JPS63225233A - エレクトロクロミツク表示素子における電極形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、電気化学的電極反応を利用するエレクトロク
ロミック表示素子における電極形成方法に関する。

（従来の技術） エレクトロクロミック表示素子の製造時における電極形
成方法としては、基本的には、基板上に例えば蒸行によ
り全面に導′ｗ１膜を形成した後、この導電膜のうち所
定形状のパターンに応じた部分の導電膜をエツチング処
理、或は研削、ショツトブラスト等によってスリット状
に除去し、これによって、基板の略全域に分布した主電
極と、この電極とは絶縁された分離電極たる補助電極を
形成するようにしている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来構成では、基板の全面に導電膜
を形成した後、所定部分の導電膜を化学的処理或は物理
的処理によりスリット状に除去する構成であるため、導
＊ｍを除去する作業が必要な分だけ製造コストが高くな
る。また、上記除去作業時に、残すべき導電膜部分に損
傷を与えて品質の低下を招く虞もある。

そこで、本発明の目的は、製造コストを安くできると共
に、品質の低下防止を図り得るエレクトロクロミック表
示素子における電極形成方法を提供するにある。

〔発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明のエレクトロクロミック表示素子における電極形
成方法は、所定形状のマスクパターンを有するマスク部
材を設けて、そのマスク部材を基板に対してその端縁部
を挾むようにして着脱可能に取付け、この基板上にスパ
ッタリング或は蒸着により導電膜を形成し、この後に前
記マスク部材を取外すことにより前記基板上に前記マス
クパターンに応じた導電膜の分離電極を形成するように
したものである。

（作用） マスク部材を基板に取付けた状態で基板上に導電膜を形
成し、この後マスク部材を取外せばマスクパターンに応
じた導電膜の分離電極が形成される。このため、従来と
は異なり導電膜形成後において所定部分の導電膜を除去
する作業が不要になるから、それだけ製造コストが低く
なる。また、導電膜を除去する作業がなくなるから、導
電膜に損傷が生ずる虞もない。

（実施例） 以下、本発明を例えば自動車用防眩バックミラーに利用
されるエレクトロクロミック表示素子に適用した第１の
実施例について第１図乃至第３図を参照しながら説明す
る。

まず、主要部の構造をモデル的に示す第３図において、
１は基板たる例えばガラス製の透明基板、２は例えばＩ
ＴＯ膜よりなる導電膜たる透明電極膜で、これは後述す
るようにして透明基板１上の全面に渡ってスパッタリン
グ或は蒸着手段により形成されている。この透明電極膜
２は、略コ字状をなす絶縁スリット部３により、透明基
板１の略全面に対応する主透明電極４と分離電極たる補
助透明電極５とに分割されている。

、６は透明電極膜２上にその周縁部を残した状態にて蒸
着手段により添設された第１の発色層で、これは可逆的
電解酸化性のエレクトロクコミック物質（例えばＩｒＯ
２或はＮ　ｉ　Ｏ）よりなる。７は第１の発色層６上に
蒸着手段により添設された：Ｓ電体層で、これはＴａ２
０Ｂ或は５ｔ０２等よりなる。８は誘電体層７上に蒸着
手段により添設された第２の発色層で、これは可逆的電
解還元性のエレクトロクロミック物質（例えばＷＯ，）
・よりなる。そして、上述のように積層された第１の発
色層６．誘電体層７及び第２の発色層８によってエレク
トロクロミック反応部９が構成される。

°　　１０は光反射膜兼用の対向電極膜で、これは上記
エレクトロクロミック反応部９上にアルミニウム等の金
属を蒸着することにより形成されている。

ここで、対向電極１１１０は、その周縁部の大部分がエ
レクトロクロミック反応部９の周縁部より内側に位置す
ると共に、周縁部のうち前記補助透明電極５に対応する
部分が補助透明電極５上に添設されるようになっている
。これにより、対向電極１０と補動透明電極５が電気的
に接続されている。

１１はリード線１１ａが接続された第１のターミナルで
、これは透明基板１の第３図中左端縁部に嵌め込み状に
固定され、以て主透明電極４に電気的に接続されている
。また、１２はリード線１２ａが接続された第１のター
ミナルで、これは透明基板ｌの第３図中右端縁部に嵌め
込み状に固定され、以て補助透明電極５に電気的に接続
されている。

而して、上記構成においては、透明基板１を通じて入射
した光が対向電極膜１０にて反射されるものであり、こ
れにて自動車用バックミラーとして機能する。ここで、
第１のターミナル１１及び′￥Ｊ２のターミナル１２間
に第１のターミナル１１側が正電位の直流電圧を印加す
ると、誘電体層７に含まれる水分が水素イオン（Ｈ＋）
と水酸イオン・（ＯＨ″″）とに電気的に分解され、水
素イオンが負電位の対向電極膜１０ひいては第２の発色
層８へ移動してこれを還元すると共に、水酸イオンが正
電位の主透明電極４ひいては第１の発色層６側へ移動し
てこれを酸化するものであり、斯様な酸化及び還元反応
によって第１の発色層６及び第２の発色層８が着色する
ようになる。従って、この状態では、透明基板ｌを通じ
て入射し且つ対向電極１０にて反射される光が減衰され
るようになり、以て防眩効果が得られる。また、この状
態から、第１のターミナル１１及び第２のターミナル１
２間に第２のターミナル１２側が正電位の直流電圧を印
加すると、上述と逆の反応によって第１の発色層６及び
第２の発色層８が消色するものであり、これにて防眩効
果のない通常の状態に戻される。

