JPS63192284A - 圧電バイモルフ素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、圧電バイモルフ素子に関し、特に物体搬送装
置の駆動力たる振動の発生源として機能する圧電バイモ
ルフ素子に関するものである。

［従来の技術］ 従来この種の圧電バイモルフ素子としては、振動板の一
面もしくは両面に対して圧電セラミック素子が接合され
たものが提案されていた。

［解決すべきＩＦ１題点］ しかしなから従来の圧電バイモルフ十ｆては、圧電セラ
ミック素子の肉厚ｔと振動板の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔか０
．４よりも大きくなっており、しかも振動板が振動板と
して有効に機能するためにその肉厚Ｔに下限値があった
ので、圧′、しセラミック素子の肉厚ｔをあまり小さく
できず、結果的に振動の振幅を大きくできない欠点があ
って、被搬送物の屯１よの変化に伴なってその搬送速度
が変動し、しかも駆動電圧が小さければ搬送速度が低下
してしまっていた。この欠点を解決するためには、駆動
電圧を大きくすればよいが、これでは圧電セラミック素
子の分極が消失されるおそれかあって好ましくなかった
。

そこで本発明は、これらの欠点を除去するために、駆動
電圧を大きくしなくても振動の振幅を大きくでき、かつ
搬送速度を所定値以１−に維持できる圧電バイモルフ素
子を提供せんとするものである。

（２）　３１１１の構成 ［産業上の利用分野］ 本発明により提供される解決手段は、「振動板の表面に
対して２つの圧電セラミック素子か接合されており、前
記振動板の−・端部が物体搬送装置の搬送手段に連結さ
れてなる圧電バイセルフ素子において、前記圧電セラミ
ック素子の肉厚と前記振動板の肉厚との比か０．０７〜
０．４でなることを特徴とする圧電バイモルフ素子」で
ある。

［作用］ 未発Ｉ」にかかる圧電バイモルフ素子は、振動板の表面
に対して２つの圧電セラミック素子か接合されており、
前記振動板の一端部か物体搬送装置の搬送手段に連結さ
れてなる圧電バイモルフ素子てあって、前記圧電セラミ
ック素子の肉厚と前記振動板の肉厚との比が０．０７〜
０．４とされており、駆動電圧の実効値を比較的抑制し
ても被搬送物の搬送速度を高く維持する作用をなし、併
せて被搬送物の取量か変化しても被搬送物の搬送速度を
ほぼ一定に維持する作用をなす。

［実施例］ 次に本発明いついて添付図面を参照しつつ几体的に説明
する。

第１図は、本発明の圧電バイモルフ素子の一実施例を示
す平面図である。第２図は、同正面図である。

第３図は、第１図実施例の一使用状態を示す説明図であ
る。

第４図および第５図は、それぞれ第１図実施例の動作を
説明するための説明図である。

まず本発明の圧電パイセルフ素子の構成について詳述す
る。

四は本発明の圧電バイモルフ素子で、黄銅、リン銅、ス
テンレスあるいはＳＵＰなどの導電性の金属薄板て形成
されており圧電バイモルフ素子すの機械的強度を向上す
るに上のの機械的強度もった振動板＋１と、振動板１１
の中央部両面に対しそれぞれ有機系接着剤などの適宜の
接着剤で接合された圧電セラミック素子１２．１３とを
包有している。

圧電セラミック素子１２の両面には、それぞれ銀などの
金属を焼付けあるいは蒸着することによって電極１２ａ
、＋２ｂが形成されている。同様に圧電セラミック素子
１３の両面にも、それぞれ銀などの金属を焼付けあるい
は蒸着することによって電極１１ａ、１３ｂか形成され
ている。換言すれば圧電セラミック素子１２は電極１２
ｂを介して振動板１１の中央部・面に対し通電可渣に接
合されており、また圧１Ｅセラミック素子１３は電極＋
３ｂを介して振動板１１の中央部他面に対し通電可能に
接合されている。

