JPS6323045A - クリ−ンル−ム用平ベルト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は２例えば半導体製造等の精密工業、バイオテク
ノロジー、製薬工業等の分野突、製品の製造や保管のた
めに必要とされる。高度に清浄化されたクリーンルーム
内にて使用し得る平ベルトに関する。

（従来の技術） 例えば、半導体の製造に際して、高度に清浄化されたク
リーンルームが必要になる。このようなりリーンルーム
は、清浄度がクラス１００　（０，５μｍ以上の粒径の
塵埃が１　ｆｔ’内に１００個以下）を満足しなければ
ならない。高度に清浄化されたクリーンルーム内におい
て、空気の対流は発塵の原因となる０人間が動けば空気
が対流し９発塵のおそれがあるため、製造された製品は
、ベルトコンペヤにより搬送することが望ましい。

ベルトコンベヤに使用されるベルトも、当然に低発塵性
を要求される。しかし、ベルトの構成材料として帆布あ
るいはコードを用いたベルトは。

材料そのものが発塵の原因となる。また、ベルトに静電
気発生の防止処理が施されていない場合は。

半導体製品等の搬送物に静電気障害を起こすおそれがあ
る。また、静電気が発生すると、静電気により、塵埃が
引き付けられ、搬送物に塵埃が付着するおそれもある。

ベルト表面および背面の凹凸が大きければ、摩耗が激し
く、摩耗粉が塵埃となる。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、そ
の目的は、低発塵性であって、静電気の発生を極力抑制
し得るクリーンルーム用平ベルトを提供することにある
。

（問題点を解決するための手段） 本発明のクリーンルーム用平ベルトは、一対ノ無端帯状
の熱可塑性エラストマー同士を、導電性接着剤を介して
積層してなり、そのことにより上記目的が達成される。

（実施例） 以下に本発明を、実施例について説明する。

本発明の平ベルトは、第１図に示すように、−対の無端
帯状の熱可塑性エラストマー１および２を、導電性接着
剤３を介して積層したものである。

熱可塑性エラストマー１および２としては、ポリエステ
ル、ポリウレタン等が用いられる。熱可塑性エラストマ
ー１および２は、プーリーとの接触や物品搬送時におけ
る物品の接触のために生じる摩耗を、極力抑制し、摩耗
粉の発生を極力防止する上で、硬度２表面粗さ、および
摩擦係数として１次の条件を満足することが望ましい。

すなわち、熱可塑性エラストマーの硬度としては、　８
０〜　　９９度（ＪＩＳ　Ａ）の範囲２表面粗さとして
、最大粗さが３〜２０μ顛の範囲、摩擦係数として０．
１５〜０．３範囲が望ましい。

導電性接着剤３としては９例えばポリエステル系あるい
はポリウレタン系の接着剤に１粒径が０．５〜３μｍの
カーボンブラックを３〜２０重量％混入させたものが用
いられる。

実験■上 ポリエステルを用いてなる幅２０ｍｍ、長さ６００寵の
一対の平帯状の熱可塑性エラストマーを、ポリエステル
系接着剤に粒径が１．０μ禦のカーボンブラックを混入
させた導電性接着剤にて接着し、無端帯状に形成して９
本発明の平ベルトを得た。この平ベルトを、直径が７０
１１の鉄製の２つのプーリーに巻き掛けて１周回速度を
７．４ｍ／ｓとして走行させた。この場合の発塵量と静
電気の発生量を測定した。その結果２発塵量は、０．５
μｍ以上の塵埃がｌｆｔ”当り２〜２７個であり、静電
気の発生量は最大でＩＯＶであった。

尖狭侃１ 実験例１の平ベルトと同様の平ベルトを用い。

材質がナイロン樹脂であるプーリーを用いたこと以外は
実験例１と同様に、静電気の発生量を測定した。この場
合、最大８０Ｖの静電気が発生した。

北較開土 芯体としてポリエステル帆布を存し、該帆布の表面およ
び背面にポリウレタンを積層した平ベルトを、直径が７
０鶴の鉄製の２つのプーリーに巻き掛けて２周回速度が
７．４ｍ／ｓとなるように走行させた。この場合の発塵
量と静電気の発生量を測定した。発塵量は５１１０〜１
１０００個／ｆｔ’（０，５，ｃ＋ｍ以上の塵埃）であ
った。静電気量は最大２５０　Ｖであった。

北較炭１ 比較例１と同様の平ベルトを用い、材質がナイロン樹脂
であるプーリーを用いたこと以外は比較例１と同様に、
静電気の発生量を測定した。この場合、最大９００　Ｖ
の静電気が発生した。

（発明の効果） 本発明の平ベルトは、このように熱可塑性エラストマー
同士を導電性接着剤を介して積層したものであるので２
静電気の発生は著しく低減される。

帆布等の芯体を用いておらず、また表面および背面が熱
可塑性エラストマーであるため、プーリーとの接触によ
る摩耗が少な（２発塵量は著しく低減される。従って、
クリーンルームのベルトコンベヤに好適に使用され得る
。

４、　ズ　　の　　゛な晋゛■ 第１図は本発明の平ベルトの一例を示す一部破断斜視図
である。

１．２・・・熱可塑性エラストマー、３・・・導電性接
。

着剤。

以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一対の無端帯状の熱可塑性エラストマー同士を、導
   電性接着剤を介して積層してなるクリーンルーム用平ベ
   ルト。 ２、前記導電性接着剤は、粒径が０．５〜３μｍのカー
   ボンブラックを３〜２０重量％混入したポリエステル系
   もしくはポリウレタン系接着剤である特許請求の範囲第
   １項に記載のクリーンルーム用平ベルト。 ３、前記熱可塑性エラストマーがポリエステルもしくは
   ポリウレタンである特許請求の範囲第１項に記載のクリ
   ーンルーム用平ベルト。 ４、前記熱可塑性エラストマーの硬度が８０〜９９度（
   ＪＩＳ　Ａ）である特許請求の範囲第１項に記載のクリ
   ーンルーム用平ベルト。 ５、前記熱可塑性エラストマーの表面粗さは、最大粗さ
   が３〜２０μｍの範囲にある特許請求の範囲第１項に記
   載のクリーンルーム用平ベルト。 ６、前記熱可塑性エラストマーの表面の摩擦係数が０．
   １５〜０．３である特許請求の範囲第１項に記載のクリ
   ーンルーム用平ベルト。