JPS63306429A - 自動車用ｅｃ防眩ミラ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は自動車用のＥＣ防眩ミラーを製造する方法に係
り、特に１反射率の変化が全面均一に行われるように改
良された未公知の新規なＥＣ防眩ミラーを製造する方法
に関するものである。

［従来の技術］ 自動車用のミラー類（インサイドミラー、アウトサイド
ミラー、ドアミラー）は、後方視界を確認して安全運転
を行う為に不可欠のものであるが、後続車のライトなど
の強い光が反射されると眩惑を感じるという支障を生じ
る。

この眩惑を軽減させるため、夜間においてはミラーの反
射率を減少させることが有効である。

こうした目的で、反射率を増減させるように調節できる
構造の防眩ミラーが用いられる。

従来一般に、プリズム式防眩ミラー、及び、液晶式防眩
ミラーが実用化されており、更にエレクトロミズム（以
下、ＥＣと略称する）を利用したＥＣ式防眩ミラーが開
発され、実用化されようとしている。

第５図はＥＣ式防眩ミラーの断面を描いた説明図であっ
て、読図の便宜上その厚さ寸法を拡大してあり、図の右
方がミラーの背面である。

ガラス基板１の上に第１電極として透明導電層２を設け
る。材質としては１例えばＩＴＯ（インヂュウム・スズ
・酸化物）、ＳｎＯ，が用いられる。

更にその上に、還元反応によって着色するＥＣ（例えば
Ｗ○、、Ｍｏｂ、）の第１ＥＣ層３、電解質層（例えば
Ｔａ、Ｏ，、ＺｒＯ２，５ｉ０２）４．酸化反応によっ
て着色するＥＣ（例えばＣｒ、０３゜Ｎｉｐ、Ｉｒｅ、
）の第２ＥＣ層５、第２電極兼反射Ｊｌ（材質はＡｔ、
Ａｇなと）６が順次に成層され、その上を電気絶縁性の
保護層７で覆われている。

なお、上記第１ＥＣの材料と第２ＥＣの材料とを入れ替
えて構成されることもある。

前記の第１電極２と第２電極６との間に直流電圧（０，
５〜２．０ｖ程度）を印加し、その極性を切り替えると
、第１．第２ＥＣ層内で電気料学的に酸化、還元反応が
行われて、第１ＥＣ層３および第２ＥＣ層５が着色した
り消色したりする。

この着色、消色によって通過光の吸収率が変化し、ミラ
ーとしての機能について見ると反射率が変化する。

上に述べたように第１．第２電極間に電圧を印加して電
気化学的反応を行わせる際、短時間であるが比較的大電
流（例えば、　１５ｃｎＸ１０ａａ程度の大きさの場合
、０．８Ａ〜１．ＯＡ）が流れる。

上記のように大電流が流れるので、薄層である第１．第
２電極内には電圧降下が生じる。

上記の電圧降下のため、防眩ミラーのＥＣ層に電流密度
の不均一を生じ、発色、消色にむらを生じる。この発色
むらは電圧印加を停止した後にも残る。

上記の電圧降下に因る発色むらを無くするため前記第１
電極の周囲の内、第２電極リード線引出部近傍を除く部
分に帯状の金属薄膜を設け、前記第２電極は、これを第
２ＥＣ層の上に施した金属被膜によって構成するととも
に、該金属被膜は反射層を兼ねたものとする構成が考え
られる。

上記の構成は本発明の発明者が創作して、本出願人が別
途特許出願中の発明（以下、先願という）である。

第６図（Ａ）は上記先願の一実施例を示す背面図、第６
図ＣＢ）は上図のＢ−Ｂ断面図である。

ほぼ方形のガラス基板１の背面に、第１電極としての透
明導電層２．第１ＥＣ層３．電解質層４゜第２ＥＣ層５
、及び、第２電極兼反射層の金属層６が順次に成層され
ている。