１４はリード線で、振動板１１に対して接合されていな
い電極１２ａ、１３ａに対して接合されており、外部の
適宜の電源（図示せず）に接続され電極１２ａ　。

１３ａに対して同一極性の駆動電圧を印加する。

１５ａ〜＋５ｄはそれぞれ取付用孔で、振動板１１の両
端部に穿設されている。

次いで本発明の圧電バイモルフ素子を搭載した物体搬送
装置の構成について詳述する。

刈は本発明の物体搬送装置て、圧電バイモルフ素子すか
適宜の数だけ搭載されている。圧電バイモルフ素子用が
複ｌ￥ＨＳａされるときには、その間の間隔を適宜に選
択する必要かある。以ド説明の都合り、第１．第２の２
つの圧電バイモルフ素子■、■°が１０ｃｍの間隔で搭
載されているものとする（説明の理解を容易とするため
に第２の圧電バイモルフ素７−１ｎ’およびその部材に
は第１の圧電バイモルフ素７−１ｎと同一の参照番号を
付しかつその参照番号に対して第１の圧電バイモルフ−
ＲｐｌＯと区別するためには「°」を付す）。

２１は導電性の基板で、−面に対し適宜の間隔（たとえ
ばｌ０ｃ−の間隔）で適宜の数すなわち圧電バイモルフ
素子皿の搭ａ数と同数（ここでは２つ）の取付部２２，
２２°が形成されている。取付部２２．２２’は、それ
ぞれ同側（第３図では左側）が同一・の傾斜角度を有す
る傾斜面２２ａ、２２’ａとされている。傾斜面２２ａ
には、第１の圧電バイモルフ素子用の振動板１１の一端
部かネジ２３によって固着されている、すなわち傾斜面
２２ａには、第１の圧電バイモルフ素子艮に含まれる振
動板１１の取付用孔１５ａ、＋５ｂにそれぞれ挿通され
たネジ２３が螺着されることによって、その振動板ｌｌ
の一端部が固着されている。また傾斜面２２“ａには、
第２の圧電バイモルフ素Ｌす°の振動板＋１’の一端部
が他のネジ２３°によって固着されている。すなわち傾
斜面２２°ａには、第２の圧電バイモルフ素子廷°に含
まれる振動板１１′の取付用孔１５ａ’　、　ＩＳｂ’
にそれぞれ挿通された他のネジ２丁が螺着されることに
よって、その振動板１１’の一端部か固着されている。

３１は被搬送物体（図示せず）に−・面が当接可使とさ
れた搬送゛「段すなわち搬送用トラフで、他面すなわち
前記基板２１の一面に対向する面に対し基板２Ｉの取付
部２２．２２’と同一の間隔で取付部３２．３２’か形
成されている。取付部３２，３２°は、それぞれ同１（
第３図では右側）が同一・の傾斜角度を有する傾斜面３
２ａ、３２°ａとされている。傾斜面３２ａには。

第１の変位拡大ハネ３３の一端部がネジ３４によって固
着されている。同様に傾斜面３２°ａには、：５２の変
位拡大バネ３３°の一端部がネジ３４゛にょって固着さ
れている。

第１の変位拡大ハネ３３の他端部は、第１の圧電バイモ
ルフ素子艮の振動板１１の他端部に対してネジ３５によ
って固着されている。すなわち第１の変位拡大バネコ３
の他端部には、第１の圧電バイモルフ；ｉ　７−１０に
含まれる振動板１１の取付孔１５ｃ、＋５ｄにそれぞれ
挿通されたネジ３５か螺着されることによって、その振
動板１１の他端部が固着されている。第２の変位拡大バ
ネ３丁の他端部は、第２の圧電バイモルフ素子す゛に含
まれる振動板１１’の他端部に対してネジ３５°によっ
て固着されている。すなわち：ｆＳ２の変位拡大バネコ
コ°の他端部には、第２の圧電バイモルフ素子す′に含
まれる振動板１１’の取付孔１５ｃ’　、　＋５６’に
それぞれ挿通されたネジ３５°が螺着されることによっ
て、その振動板Ｉｔ’の他端部が固着されている。

