例如具有驱动电机、或者产生声波或超声波的振荡器。另外，振子3构成为借助连结部件而与振动传递部2连结，能够将由振子3产生的振动直接传递至振动传递部2。

图2的(a)～图2的(c)是用于对本发明的实施方式所涉及的铝板材的剥离方法进行说明的图。例如，利用图1的铝板材的剥离装置1而执行利用图2说明的铝板材的剥离方法。其中，示出利用图2说明的铝板材的剥离方法的一例，本发明的铝板材的剥离方法并不局限于图1所示的方法。

首先，如图2的(a)中所示，在下平台102上堆叠规定张数的多个铝板材101、101……而形成堆叠体100，隔着分隔板103而进一步形成堆叠体100，将上平台104以及配重件105载置于其上方并对堆叠体100、100进行加压。铝板材101 在其径向中心部形成有贯通孔，使固定于下平台102的轴部件106插通于上述贯通孔，由此将构成堆叠体100的多个铝板材101、101……配置为同心状。在该状态下对堆叠体100、100进行退火(加压退火)，由此使得各堆叠体中相邻的铝板材101、101形成为彼此粘合的状态。

接下来，如图2的(b)中所示，在从通过加压退火使多个铝板材101、101……粘合而得到的铝板材的堆叠体100将1个或多个铝板材101剥离的情况下，将堆叠体100保持于保持部42a，对铝板材101的外周面101a赋予沿堆叠体100 的堆叠方向L的振动V。在本实施方式中，使振动传递部2的端部2a与铝板材 101的外周面101a抵接，从而对铝板材101的外周面101a赋予振动V。

此时，优选振动传递部2与铝板材101的外周面101a中相对于铝板材101 的板厚方向端面(铝板材的主面)为50um(微米)以上的板厚中心侧的位置抵接。即，优选对铝板材101的外周面101a中相对于铝板材101的板厚方向端面为50um以上的板厚中心侧的位置赋予振动V。另外，在铝板材101的厚度大于 100um的情况下，优选振动传递部2与铝板材101的外周面101a中相对于铝板材101的板厚方向的一个端面(主面)和另一个端面(主面)这两者为50um以上的板厚中心侧的位置抵接。

例如，如图2的(b)中所示，在多个铝板材101、101……沿铅直方向堆叠配置的情况下，振动传递部2能够与铝板材101的外周面101a中相对于铝板材 101的板厚方向上端面为50um以上的板厚中心侧且比铝板材101的板厚方向的中心位置P0更靠上方的位置P1抵接。即，对铝板材101的外周面101a中相对于铝板材101的板厚方向上端面为50um以上的板厚中心侧且比铝板材101的板厚方向的中心位置P0更靠上方的位置P1赋予振动V。由此，被赋予振动V 的位置P1与作为剥离对象的相邻的铝板材101、101的界面B、铝板材101的最上面的距离增大而无法避免振动，因此，能够在该界面B产生更大的剥离力。

在本实施方式中，例如将1个铝板材从堆叠体100剥离。在该情况下，振动传递部2与位于堆叠体100的最外部的1个铝板材101的外周面101a抵接。例如，如图2的(b)中所示，在堆叠体100的多个铝板材101、101……沿铅直方向堆叠配置的情况下，振动传递部2与位于堆叠体100的最上部的1个铝板材 101的外周面101a抵接。即，对位于堆叠体100的最上部的1个铝板材101的外周面101a赋予振动V。

但是，不仅可以将1个铝板材从堆叠体100剥离，也可以将多个铝板材101、101……从堆叠体100剥离。在该情况下，振动传递部2与位于堆叠体100的最外部(例如最上部)的铝板材101以外的铝板材101的外周面101a抵接。

通过对铝板材101赋予上述振动V而使铝板材101从堆叠体100剥离。例如，在振动传递部2与位于堆叠体100的最上部的1个铝板材101的外周面101a 抵接而赋予振动V的情况下，如图2的(c)中所示，位于堆叠体100的最上部的 1个铝板材101剥离。另外，在振动传递部2与堆叠体100的最外部(例如最上部)的铝板材101以外的铝板材101的外周面101a抵接而赋予振动V的情况下，位于层叠体100的外部侧(例如上部侧)的多个铝板材101、101……被批量剥离。