そして、第ＬＥＣ層３．電解質層４．第２ＥＣ層５．金
属層６から若干離間せしめて、透明導電層２の周囲に１
対のＬ字形をなす帯状金属薄層８が設けられている。

９は、帯状金属薄層８からリード線を引き出すために該
帯状金属薄層８を挟みつけて固着した端子金具である。

　１０は、第２電極（兼反射層）６からリード線を引き
出すために該第２電極６を挟みつけて固着した端子金具
である。仮想線で示した１１は、この防眩ＥＣミラーの
背面を覆っている電気絶縁材料製の保護層である。

透明導電層２は比較的高抵抗を有しているので、これに
電流が流れると電圧降下を生じる。しかし、先願を適用
して電気抵抗の少ない帯状金属薄膜８が設けられている
と、この帯状金属薄膜８に沿ってその長手方向の電圧分
布は略々一様になる。このため、電圧、電流の不均一に
よる着色むらが防止される。

［発明が解決しようとする問題点］ 第６図（Ａ）に示した先願のＥＣ防眩ミラー背面図の中
から、成層した構成部材を抽出して示すと第９図の如く
である。

このような成層構造を構成するため、従来の技術を適用
すると、次記■、■の方法が考えられる。

以下、説明の便宜上、これらをそれぞれ従来方法Ｉ、従
来方法■と呼ぶことにする。

前掲の第９図の成層構造を構成するため、従来方法１．
ＩＩとも、先ず第７図に示す如くガラス基・板の背面に
、１対の切欠部２ａ、２ｂを有する透明導電層２を設け
る。

次いで、第８図に示す如く、上記透明導電層２の上に（
背面側に）第１ＥＣ層３．電解質層４゜及び第２ＥＣ層
５を順次に成層する。

従来方法Ｉは、次記の如く、工程１−１〜工程［５によ
り構成される。

（工程夏−＋）ガラス基板１の背面の全面に透明導電層
２を形成する。この工程にはスパッタ、イオンプレート
、ＣＶＤなどの公知技術を適用し得る。

（工程■−２）ホトレジスト塗布→パターン露光。

剥離→薬品処理（エツチング処理）→洗浄の操作で、（
即ちホトレジスト処理と薬品処理とによって）第７図に
示した透明導電層２の切欠２ａ、切欠２ｂを形成する。

これにより第７図に示した状態の中間製品が得られる。

（工程ｌ−３）外周部にマスク（図示せず）を当て、第
１ＥＣ層３．電解質層４．第２ＥＣ層５を順次に成層し
、第８図に示した中間製品を得る。

（工程ｌ−４）背面側の全面に金属膜を形成して覆う、
該金属膜の材料はＡｌ、Ａｇなどが適しており。

蒸着、スパッタ、イオンプレートなどの公知技術を適用
し得る。

（工程１−ｓ）前述の工程１−、におけると同様のホト
レジスト処理及び薬品処理によって、前記金属膜の不要
部分を除去し、帯状金属薄膜８及び第２電極兼反射層６
を形成する。

上に述べた従来方法Ｉにおいては。

（ａ）工程Ｉ−２と工程１−ｓとの２回繰り返して露光
操作を行い、露光パターンを用いる上に、工程ｔ−ｓの
成層にもマスクを用いるので、パターンのズレを生じる
虞れが大きく、製品歩留まりが悪くなる。

パターンのズレを無くするように加工精度を上げようと
すると製造コストが上昇し、パターンのズレを許容する
ように公差を大きくすると、ミラー外周部の非有効部分
が拡大して製品品質を低下させる。

（ｂ）工程［２において透明導電層に直接ホトレジスト
処理を施して洗浄するので、該透明導電層の清浄度維持
が容易でない。

（ｃ）工程１−３のマスクと、工程ｔ−ｓのホトレジス
ト用スクリーンパターンとの位置ズレを生じやすい。

といった不具合が有る。

また、従来方法■は次記の如く工程■−３〜工程１１−
３によって構成される。

（工程１１−＋）第７図に示した切欠２ａ、　２ｂが出
来るようにマスクを当てて、ガラス基板１の背面に透明
導電層２を形成する。これにより第７図に示した中間製
品が得られる。