、第１の圧電バイモルフ素子すのリート線１４は、第２
の圧電バイモルフ素子ＩＯの電極１２ａ’　、　１：ｌ
ａ”に接合されている。したがって第１の圧電バイモル
フ素子刊の電極１２ａ、１：ｌａには、第２の圧電バイ
モルフ素子のリード線１４′を介してその電極１２ａ’
。

１３ａ°に午えられている駆動電圧と同一の駆動電圧か
印加される。

４１はリード線で、基板２１に一端が接合されており、
他端が外部の適宜の電源（図示せず）に接合されている
。

加えて本発明の圧電バイモルフ素子を搭載した物体搬送
装この作用について詳述する。

リード線１４°と他のリード線４１との間に適宜の交流
電圧を駆動電圧として印加する。これにより第１の圧電
バイモルフ素子圧にあっては、振動板１１の両面で互い
に反対方向のＲ，場が発生されており、圧電セラミック
素子１２．１３が同一方向に分極されているので、圧電
セラミック素子１２，１３が振動板１１を交互に反対方
向に湾曲するように伸縮する。また同様に第２の圧電バ
イモルフ素子」°にあっても、振動板１１’の両面で互
いに反対方向の電場か発生されており、圧電セラミック
素子１２°。

＋３’が同一方向に分極されているのて、圧電セラミッ
ク素７−１２’、Ｉ：Ｉ°が振動板＋１’を交互に反対
方向に湾曲するように伸縮する。

第１の圧電バイモルフ素ｆ−リめ振動は、振動板１１の
一端部が基板２１に固着されているのて、振動板１１の
他端部から第１の変位拡大ハネ３３を介して搬送ｒ段す
なわち搬送用トラフ３１へ伝達される。

同様に第２の圧電バイモルフ素子■°の振動は、振動板
ｌｌ°の一端部が基板２Ｉに固着されるので、振動板■
°の他端部から第２の変位拡大バネ３３′を介して搬送
用トラフ３１へ伝達される。

このときリード線＋４’、４１間に印加される交流電圧
の周波数を適宜に調節することによって、第３図に実線
および破線て示すように第１の圧電バイモルフ素子すお
よび第１の変位拡大バネ３３の複合体と第２の圧電バイ
モルフ素Ｔ−１０’および第２の変位拡大ハネ３３°の
複合体とに対して互いに共振振動を生ぜしめうる。

したがって搬送用トラフ３１には、その延長方向（第３
図ては矢印Ａ方向）の振動とそれに直交する方向（第３
図では矢印Ｂ方向）の振動とが印加されており、搬送手
段すなわち搬送用トラフ３１に載置された被搬送物体（
図示せず）をその延長方向（第３図ては矢印Ｃ方向）に
搬送する。

更に本発明の圧電バイモルフ素子を搭載した物体搬送袋
との作用を、具体的な数値を挙げて説明する。

以ドでは圧電セラミック素子＋２．＋２°、＋３．＋３
゜か、　Ｉ’ｂＴｉＯｆｆＰｂＺｒＯ：＋　　Ｐｂ（Ｙ
Ｎｂ）＋ｚ２０ｉ系である、かつその誘１［率か２００
０で結合係数Ｋｌｌか３５％の材料て形成されていた。

また振動板１１は、外形の幅か２４■Ｉて、外形の長さ
か６３ｍｍであった。加えて圧５ｔｉセラミック素子１
２．１２″、ｌコ、１丁は、外形の幅か２１嘗−で外形
の長さか３８１−てあった。

