JPS63236246A

JPS63236246A - イメ−ジ管

Info

Publication number: JPS63236246A
Application number: JP6572887A
Authority: JP
Inventors: Satoru Sano; 哲佐野; Shozo Sato; 佐藤　正三
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-03-23
Filing date: 1987-03-23
Publication date: 1988-10-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明はイメージ管に係り、特にその出力面の改良に
関する。

（従来の技術）一般にイメージ管例えばＸ線蛍光増倍管は、医療用を主
に工業用非破壊検査などｘｍ工業テレビを併用して広範
囲に応用されている。

この種のＸ線蛍光増倍管は、従来、第３図に示すように
構成され、主としてガラスよりなる真空外囲器１の内部
には、入力面２が配設されている。

一方、真空外囲器１の内部の出力側には、陽極３が配設
されると共に出力面４が配設され、更に真空外囲器２の
内部の側壁に沿って集束電極５が配設されている。

ところで、従来の出力面は、第４図に示すように構成さ
れ、ガラス基板６上に粒径数μｍの粒状蛍光体１１７が
形成され、この粒状蛍光体Ｊ１７上にＡ１等からなるメ
タルバック薄ｌ１１８が蒸着されている。このメタルバ
ック薄ｌｌ１８は電荷のチャージアップ除去、発光光の
漏れ防止、あるいは発光光を反射させる役目を有してい
る。

（発明が解決しようとする問題点）上記のような従来の出力面においては、粒状蛍光体層７
は充填密度が低く、密度ムラによる構造ノイズが大きい
。又、この粒状蛍光体層７は、均一に形成するのが容易
でない。そこで、これらの問題点を解決するために、第
５図に示すような出力面が提案され、ガラス基板６上に
バルク蛍光体層あるいは蒸着による蛍光体層９が形成さ
れ、この蛍光体１１９上にメタルバック薄膜８が形成さ
れている。しかし、蛍光体層９が平坦であるために、発
光光を外部に取出せず、上記粒状蛍光体層７より発光効
率が極端に悪く、実用化に至らない。

この発明は、発光効率が優れ、且つ構造ノイズが少ない
出力面を有するイメージ管を提供することを目的とする
。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段）この発明は、真空外囲器内の入力側に入力面が配設され
、出力側に陽極が配設されると共に出力面が配設され、
更に真空外囲器の内部側壁に沿って集束電橋が設けられ
てなるイメージ管において、上記出力面は、少なくとも
、基板と、この基板上に形成された粒状蛍光体層と、こ
の粒状蛍光体層上に形成されたほぼ連続性を有する蛍光
体層とからなる複数の層を有することを特徴とするイメ
ージ管である。

（作用）この発明によれば、発光効率が優れ、且つ構造ノイズが
少ない。又、蛍光体層表面に直接ＡＩ等のメタルバック
薄膜が蒸着出来るため、余分で不安定な工程が省略可能
となり、工程歩留りの向上及びコスト低下を実現するこ
とが出来る。

（実施例）以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明するが、この発明のイメージ管例えばＸ線蛍光増倍管
は出力面を改良したもので、出力面についてのみ説明す
ることにする。

即ち、この発明における出力面は、第１図に示すように
構成され、厚さ約１ｍｍのガラス基板１０上に、１〜５
μｍ程度の粒状蛍光体層１１が形成されている。この粒
状蛍光体としては、例えばｚｎｓ、ＺｎＣｄ５．ＹＯ２
Ｓ等数多く知られているが、これらの粒状蛍光体の粒径
は非常に細かいため、均一に塗布することは困難である
。

そこで、この発明では上記粒状蛍光体１１１１上に、連
続性を有する蛍光体層１２が１０００人〜２μｍ程度の
厚さで形成されている。この連続性を有する蛍光体層１
２は、上記粒状蛍光体を低真空のスパッタ蒸着法により
形成したものである。

更に、この連続性を有する蛍光体層１２上には、メタル
バックＩｔ！１１３が形成されている。

尚、この発明のイメージ管は、上記出力面以外は、第３
図に示すイメージ管と同様構成ゆえ、詳細な説明は省略
する。

［発明の効果］この発明によれば、発光効率が優れ、且つ構造ノイズが
少ない。又、連続性を有する蛍光体層１２表面に直接Ａ
１等のメタルバック薄１１１１３が蒸着出来るため、余
分で不安定な工程が省略可能となり、工程歩留りの向上
及びコスト低下を実現することが出来る。

即ち、スパッタ蒸着法により形成された蛍光体層１２は
、表面が凹凸の粒状蛍光体層１１上にも拘らず、連続性
を有しており、凹凸の凹部には適当に入り込んで、凹部
を蛍光体で埋め込んでいる。

従って、第４図に示した従来の蛍光体層７に見られる蛍
光体の密度ムラは、殆どカバーされる。又、第５図に示
したように、連続性を有する蛍光体層９を基板６上に直
接形成した場合、蛍光体層９の表面が平坦になるため、
発光光は表面で全反射を繰返し、蛍光体内でトラップさ
れ、効率の悪い蛍光体層となる。しかしながら、この発
明のスパッタ蒸着法による連続性を有する蛍光体層１２
は、粒状蛍光体層１１上に形成されているため、表面は
平坦ではなく、凹凸が存在する。従って、蛍光体内で発
光された蛍光は、比較的効率良く外部に放出される。又
、スパッタ蒸着法による連続性を有する蛍光体層１２は
、基板１０に直接接触していないため、この連続性を有
する蛍光体層１２の存在によるコントラストの低下は無
い。

尚、第２図はこの発明の出力面と従来の出力面における
構造ノイズを比較測定した結果であり、この発明の方が
構造ノイズ特性が優れていることが判る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るイメージ管（Ｘ線蛍
光増倍管）の出力面を示す断面図、第２図はこの発明及
び従来のイメージ管（Ｘ線蛍光増倍管）の出力面におけ
る構造ノイズ特性を示す特性曲線図、第３図は一般的な
イメージ管（Ｘ線蛍光増倍管）の全体を示す概略断面図
、第４図及び第５図は従来のイメージ管（ＸＩ蛍光増倍
管）における出力面の２例を示す断面図である。１・・・真空外囲器、４・・・出力面、１ｏ・・・ガラ
ス基板、１１・・・粒状蛍光体層、１２・・・連続性を
有する蛍光体層。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦嬉１図第２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）真空外囲器内の入力側に入力面が配設され、出力
側に陽極が配設されると共に出力面が配設され、更に真
空外囲器の内部側壁に沿って集束電極が設けられてなる
イメージ管において、上記出力面は、少なくとも基板と
、この基板上に形成された粒状蛍光体層と、この粒状蛍
光体層上に形成されたほぼ連続性を有する蛍光体層とか
らなる複数の層を有することを特徴とするイメージ管。
（２）上記粒状蛍光体層の厚さは、０．５〜６μｍであ
る特許請求の範囲第１項記載のイメージ管。
（３）上記連続性を有する蛍光体層の厚さは、０．１〜
３μｍである特許請求の範囲第１項記載のイメージ管。