JPS63224275A - 圧電たわみ素子 - Google Patents
圧電たわみ素子Info
- Publication number
- JPS63224275A JPS63224275A JP62056654A JP5665487A JPS63224275A JP S63224275 A JPS63224275 A JP S63224275A JP 62056654 A JP62056654 A JP 62056654A JP 5665487 A JP5665487 A JP 5665487A JP S63224275 A JPS63224275 A JP S63224275A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- deflection element
- substrate
- plate
- metal substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 9
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Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電板への電圧印加による該圧電板の伸縮を利
用した圧電たわみ素子に関する。
用した圧電たわみ素子に関する。
〔従来の技術］
従来、圧電板に電圧を印加することにより該圧電板を伸
長もしくは収縮させ、この圧電板の運動を駆動源゛とし
て利用する圧電たわみ素子が知られている。
長もしくは収縮させ、この圧電板の運動を駆動源゛とし
て利用する圧電たわみ素子が知られている。
従来の圧電たわみ素子は駆動電源側と電気的接続をとる
ためにバネ性の金属製シム材を圧電板の長さより幾分長
くするが、反対側においてはシム材と圧電板とは同じ長
さであって、特別にシム材を延長して用いることはなか
った。
ためにバネ性の金属製シム材を圧電板の長さより幾分長
くするが、反対側においてはシム材と圧電板とは同じ長
さであって、特別にシム材を延長して用いることはなか
った。
圧電たわみ素子の用途によっては、圧電たわみ素子の先
端部分に磁気ヘッドや光学ミラー、光遮断用板、偏光板
、フィルター等を付設する必要がある。
端部分に磁気ヘッドや光学ミラー、光遮断用板、偏光板
、フィルター等を付設する必要がある。
この様な目的に対しては、従来、圧電たわみ素子の先端
部分に接続治具をかませてハンダ付けや接着剤で固定し
ておき、接続治具に該磁気ヘッドや光学ミラー、光遮断
用板、偏光板、フィルター等を固定した軸を接続してい
た。
部分に接続治具をかませてハンダ付けや接着剤で固定し
ておき、接続治具に該磁気ヘッドや光学ミラー、光遮断
用板、偏光板、フィルター等を固定した軸を接続してい
た。
しかして、以上の様な従来のバイモルフ型の圧電たわみ
素子に接続治具を介して磁気ヘッド等を接続するのは重
量の増加、固定時の煩雑さ、固定部のゆるみ等の問題が
おこり、必ずしも小型で信頼性の高いものではなかった
。
素子に接続治具を介して磁気ヘッド等を接続するのは重
量の増加、固定時の煩雑さ、固定部のゆるみ等の問題が
おこり、必ずしも小型で信頼性の高いものではなかった
。
本発明者らは以上の如き従来技術の問題点を解決するた
めに鋭意研究を行った結果、本発明に到った。
めに鋭意研究を行った結果、本発明に到った。
本発明は、圧電板をバネ性を有する基板の両面又は片面
に貼付けてなる圧電たわみ素子において、バネ性を有す
る基板を圧電板の長さより長くしたことを特徴とする圧
電たわみ素子に関するものである。
に貼付けてなる圧電たわみ素子において、バネ性を有す
る基板を圧電板の長さより長くしたことを特徴とする圧
電たわみ素子に関するものである。
本発明によれば、バネ性を有する金属基板（シム材）を
圧電板の長さより長くし、延長した該金属基板の形状を
加工することによって、延長部分の基板を振動板として
利用するのみならず、磁気ヘッド、ミラー、フィルター
等の固定枠部分をプレス加工やエツチング加工で金属基
板の延長上に一体化して作成することができる。
圧電板の長さより長くし、延長した該金属基板の形状を
加工することによって、延長部分の基板を振動板として
利用するのみならず、磁気ヘッド、ミラー、フィルター
等の固定枠部分をプレス加工やエツチング加工で金属基
板の延長上に一体化して作成することができる。
又、光遮断用板等は延長した基板の先端部分の形状を所
定の形に処理しておき、折り曲げやねじり変形によって
形成することができる。
定の形に処理しておき、折り曲げやねじり変形によって
形成することができる。
これらはすべてシム材の延長部分を加工した一体物であ
るから、極めて軽量で、接合部分の振動疲労等の無い、
極めて信頼性の高い圧電たわみ素子を得ることができる
。
るから、極めて軽量で、接合部分の振動疲労等の無い、
極めて信頼性の高い圧電たわみ素子を得ることができる
。
以下図面を参照しながら本発明の具体的な実施例を説明
する。
する。
実施例１
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明によるバイモル
フ型の圧電たわみ素子であり、光学ミラー付、偏光板付
、フィルター付等のバイモルフ振動子を示す一実施例で
ある。
フ型の圧電たわみ素子であり、光学ミラー付、偏光板付
、フィルター付等のバイモルフ振動子を示す一実施例で
ある。
圧電たわみ素子１は固定部材２によって固定しである。
バネ性を有する金属基板はあらかじめプレス加工やエツ
チング加工によって窓の空いたシム材３を作成する。窓
の部位４は光学部品６を固定するため、引っ掛は部５を
プレス加工で絞り加工や折り曲げ加工で作成する。更に
固定リング７で光学部品６を図には示していないがエポ
キシ系接着剤で固定する。
チング加工によって窓の空いたシム材３を作成する。窓
の部位４は光学部品６を固定するため、引っ掛は部５を
プレス加工で絞り加工や折り曲げ加工で作成する。更に
固定リング７で光学部品６を図には示していないがエポ
キシ系接着剤で固定する。
引っ掛は部５は省略しても構わないが、この場合は光学
部品６を囲む固定リング８でシム材に接合すればよい。
部品６を囲む固定リング８でシム材に接合すればよい。
接合方法は接着剤やロウ材を用いればよい。
第１図（ａ）においてシム材は延長途中で所定の角度だ
けねじっておく。使用する目的によって光軸に対する角
度が適宜選定される。
けねじっておく。使用する目的によって光軸に対する角
度が適宜選定される。
実施例２
第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はシム材の形状例を示す
。
。
（ａ）はシム材を圧電板と同じ幅で延長し、先端部分を
丸形の遮光シャッターとしたものを９０°ひねっである
。
丸形の遮光シャッターとしたものを９０°ひねっである
。
（ｂ）はシム材をテーパー状にし、振幅を増大させた例
である。先端部分に光学部品接着用の枠と、光通過用の
穴をあけである。
である。先端部分に光学部品接着用の枠と、光通過用の
穴をあけである。
（Ｃ）はシム材の先端部分にジム材の長さ方向と直角に
スリットを入れておき、９０°折り曲げる事によって光
軸に対して直角な面を作る。直角の面に複数の光学部品
