JPS63229796A - 光半導体素子 - Google Patents

光半導体素子

Info

Publication number
JPS63229796A
JPS63229796A JP6469087A JP6469087A JPS63229796A JP S63229796 A JPS63229796 A JP S63229796A JP 6469087 A JP6469087 A JP 6469087A JP 6469087 A JP6469087 A JP 6469087A JP S63229796 A JPS63229796 A JP S63229796A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveguides
section
optical switch
waveguide
wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6469087A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Hirano
平野 雅夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP6469087A priority Critical patent/JPS63229796A/ja
Publication of JPS63229796A publication Critical patent/JPS63229796A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/062Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
    • H01S5/0625Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes in multi-section lasers
    • H01S5/06255Controlling the frequency of the radiation
    • H01S5/06256Controlling the frequency of the radiation with DBR-structure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/026Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/10Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/12Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
    • H01S5/125Distributed Bragg reflector [DBR] lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/10Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/1003Waveguide having a modified shape along the axis, e.g. branched, curved, tapered, voids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/10Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/12Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
    • H01S5/1206Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers having a non constant or multiplicity of periods
    • H01S5/1215Multiplicity of periods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [概要コ 単一の活性層を有するレーザ発振部と、光路を変更する
光スイッチ部と、異なる回折格子をもった複数の導波路
を有するフィードバンク部とを並列にして、光スィッチ
を操作して多波長発振させる光半導体素子を構成し、ま
た、同様の構造にして、光スイッチ部を操作し、且つ、
フィードバンク部の屈折率を変えて所要波長に同調でき
る光半導体素子を構成する。このような光半導体素子は
構造が簡単で、広汎な波長に対応できる。
[産業上の利用分野] 本発明は光通信において多波長発振や波長同調に使用で
きる光半導体素子に関する。
最近、光通信が重用されており、これは通信線が小型軽
量で、且つ、無誘導で低損失などの数々の利点があるか
らであるが、現状の光通信は、所謂、信号゛1° “0
”に対応した強度変調方式である。
しかし、電気通信で利用されている周波数変調や位相変
調の方式が光通信にも採用できれば、大容量伝送が可能
になり、そのような方式を適用できる光コヒーレント通
信の実現に向けて研究が進められているが、そのために
はそれに対応できる光半導体素子の開発が望まれている
[従来の技術と発明が解決しようとする問題点]現在、
多波長を出力する半導体レーザ素子としては、1チップ
面に複数の活性層を設けて、別々に発振させる構造の素
子が提案されているだ番すであり、その概要斜視図を第
4図に示している。この第4図の例は1つの素子に3つ
の活性層を設けたもので、それぞれの活性層a、b、c
からは異なる波長λa、λb、λCのレーザが発振され
る構造である。しかし、こような複数の活性層を有する
レーザ素子は個々の活性層に対して光ファイバを配置す
るか、若しくは、一本の光ファイバに集光させるべき特
殊技術の必要があり、また、電極や電源が別々に必要に
なって、構成が複雑になりコスト高になる欠点がある。
又、光コヒーレント通信で要求されるものに受信側の波
長同調(チューナビリティ; tunability)
がある。それには、現在、東京工大などでBTG構造が