而且，通过反复执行图2的(b)、图2的(c)中所示的操作而使得铝板材101以一张为单位或以批量为单位按顺序从堆叠体100剥离。

如上所述，根据本实施方式，振动传递部2构成为能够与铝板材101的外周面101a抵接、且构成为能够对铝板材101赋予沿堆叠体100的堆叠方向的振动V，由于对铝板材101的外周面101a赋予沿堆叠体100的堆叠方向L的振动 V，因此即使在铝板材101实现了减薄化、高平坦化的情况下、铝板材101的外径变更的情况下，也能够容易地在该铝板材101与堆叠体100之间的界面B产生用于使它们分离的足够的剥离力，能够可靠地将1个或多个铝板材101从堆叠体100剥离。另外，由于无需铝板材101的浸渍、干燥，因此，使用于剥离处理的工序简化，另外，无需对使用完毕的液体进行处理的排液处理，因此，不会产生繁琐的处理，环境负担也极小。进而，只要是振动传递部2能够与铝板材 101的外周面101a抵接的构造、形状即可，无需其他特别的装置等，因此，能够使装置结构简化，并能够提高实施环境的自由度。

在图2中，对铝板材101的外周面101a中距离铝板材101的板厚方向上端面为50um以上的板厚中心侧且比铝板材101的板厚方向中心位置更靠上方的位置P1赋予振动V，但并不局限于此。例如，如图3的(a)中所示，即使在多个铝板材101、101……沿水平方向重叠配置的情况下，也与图2中所示的情况同样地，通过使振动传递部2的端部2a与铝板材101的外周面101a抵接，从而能够对铝板材101的外周面101a赋予振动V。

此时，能够对铝板材101的外周面101a中距离板厚方向端面为50um以上的板厚中心侧的位置赋予振动V。优选对距离板厚方向侧端面为50um以上的板厚中心侧的位置、且与铝板材101的板厚方向的中心位置P0相比向堆叠体100 的相反侧的侧方偏移的位置P2赋予振动V。由此，与作为剥离对象的相邻的铝板材101、101的界面B的距离增大，能够利用该界面B而产生大的剥离力。

另外，在图3的(a)中将1个铝板材从堆叠体100剥离，但并不局限于此，也可以将多个铝板材101、101……从堆叠体100剥离。

由此，即使堆叠体100的堆叠方向L是沿着水平方向的方向，如图3的(b) 中所示，也能够使铝板材101以一张为单位或以批量为单位按顺序从堆叠体100 剥离。

产业上的可利用性

本发明中，能够从通过加压退火而使多个铝板材粘合的铝板材的堆叠体将铝板材以一张为单位或以批量为单位剥离，因此，在为了确保平坦度而使对堆叠体加压退火而成的磁盘用铝基板从堆叠体剥离的领域中利用价值高。

附图标记的说明

1剥离装置；2振动传递部；2a端部；3振子；4移动机构；41第 1移动装置；41a壳体；41b缸体；41c支承部；42第2移动装置；42a 保持部；42b致动器；100堆叠体；101铝板材；101a外周面；102下平台；103分隔板；104上平台；105配重件；106轴部件；B界面；L堆叠方向；V振动；P0中心位置；P1位置；P2位置。

Claims (7)

1.一种铝板材的剥离装置，其构成为能够从铝板材的堆叠体剥离1个或多个铝板材，所述铝板材的堆叠体通过对多个铝板材进行加压退火使其粘合而得到，所述铝板材的剥离装置的特征在于，包括：

振动传递部，其构成为能够与所述铝板材的外周面抵接，并且能够对所述铝板材赋予沿所述堆叠体的堆叠方向的振动；以及

振子，其与所述振动传递部连接，产生所述振动并将该振动传递至所述振动传递部，

所述振动传递部与所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向端面为50um以上的板厚中心侧的位置抵接。

2.根据权利要求1所述的铝板材的剥离装置，其还包括移动机构，该移动机构构成为能够使所述振动传递部和所述铝板材相对移动。

3.根据权利要求1所述的铝板材的剥离装置，其中，所述堆叠体的所述多个铝板材沿铅直方向堆叠配置，

所述振动传递部与所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向上端面为50um以上的板厚中心侧且比所述铝板材的板厚方向的中心位置更靠上方的位置抵接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的铝板材的剥离装置，其中，所述振动传递部与位于所述堆叠体的最外部的1个铝板材的外周面抵接。

5.一种铝板材的剥离方法，是从铝板材的堆叠体剥离1个或多个铝板材的铝板材的剥离方法，所述铝板材的堆叠体通过对多个铝板材进行加压退火使其粘合而得到，所述铝板材的剥离方法的特征在于，

对所述铝板材的外周面赋予沿所述堆叠体的堆叠方向的振动，

对所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向端面为50um以上的板厚中心侧的位置赋予所述振动。

6.根据权利要求5所述的铝板材的剥离方法，其中，将所述堆叠体的所述多个铝板材沿铅直方向堆叠配置，对所述铝板材的外周面中距离所述铝板材的板厚方向侧端面为50um以上的板厚中心侧且比所述铝板材的板厚方向的中心位置更靠上方的位置赋予所述振动。

7.根据权利要求5或6所述的铝板材的剥离方法，其中，对位于所述堆叠体的最外部的1个铝板材的外周面赋予所述振动。

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