（工程ＩＩ−ｚ）前記従来方法Ｉにおける工程！−３と
同様にして、第１ＥＣ層３．電解質層４．第２ＥＣ層５
を順次に成層して、第８図に示した中間製品を得る。

（工程ｎ−ｇ）帯状金属薄膜８の形状と、第２電極兼反
射層６の形状とを露出させるようにマスクを当て、Ａｇ
ｅまたはＡｌの薄層を形成する。この操作には蒸着、ス
パッタ、イオンプレートなどの公知技術を任意に選定し
て適用することが出来る。

これにより第９図に示した中間製品が得られる。

上記の従来技術■によれば、 （ａ）工程■−１と、工程ｌＮ−２と、工程１１−ｓと
、３回にわたって蒸着マスクを用いるのでパターンのズ
レを生じ易い。

上記パターンのズレを防止するように加工精度を上げよ
うとすると製造コストが増加する。一方、該パターンの
ズレを許容するように公差を大きくすると、ミラー外周
部の非有効部が拡大して製品品質を低下させる。

（ｂ）上記の如く３回にわたって蒸着マスクを取り替え
使用しなければならないので、所要工数が大きくなって
生産性が良くない。

（ｃ）同様の理由により、−貫自動ラインによって加工
することが容易でない、連続式蒸着（インライン方式）
を用いることは不可能ではないが、真空槽内でのマスク
交換手段が複雑、高価となる上に、メンティナンスが容
易でない。

本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので。

（イ）パターンのズレを生じる虞れが少なく、容易に高
精度の製品が得られ、 （ロ）真空槽内におけるパターン交換の必要が無く、従
って連続式蒸着（インライン方式）の適用に好適であり
、 （ハ）加工用機器のメンティナンスの容易な、先願゛に
係るＥＣ防眩ミラー（電圧降下による着色むらの無い防
眩ミラー）の製造方法を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため、本発明の製造方法は、前記
先願に係るＥＣ防眩ミラーを製造する際。

（ｉ）ガラス基板の背面のほぼ全面に透明導電層を形成
する工程と、 （ｉ）上記透明導電層の上に、その周囲近傍を除く全面
に、第１ＥＣ層、電解質層、第２ＥＣ層を成層する工程
と、 （ｉ）前記の透明導電層及び第２ＥＣ層の露出面を覆っ
て金属膜を形成する工程と、 （ｉｒ）上記の金属膜にホトレジスト処理を施した後、
薬品処理によって該金属膜の不要部分と透明導電膜の不
要部分とを除去し、残存金属膜によって帯状金属薄膜と
、第２電極兼反射層を形成する工程とを設けたものであ
る。

［作用］ 上記の方法によれば、真空槽内でパターンを用いるのは
前記（ｉｉ）項の成層工程のみであり、真空槽内での一
貫自動操作を行うのに適している。また、（ｉｆ）項の
成層工程で用いる蒸着マスクは単純なパターンなのでメ
ンティナンスが容易である。

［実施例］ 第１図乃至第４図は本発明方法の１実施例を示す工程図
であり、最終工程後の中間製品を示す第４図は前記従来
方法における最終工程後の中間製品（第９図）と略々同
様の構成である。

（ｉ）第１図に示すごとく、ガラス基板１の背面の略々
全面に、透明導電層２を設ける。

本実施例においては、ガラス基板１の周囲の約１ｍ幅の
部分を除いて透明導電層２を設けた。ガラス基板１の周
囲のエツジ部は使用中に損耗を受は易いからである。

本実施例においては、後述の如く高精度のパターン構成
が出来るので、素材であるガラス基板１の周囲に研摩処
理を施し、その輪郭形状を高精度に仕上げである。

（ｉ）第２図に示すごとく、透明導電層２の周囲、数閣
幅の環状部分２ａを除いて、（蒸着マスクを用いて）第
１ＥＣ層３．電解質層４．第２ＥＣ層５を成層する。こ
の（ｉｉ）項の工程は、従来方法Ｉにおける工程ｔ−ｓ
や従来方法■における工程Ｉｆ−２と同様乃至は類似の
操作である。