研究されているが、それは回折格子部分に電流を流して
電子数を変え、屈折率を変化させて波長を変えるだけで
あり、波長可変の度合が50人と小さく、将来要求され
る200〜500人程度の波長多結には大きな隔たりが
ある。
本発明は、このような多波長通信に使用できる送信側の
多波長発振用素子および受信側の波長同調用素子を提案
するものである。
[問題点を解決するための手段] その目的は、単一の活性層を有するレーザ発振部と、導
波路を変更する光スイッチ部と、異なる回折格子をもっ
た複数の導波路を有するフィードバック部とを並列にし
て導波路を一致させ、中央の光スイッチ部を操作し導波
路を選択して、複数波長のレーザ光が発振できるように
した光半導体素子、および、同じくレーザ発振部と光ス
イッチ部とフィードバンク部とを並列にして導波路を一
致させ、中央の光スイッチ部を操作して導波路を選択し
、且つ、フィードバック部に電子を注入することによっ
て屈折率を変えて、所要波長のレーザ光に同調できるよ
うにした光半導体素子によって達成される。
[イ乍用コ 即ち、本発明は、レーザ発振部と光スイッチ部とフィー
ドバック部とを並列にして、光スィッチを操作して多波
長発振させる多波長発振素子を構成し、また、同様の構
造にして、光スイッチ部を操作すると共に、フィードバ
ック部に電子を注入して屈折率を変化させて、所要波長
に同調できる光半導体素子を構成する。このような発振
素子、あるいは、同調素子は簡単な構造で、且つ、広範
囲な波長に対応できる。
[実施例] 以下、図面を参照して実施例によって詳細に説明する。
第1図(a)、 (b)は本発明にかかる多波長発振素
子の平断面図(同図(a))と側断面図(同図(b))
を示しており、1はレーザ発振部、2は光スイッチ部。
3はフィードバック部である。レーザ発振部1はファブ
リペロ−形の半導体レーザと同じであり、両端面を平行
な平面鏡として、単一の活性N11を設け、上下面には
電極12.13を配置して、電流を流して単一波長(例
えば、1.55μm)のレーザを両端面から出力させる
また、光スイッチ部2は導波路21(光路)から上記レ
ーザ発振部1から出力したレーザを導入し、それを2つ
の導波路22.23のいずれかに分岐する。
分岐は通常の光スィッチと同じく、上下の電極24゜2
5に電流を流して分岐部の屈折率を変化させてスイッチ
動作させるものである。
また、フィードバック部3は異なる回折格子をもった2
つの導波路31.32を具備し、それは上記光スイッチ
部2の導波路22.23に接続している。
なお、レーザ発振部と光スイッチ部との間、および光ス
イッチ部とフィードバック部との間には反射防止膜AR
が被覆され、結合損失の少ないように図っである。また
、フィードバック部3の露出端面は乱反射面としておく
かくして、所要波長のレーザがレーザ発振部端面(図の
左側)から矢印方向に発振するが、光スイッチ部を操作
すれば、2種類の波長のレーザが出力される構成である
。例えば、光スイッチ部を操作して、1.50μmと1
.60μmとの両波長のレーザを出力させることができ
る。
次に、第2図は本発明にかかる他の例の発振素子の平断
面図である。本例では、フィードバック部3を中心にし
て左右対称にレーザ発振部と光スイッチ部2.21とレ
ーザ発振部1.1°を配置したもので、このように構成
しておくと、左右2個所からのレーザ発振が得られる利
点がある。
且つ、第1図および第2図に示す実施例は2種類の波長
のレーザが出力できる構造であるが、これに限らず、光
スイッチ部の導波路を3分岐、4分岐にして、それに対
応する数の回折格子をもった導波路をフィードバック部
に設けると、更に多波長、例えば、1.54μm、 1
.55μm、 1.56μm。
1657μmを出力させることができる。
次に、第3図(a)、 (b)は本発明にかかる波長同
調素子の平断面図(同図(a))と側断面図(同図(b
))を示しており、第1図(a)、 (b)と同一部位
には同一記号が付けである。レーザ発振部1と光スイッ
チ部2は上記に説明したと同じ構造であるが、フィード
バック部3は異なる回折格子をもった2つの導波路31
.32を有し、且つ、その上下面の全面に電極33.3
4を配置している。そして、その電極間に電流を流して
内部の電子数を変動させと、フィードバンク部3の屈折
率が変化し、それに伴って出力レーザの波長を変化させ
るものである。かくして、屈折率を連続的に変化させて
50人の波長幅を変えることができると、それに加えて
、光スイッチ部2を操作すれば、1.55μmを中心に
上下幅100人、即ち、1.50〜1.60 p mの
波長幅の同調をとることができ、これは従来の同調波長
幅10人。
100人程多結に比べて大幅な同調幅の拡大になる。
このように、本発明によれば簡易な構成で、一層広い範
囲の波長に対応できる多波長発振素子や同調素子が得ら
れるものである。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明にかかる光半導
体素子は簡単な構成で、広い範囲の波長に対応できる多
波長発振素子や同調素子が得られて、光コヒーレント通
信の進歩に役立つものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(al、 ib)は本発明にかかる多波長発振素
子を示す図、 第2図は多波長発振素子の他の例を示す図、第3図(a
)、 (blは本発明にかかる波長同調素子を示す図、 第4図は従来の多波長発振素子の斜視図である。 図において、 1.1′はレーザ発振部、 2.2“は光スイッチ部、 3はフィードバック部、 11は活性層、 12、13.24.25.33.34は電極、21、2
2.23は導波路、 31、32は回折格子をもった導波路、ARは無反射膜 を示している。 4◇谷U冴1;かV・3う5反長柵−1とrハフ引UZ
第1図 じう’Ngy11才Pi ’151−Fx!137.フ
′リヂt5+#:I’1Ji75!11   つ  R
バ フF発呵にかか3j溌長闇p4峯チ盲ネ10第3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)単一の活性層を有するレーザ発振部と、導波路を
    変更する光スイッチ部と、異なる回折格子をもつた複数