実施例１ 第３図の物体搬送装置赳において、第１．第２の圧電バ
イモルフ素ｆｌＯ，１０”の振動板１１．１１°の肉厚
Ｔか３．ＯＩとされかつ圧電セラミック素子１２、１２
’　、　１３．１３’の肉厚ｔが０．５鳳ｌとされてお
り、圧電セラミック素Ｐ１２．１２’　、　ｌ：ｌ　、
　ｌ：ｌｏの肉ＪＩＸｔと振動板ＩＩ、１１°の肉厚Ｔ
との比ｔ／Ｔか０．１７とされた。

このとき搬送手段すなわち搬送用トラフ３１の重ｆｆ１
Ｅを７００ｇトＬ／、カッ被搬送物体（１）　重ｒＪ、
　Ｗ　？：　５００　ｇ　トして、リード線１４°、４
１間に実効値Ｖ（ボルト）の交流電圧を駆動電圧として
印加したところ、被搬送物体の搬送速度Ｓ（ｍ／ｍ１ｎ
）が第４図の曲線Ａの如く変化した。

これに対し搬送用トラフ３１の重量を７００ｇに維持し
、かつリード線１４’、４１間に印加された交流電圧す
なわち駆動電圧の実効値■を１５０ボルトに維持して、
Ｗ（ｇ）の被搬送物体を搬送したところ、その搬送速度
Ｓ（ｍ／＊ｉｎ）が第５図の曲線ＡＬの如く変化した。

実施例２ 第３Ｕ４の物体搬送装置並において、第１．第２の圧電
バイモルフ素″ｆ−艮、　１０’の振動板１１．１１’
の肉厚Ｔか３．０ｍ＠とされかつ圧″ｉＩｔセラミ・ン
ク素子１２、１２’　、　＋３，１３°の肉厚ｔが１．
０龍とされており。

圧′市セラミック素子１２．＋２°、Ｉ：ｌ、１丁の肉
厚ｔと振動板Ｉｔ、１１’の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔか０．
３３とされた。

このとき搬送用トラフ３１の重量を７００ｇとし、かつ
被搬送物体のｒｆｉ量Ｗを５００ｇとして、リード線１
４°、旧聞に実効値Ｖ（ボルト）の交流電圧を駆動電圧
として印加したところ、被搬送物体の搬送速度Ｓ（ｍ／
ｗｉｎ）か第４図の曲線Ｂの如く変化した。

これに対し搬送用トラフ３１の重量を７００ｇに維持し
、かつリード線１４°、４１間に印加された交流電圧す
なわち駆動電圧の実効値Ｖを１５０ボルトに維持して、
　Ｗ（ｇ）の被搬送物体を搬送したところ、その搬送速
度Ｓ（ｍ／５ｉｎ）が第５図の曲線ＢＬの如く変化した
。

実施例３ 第３図の物体搬送装置観において、第１．第２の圧電バ
イモルフ素子Ｉｎ、Ｉｎ’の振動板１１．１１’の肉厚
Ｔが：１．Ｏｍｍとされかつ圧電セラミック素子１２．
１２’、ｌ：１，１３°の肉厚ｔが０．２１ｍ５とされ
ており、圧電セラミック素子１２．１２°、１３．＋３
°の肉厚ｔと振動板１１，１１’の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔ
が０．０７とされた。

このとき搬送用トラフ３１の重量を７００ｇとし、かつ
被搬送物体の重量Ｗを５００ｇとして、リード線１４°
、旧聞に実効値Ｖ（ボルト）の交流電圧を駆動電圧とし
て印加したところ、被搬送物体の搬送速度Ｓ（■／ｗｉ
ｎ）か第４図の曲線Ｃの如く変化した。

これに対し搬送用トラフ３１の重量を７００ｇに維持し
、かつリート線１４’　、１１１間に印加された交流電
圧すなわち駆動電圧の実効値Ｖを１５０ボルトに維持し
て、　Ｗ（ｇ）の被搬送物体を搬送したところ、その搬
送速度Ｓ（ｍ／５ｉｎ）が第５図の曲線ＣＬの如く変化
した。