即ち、外周部にマスクを当て、蒸着、スパッタ。

イオンプレート、ＣＶＤなど公知技術の中から任意に選
定して用いることが出来る。

（ｉ）第３図に示すように、透明導電層２の全面に相当
する区域に金属膜１２を被覆する。これにより。

透明導電層２の露出部分と第２ＥＣ層５の露出部分とが
金属膜１２で覆われる。この（迅）項の工程は、従来方
法Ｉにおける工程Ｉ−，と同様乃至は類似の操作である
。

（り上記の金属膜１２に、ホトレジスト処理及び薬品処
理を施して不要部分を除去して、第４図に示す１対の帯
状金属薄膜８、及び、第２電極兼反射層６を残す、この
（ｔｖ）の工程は、従来方法Ｉにおける工程Ｉ−５と類
似の操作であるが、本実施例においては、本（神）工程
において透明導電層２の切欠２ａ、、２ｂが形成される
。

このように１本実施例は（ｉ）〜（ｉｖ）の各工程中に
おいて、蒸着マスクを用いるのは（ｉ）の工程だけであ
り、しかもこの蒸着形状が単純であるため高精度を得や
すい。また、ホトレジストを用いるのは（ｔｖ）の工程
だけであるので、全体として工程が簡単で操作が容易で
あり、かつ、蒸着パターンの使用が１回であるからパタ
ーン同志の間のズレを生じない、また１本例を一貫自動
生産設備によって行う場合に蒸着マスクの変更操作を必
要としないので、所要設備が簡単で、設備コストや稼働
コストが安く、生産性が良い。

［発明の効果コ 以上説明したように、先願の発明に係るＥＣ防眩ミラー
（電圧降下を防止して着色むらを無くするための帯状金
属薄膜を透明導電層の周囲に設けたＥＣ防眩ミラー）の
製造に本発明を適用すると。

（イ）パターンのズレを生じる虞れが、少なく、容易に
高精度の製品が得られ。

（ロ）真空槽内におけるパターン交換の必要が無く。

従って連続式蒸着（インライン方式）の適用に好適であ
り。

（ハ）加工用機器のメンティナンスが容易であるという
優れた実用的効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明方法の説明図である。 第５図はＥＣ防眩ミラーの説明図である。 第６図は先願のＥＣ防眩ミラーの説明図である。 第７図乃至第９図は、上記先願に係る防眩ミラーを、従
来技術を適用して製造する場合を示した説明図である。 特許出願人　　市光工業株式会社 代理人　弁理士　　秋　本　正　実（外１名）第１図 （多りＥＣＭ）３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ガラス基板上に設けた第１電極としての透明導電層と、
   電気化学的酸化還元反応に伴って色調を変える第１ＥＣ
   層と、電解質層と、電気化学的還元酸化反応によって色
   調を変える第２ＥＣ層と、第２電極としての導電層及び
   化学的反射面とを順次に成層した自動車用のＥＣ式防眩
   ミラーであって、ほぼ方形のガラス基板の２組の対角の
   それぞれの組にそれぞれ第１電極のリード線引出部、及
   び、第２電極のリード線引出部を配設し、 前記第１電極の周囲の内、第２電極リード線引出部近傍
   を除く部分に帯状の金属薄膜を設け、前記第２電極は、
   これを第２ＥＣ層の上に施した金属被膜によって構成す
   るとともに、該金属被膜は反射層を兼ねたものとした自
   動車用ＥＣ防眩ミラーを製造する方法において、 （ｉ）ガラス基板の背面のほぼ全面に透明導電層を形成
   する工程と、 （ｉｉ）上記透明導電層の上に、その周囲近傍を除く全
   面に、第１ＥＣ層、電解質層、第２ＥＣ層を成層する工
   程と、 （ｉｉｉ）前記の透明導電層及び第２ＥＣ層の露出面を
   覆って金属膜を形成する工程と、（ｉｖ）上記の金属膜
   にホトレジスト処理を施した後、薬品処理によって該金
   属膜の不要部分と透明導電膜の不要部分とを除去し、残
   存金属膜によって帯状金属薄膜と、第２電極兼反射層を
   形成する工程と、を設けたことを特徴とする自動車用Ｅ
   Ｃ防眩ミラーの製造方法。