    の導波路を有するフィードバック部とを並列にして導波
    路を一致させ、中央の光スイッチ部を操作しフィードバ
    ック部の導波路を選択して、複数波長のレーザ光が発振
    できるようにしたことを特徴とする光半導体素子。
  2. (2)単一の活性層を有するレーザ発振部と、導波路を
    変更する光スイッチ部と、異なる回折格子をもつた複数
    の導波路を有するフィードバック部とを並列にして導波
    路を一致させ、中央の光スイッチ部を操作して導波路を
    選択し、且つ、フィードバック部に電子を注入すること
    によつて屈折率を変えて、所要波長のレーザ光に同調で
    きるようにしたことを特徴とする光半導体素子。
JP6469087A 1987-03-18 1987-03-18 光半導体素子 Pending JPS63229796A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6469087A JPS63229796A (ja) 1987-03-18 1987-03-18 光半導体素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6469087A JPS63229796A (ja) 1987-03-18 1987-03-18 光半導体素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63229796A true JPS63229796A (ja) 1988-09-26

Family

ID=13265399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6469087A Pending JPS63229796A (ja) 1987-03-18 1987-03-18 光半導体素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63229796A (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0516044A2 (en) * 1991-05-27 1992-12-02 Fujitsu Limited Tunable optical source for producing a coherent optical beam with a wide range of wavelength tuning
EP1058358A1 (en) * 1999-05-17 2000-12-06 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Widely wavelenght tunable integrated semiconductor device and method for widely wavelenght tuning semiconductor devices
EP1094574A1 (en) * 1999-10-18 2001-04-25 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw Widely wavelength tunable integrated semiconductor device and method for widely wavelenght tuning semiconductor devices
US6728279B1 (en) 1999-05-17 2004-04-27 Interuniversitair Microelektronica Centrum Widely wavelength tunable integrated semiconductor device and method for widely tuning semiconductor devices
JP2006286928A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Fujitsu Ltd 光半導体装置とその駆動方法
WO2007107186A1 (en) * 2006-03-23 2007-09-27 Pirelli & C. S.P.A. Integrated laser optical source
WO2007107187A1 (en) * 2006-03-23 2007-09-27 Pirelli & C. S.P.A. Integrated laser optical source with active and passive sections formed in distinct substrates
WO2008120024A1 (en) * 2007-04-03 2008-10-09 Bookham Technology Plc Branched waveguide multisection dbr semiconductor laser
JP4690521B2 (ja) * 1999-05-17 2011-06-01 アイメック 広い範囲の波長で同調可能な集積化された半導体装置及び広い範囲の波長で同調可能な半導体装置のための方法
WO2014067047A1 (zh) * 2012-10-29 2014-05-08 华为技术有限公司 波长可调激光器、无源光网络系统和设备

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5388106A (en) * 1991-05-27 1995-02-07 Fujitsu Limited Tunable optical source for producing a coherent optical beam with a wide range of wavelength tuning
EP0516044A2 (en) * 1991-05-27 1992-12-02 Fujitsu Limited Tunable optical source for producing a coherent optical beam with a wide range of wavelength tuning