をのせることも可能である。
スリットを入れておき、９０°折り曲げる事によって光
軸に対して直角な面を作る。直角の面に複数の光学部品
をのせることも可能である。
実施例３
第３図はシム材の先端部分を折り曲げ加工して、磁気へ
ンド１１の受は台とした例である。
ンド１１の受は台とした例である。
図には示していないが、シム材の先端部分を凹状に絞り
加工して、磁気ヘッド１１を蕗とし込むようにしてもよ
い。
加工して、磁気ヘッド１１を蕗とし込むようにしてもよ
い。
本発明の圧電たわみ素子によれば、圧電たわみ素子のシ
ム材延長部を振動板として利用し、かつ、磁気ヘッドや
光学機能部品を容易にかつ、信頼度高く付設できる。
ム材延長部を振動板として利用し、かつ、磁気ヘッドや
光学機能部品を容易にかつ、信頼度高く付設できる。
第１図（ａ）、（ｂ）及び（Ｃ）は本発明の圧電たわみ
素子であり、（ａ）は断面図、（ｂ）はシム材の先端の
光学部品の固定枠部のＡ−Ａ断面図である。（ｃ）は同
じＡ−Ａ断面の固定枠部で、固定リングで固定する図で
ある。 第２図（ａ）、（ｂ）及び（Ｃ）は本発明のシム材の形
状を示す図である。 第３図は本発明のシム材３を折り曲げ加工して磁気ヘッ
ド１１の受は台を兼ねた構造を示す断面図である。 １ ： 圧電たわみ素子 ２ ： 固定部材 ３ ： バネ性を有する金属基板（シム材）４ ：
固定枠部 ５ ： 引っ掛は部 ６ ： 光学部品 ７．８： 固定リング ９ ： シム材のひねり曲げ部分 １０ ： 圧電板 １１ ： 磁気ヘッド 特許出願人 宇部興産株式会社 第 ／ 図 第一２図 （ａ） （ｂ） （Ｃ） 第３図
素子であり、（ａ）は断面図、（ｂ）はシム材の先端の
光学部品の固定枠部のＡ−Ａ断面図である。（ｃ）は同
じＡ−Ａ断面の固定枠部で、固定リングで固定する図で
ある。 第２図（ａ）、（ｂ）及び（Ｃ）は本発明のシム材の形
状を示す図である。 第３図は本発明のシム材３を折り曲げ加工して磁気ヘッ
ド１１の受は台を兼ねた構造を示す断面図である。 １ ： 圧電たわみ素子 ２ ： 固定部材 ３ ： バネ性を有する金属基板（シム材）４ ：
固定枠部 ５ ： 引っ掛は部 ６ ： 光学部品 ７．８： 固定リング ９ ： シム材のひねり曲げ部分 １０ ： 圧電板 １１ ： 磁気ヘッド 特許出願人 宇部興産株式会社 第 ／ 図 第一２図 （ａ） （ｂ） （Ｃ） 第３図
Claims (1)
- 圧電板をバネ性を有する基板の両面又は片面に貼付け
てなる圧電たわみ素子において、バネ性を有する基板を
圧電板の長さより長くしたことを特徴とする圧電たわみ
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62056654A JPS63224275A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 圧電たわみ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62056654A JPS63224275A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 圧電たわみ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63224275A true JPS63224275A (ja) | 1988-09-19 |
Family
ID=13033358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62056654A Pending JPS63224275A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 圧電たわみ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63224275A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271701A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Yamaha Corp | スキー靴用フィッティング材 |
| JPH02251807A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光反射装置 |
| WO1999013518A1 (en) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostriction device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192284A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-09 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 圧電バイモルフ素子 |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP62056654A patent/JPS63224275A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192284A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-09 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 圧電バイモルフ素子 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271701A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Yamaha Corp | スキー靴用フィッティング材 |
| JPH0560722B2 (ja) * | 1988-09-07 | 1993-09-02 | Yamaha Corp | |
| JPH02251807A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光反射装置 |
| WO1999013518A1 (en) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostriction device |
| US6239534B1 (en) | 1997-09-08 | 2001-05-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device |
| US6465934B1 (en) | 1997-09-08 | 2002-10-15 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device |
| US6724127B2 (en) * | 1997-09-08 | 2004-04-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device |
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