JPS63236979A - 半導体装置の接触短絡検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の接触短絡検出装置に関し、特に半
導体装置のパッケージ内部の電極間ワイヤ間、半導体チ
ップの電極間ワイヤ間、外部端子間、外部端子と電極間
ワイヤ間等の不要な接触、短絡を検出する半導体装置の
接触短絡検出装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体装置の接触短絡検出装置は、カー
ブトレーサ等により構成され、被試験用の半導体装置の
外部端子間に電圧、電流を印加して半導体チップ、電極
間ワイヤ等を発熱させ、接触、短絡部分が接触したり離
れなりするのを繰り返す状態を作り、カーブトレーサの
Ｘ、Ｙ軸に現れる第２図に示すような電圧対電流波形を
目視で読み取り、不要な接触、短絡の有無を確認してい
た。

この接触、短絡には、例えば、半導体チップの電極間ワ
イヤ間に不要な接触があり、外部端子から電圧、電流を
印加したとき、電流により電極間ワイヤ及び半導体チッ
プ等が発熱し接触部分が離・触を繰り返す場合、電極間
隔が弱電界で絶縁破壊を起すほど狭く、交流やパルス電
圧を印加したとき離・触が瞬間的または繰り返して発生
する場合などがある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の半導体装置の接触短絡検出装置は、カー
ブトレーサー等により半導体装置の外部端子間に電流、
電圧を印加しこれら外部端子間の電圧対電流波形により
接触、短絡の有無を確認する構成となっているので、作
業性が悪く処理能力が低いという欠点がある。

本発明の目的は、作業性が向上し処理能力が高い半導体
装置の接触短絡検出装置を提供することにある。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 本発明の半導体装置の接触短絡検出装置は、予め設定さ
れたレベル、パルス幅及び周期のパルス信号を発生する
パルス信号発生部と、このパルス信号発生部の出力端と
被試験用の半導体装置の第１の外部端子との間に直列接
続され前記半導体装置の第１及び第２の外部端子間に前
記パルス信号を印加する抵抗と、この抵抗と前記第１の
外部端子との接続点からのパルス信号の数と前記パルス
信号発生部からのパルス信号の数とを比較しこれらパル
ス信号の数が一致しないとき不一致信号を出力するパル
ス数差検出部とを有している。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例を示す回路図である。

パルス信号発生部１は、予め設定されたレベル、パルス
幅及び周期をもつパルス信号を発生する。

パルス信号発生部１の出力端の片方は、スイッチＳを介
し直列接続された抵抗Ｒ１を経て被試験用の半導体装置
１０の外部端子Ｔ１に接続され、出力端の他方は外部端
子Ｔ２に接続されかつ接地され、外部端子Ｔ１．７２間
にパルス信号Ｐ１が印加される。

パルス数差検出部２は、ゲート回路ｅ、、Ｇ２で構成さ
れ、抵抗Ｒ０と外部端子Ｔ１どの接続点からのパルス信
号Ｐ１と、スイッチＳと抵抗Ｒ３とを経て入力されるパ
ルス信号発生部１からのパルス信号Ｐ２とを比較し、こ
れらパルス信号Ｐ１゜Ｐ２の数が一致しないとき不一致
信号Ｐ３を出力する。

この不一致信号Ｐ３は表示部３に表示され、半導体装置
１０の外部端子’ｒ、、Ｔ２間に接触、短絡があるかど
うかが直ちに確認できる構成となっている。

次に、この実施例の動作について説明する。

外部端子Ｔ１．Ｔ２間に印加されたパルス信号Ｐｌは、
半導体装置の内部において、電極間ワイヤ間、半導体チ
ップと電極間ワイヤ間、外部端子間、外部端子と電極間
ワイヤ間等に不要な接触。

短絡があると、パルス信号Ｐ１の電流により発熱し、接
触したり離れなりまた接触したままとなったりする。接
触した状態では、外部端子Ｔ２側が接地されているので
、外部端子Ｔ１に現れるパルス電圧はほぼ○■となり、
パルス数差検出部２にはパルス信号Ｐ１は入力されない
。

従って、パルス信号の能動状態を高レベルとすると、ゲ
ート回路Ｇ、の出力端は高レベルとなり、またゲート回
路Ｇ２の出力端も高いレベルとなり、パルス信号ＰＩ、
Ｐ２の数が一致しないことを示す高レベルの不一致信号
Ｐ３が出力される。

一方、接触、短絡がなければ常に高レベルのパルス信号
Ｐ１が入力され、ゲート回路Ｇ１の出力端は常に低レベ
ルとなり、従って不一致信号Ｐ３は出力されない。

このようにして、外部端子間に順次パルス信号Ｐ１を印
加することにより、雉時間に接触、短絡を検出すること
ができる。

なお、パルス信号発生部１から出力されるパルス信号は
、そのレベル（電圧、電流）が固定であってもまた所定
の割合で経時変化してもよいし、パルス幅及び周期等も
固定であっても経時変化するものであってもよい。また
、パルス信号数の差の程度、経時変化させたときのパル
ス信号数の差の状況等から、接触、短絡の差の程度を知
ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、パルス信号を直列抵抗を
介して半導体装置の外部端子間に印加し、この直列抵抗
と外部端子との接続点からのパルス信号の数とパルス信
号発生部からのパルス信号の数とが一致しないとき不一
致信号を出力し接触、短絡を検出する構成とすることに
より、従来のように電圧対電流波形を観察しなくて済む
ので作業性が向上し、しかも短時間に検出でき処理能力
を高めることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は従来
の半導体装置の接触短絡検出装置の動作を説明するため
のカーブトレーサーによる電圧対電流波形を示す特性図
である。 １・・・パルス信号発生部、２・・・パルス数差検出部
、３・・・表示部、１０・・・半導体装置、Ｇ、、Ｇ２
・・・ゲート回路、Ｒ１−Ｒ４・・・抵抗、Ｓ・・・ス
イッチ、Ｔｌ〜Ｔ、・・・外部端子。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　予め設定されたレベル、パルス幅及び周期のパルス信
   号を発生するパルス信号発生部と、このパルス信号発生
   部の出力端と被試験用の半導体装置の第１の外部端子と
   の間に直列接続され前記半導体装置の第１及び第２の外
   部端子間に前記パルス信号を印加する抵抗と、この抵抗
   と前記第１の外部端子との接続点からのパルス信号の数
   と前記パルス信号発生部からのパルス信号の数とを比較
   しこれらパルス信号の数が一致しないとき不一致信号を
   出力するパルス数差検出部とを有することを特徴とする
   半導体装置の接触短絡検出装置。