JP4690521B2 (ja) * 1999-05-17 2011-06-01 アイメック 広い範囲の波長で同調可能な集積化された半導体装置及び広い範囲の波長で同調可能な半導体装置のための方法
EP1058358A1 (en) * 1999-05-17 2000-12-06 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Widely wavelenght tunable integrated semiconductor device and method for widely wavelenght tuning semiconductor devices
US6728279B1 (en) 1999-05-17 2004-04-27 Interuniversitair Microelektronica Centrum Widely wavelength tunable integrated semiconductor device and method for widely tuning semiconductor devices
US7058096B2 (en) 1999-05-17 2006-06-06 Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec Vzw) Widely wavelength tunable integrated semiconductor device and method for widely wavelength tuning semiconductor devices
EP1094574A1 (en) * 1999-10-18 2001-04-25 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw Widely wavelength tunable integrated semiconductor device and method for widely wavelenght tuning semiconductor devices
JP2006286928A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Fujitsu Ltd 光半導体装置とその駆動方法
WO2007107187A1 (en) * 2006-03-23 2007-09-27 Pirelli & C. S.P.A. Integrated laser optical source with active and passive sections formed in distinct substrates
WO2007107186A1 (en) * 2006-03-23 2007-09-27 Pirelli & C. S.P.A. Integrated laser optical source
WO2008120024A1 (en) * 2007-04-03 2008-10-09 Bookham Technology Plc Branched waveguide multisection dbr semiconductor laser
US20100142567A1 (en) * 2007-04-03 2010-06-10 Oclaro Technology Plc Branched waveguide multisection dbr semiconductor laser
US8295315B2 (en) 2007-04-03 2012-10-23 Oclaro Technology Limited Tunable laser
WO2014067047A1 (zh) * 2012-10-29 2014-05-08 华为技术有限公司 波长可调激光器、无源光网络系统和设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6940878B2 (en) Tunable laser using microring resonator
US5630004A (en) Controllable beam director using poled structure
CN100463312C (zh) V型耦合腔波长可切换半导体激光器
US4878724A (en) Electrooptically tunable phase-locked laser array
JP2016213379A (ja) 多波長レーザ光源及び波長多重通信システム
JP2003513328A (ja) 差動導波路対
JP2003513327A (ja) 同調可能なアッド−ドロップ及び交叉接続装置
JP4239440B2 (ja) 光クロックパルス列発生装置
CA2999682C (en) Semiconductor laser device
WO2007107187A1 (en) Integrated laser optical source with active and passive sections formed in distinct substrates
US6697392B2 (en) Single wavelength laser module
JPH02195309A (ja) 光結合素子
JPS63229796A (ja) 光半導体素子
WO2016042658A1 (ja) レーザ装置及びレーザ装置の制御方法
US4905252A (en) Ring laser cavities
US20070133649A1 (en) Wavelength tunable light source
JP2708467B2 (ja) 波長可変半導体レーザ
JP2947142B2 (ja) 波長可変半導体レーザ
US7657139B2 (en) Y-junction reflector tunable delay or resonator waveguide devices
JP2001320127A (ja) 半導体レーザ
JP2656972B2 (ja) 多波長ガラス導波路レーザーアレイ
JPS60187078A (ja) 半導体レ−ザ装置
JP2000019335A (ja) 波長多重光通信用の多波長光源ユニット
JPH08195720A (ja) ピルボックス型光共振器の波長選択フィルタ
JP3529275B2 (ja) 波長多重光源