さて、前記透明基板１−Ｉ−に主透明電極４及び補助透
明電極５を形成する方法について第１図及び第２図を参
照して詳述する。この第１図及び第２図において、１３
は前記絶縁スリット部３に対応した形状のマスクパター
ンを有するマスク部材で、これは、断面略コ字状に形成
され、その図中上辺部１３ａに窓部１３ｂが形成される
と共に、上辺部１３ａと下辺部１３ｃとの間に前記透明
基板１の端縁部を挟み付けるようになっている。これに
より、マスク部材１３は、透明基板１に着脱可能に取付
けられるようになっていると共に、その取付は状態で上
辺部１３ａが透明基板１の上面に密接するようになって
いる。そして、このようなマスク部材１３を透明基板１
にその端縁部を挾むようにして着脱可能に取付け、この
状態の透明基板１」二にスパッタリング或は蒸着手段に
より前記透明電極膜２を形成する。この後、透明基板１
からマスク部材１３を取外すと、透明基板１上に絶縁ス
リット部３によって分割された主透明電極４及び補助透
明電極５が形成される。

要するに、本実施例によれば、主透明電極４及び補助透
明電極５を形成するに際して、従来必要であった導電膜
の除去作業を不要にできるものであり、以てその分だけ
製造コストを低くできる。

また、従来においては上記導電膜の除去作業時に残すべ
き導電膜部分に損傷を与えて品質の低ドを招く虞があっ
たが、本実施例によればこのような虞を防止できる。

第４図及び第５図は本発明の第２の実施例を示すもので
、第１の実施例と異なるところは、マスク部材１３の代
わりに、例えば３個の窓部１４ａを長手方向に有する細
長状のマスク部材１４を設け、このマスク部材１４によ
り透明基板１上に３個の補助透明電極１５，１６．１７
を形成するように構成した点にある。この第２の実施例
においても第１の実施例と同様な作用効果を得ることが
できる。

尚、」二記第２の実施例においては、マスク部キイの窓
部の個数を２個或は４個以上にしても良い。

また、透明基板１が曲面状に構成されている場合には、
その曲率に応じてマスク部材を曲成するようにしても良
い。

第６図及び第７図は上記第２の実施例を更に変形した本
発明の第３の実施例を示すもので、第２の実施例と異な
るところは、取付は用の突片部１８ａを有するマスク部
材１８を設け、このマスク部材１８を透明基板１に取付
けた状態で、該マスク部材１８の突片部１８ａを基板ホ
ルダー１９にねじ止めするように構成した点にある。こ
の第３の実施例においても第２の実施例と同様な作用効
果を得ることができるが、特に、透明基板１を基板ホル
ダー１９に取付けるための治具としてマスク部材１８を
兼用できるので、特別な取付は治具が不要になる。

第８図は前記第２の実施例の別の変形例である本発明の
第４の実施例を示すもので、第２の実施例と異なるとこ
ろは、４枚分の透明基板１の面積を有゛する透明基板２
０に対して、４個のマスク部材２１を取付けて透明電極
膜を形成した後、−ト記透明基板２０から切出しにより
４枚の透明基板１を得るように構成した点にある。この
第４の実施例においても第２の実施例と同様な作用効果
を得ることができるが、特に、透明電極膜の形成作業即
ちスパッタリング或は蒸着作業の回数を１／４に減らす
ことができる。

［発明の効果］ 本発明は以上の説明から明らかなように、所定形状のマ
スクパターンを有するマスク部材を基板にその端縁部を
挾むようにして着脱可能に取付け、この基板上にスパッ
タリング或は蒸着により導電膜を形成し、この後前記マ
スク部材を取外すことにより前記基板上に前記マスクパ
ターンに応じた導電膜の分離電極を形成するようにした
ので、製造コストを安くできると共に、品質の低下時１
トを図り得るという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の第１の実施例を示すもので
、第１図及び第２図は透明基板にマスク部材を取付けた
状態を示す夫々斜視図及び側面図、第３図はモデル的に
示すエレクトロクロミック表示素子の断面図である。第
４図及び第５図は本発明の第２の実施例を示すもので、
第４図はマスク部材の斜視図、第５図は透明基板の上面
図である。 第６図及び第７図は本発明の第３の実施例を示すもので
、第６図はマスク部材の斜視図、第７図は基板ホルダー
への取付は状態を示す側面図である。 第８図は本発明の第４の実施例を示すもので、透明基板
にマスク部材を取付けた状態での上面図である。 図面中、１，２０は透明基板（基板）、２は透明電極膜
（導電膜）、５，１５．１６．１７は補助透明電極（分
離電極）、１３，１４，１８．２１はマスク部材、１９
は基板ホルダーを示す。 第１　図 Ｍ２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、所定形状のマスクパターンを有するマスク部材を基
   板にその端縁部を挾むようにして着脱可能に取付け、こ
   の基板上にスパッタリング或は蒸着により導電膜を形成
   し、この後に前記マスク部材を取外すことにより前記基
   板上に前記マスクパターンに応じた導電膜の分離電極を
   形成することを特徴とするエレクトロクロミック表示素
   子における電極形成方法。