実施例４ 第３図の物体搬送袋Ｗ１２０において、第１．第２の圧
電バイモルフ素子■、１（１’の振動板１１．１１°の
肉厚Ｔか３．０−閣とされかつ圧電セラミック素子＋２
．＋２°、１：ｌ、１：ｌｏの肉Ｓｔが１．２ｍ−とさ
れており、圧電セラミック素子１２．１２’、１３．１
３’の肉厚ｔと振動板ＩＩ、＋１’の肉厚Ｔとの比ｔ／
Ｔが０６４０とされた。

このとき搬送用トラフ３１の重量を７００ｇとし、かつ
被搬送物体の重量Ｗを５００ｇとして、リード線１４°
、４１間に実効値Ｖ（ボルト）の交流電圧を駆動電圧と
して印加したところ、被搬送物体の搬送速度Ｓ（ｍ／５
ｉｎ）が第４図の曲線りの如く変化した。

これに対し搬送用トラフ３１の重量を７００ｇに維持し
、かつリード線１４°、４１間に印加された交流電圧す
なわち駆動電圧の実効値Ｖを１５０ボルトに維持して、
Ｗ　（ｇ）の被搬送物体を搬送したところ、その搬送速
度Ｓ（■／■ｉｎ）が第５図の曲線ＤＬの如く変化した
。

比較例１ 第３図の物体搬送装置翻において、第１．第２の圧電バ
イモルフ素子艮、ｔｏ’の振動板１１．　ＩＩ’の肉厚
Ｔが３．０厘厘とされかつ圧電セラミック素子＋２．＋
２°、１３，１３°の肉厚ｔが０．１５園曹とされてお
り、圧電セラミック素１’１２，１２°、１コ、１３°
の肉厚ｔと振動板ＩＩ、１１’の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔが
０．０５とされた。

このとき搬送用トラフ３１の％Ｄを７００ｇとし、かつ
被搬送物体の屯ｅＷを５００ｇとして、リード線１４“
、旧聞に実効（１ｉ’ｉＶ（ボルト）の交流電圧を駆動
電圧として印加したところ、被搬送物体の搬送速度Ｓ（
■／■ｉｎ）が第４図の曲線Ｅの如く変化した。

これに対し搬送用トラフ３１の重量を７００ｇに維持し
、かつリート線１４°、４１間に印加された交流電圧す
なわち駆動電圧の実効値Ｖを１５０ボルトとして、Ｗ　
（ｇ）の被搬送物体を搬送したところ、その搬送速度Ｓ
（■／■ｉｎ）が第５図の曲線ＥＬの如く変化した。

比較例２ 第３図の物体搬送装置廷において、第１．第２の圧電バ
イモルフ素子厘９匹°の振動板１１．１１’の肉厚Ｔが
３．Ｏｌとされかつ圧電セラミック素子＋２，１２°、
１３．１３’の肉厚ｔ　２．口ｍ■とされており、圧電
セラミック素子＋２．　＋２°、１３，１丁の肉厚ｔと
振動板１１．＋１’の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔが０．６７と
された。

このとき搬送用トラフ３１の重量を７００ｇとし、かつ
被搬送物体の重量Ｗを５００ｇとして、ソート線Ｉｌ！
’　、４１間に実効値Ｖ（ボルト）の交流電圧を駆動電
圧として印加したところ、被搬送物体の搬送速＋ｆｓ　
ｓ　（ｍ／５ｉｎ）が第４図の曲線Ｆの如く変化した。

これに対し搬送用トラフ３１の重量を７００ｇに維持し
、かつリード線１４°、４１間に印加された交流電圧す
なわち駆動電圧の実効値Ｖを１５０ボルトとして、Ｗ（
ｇ）の被搬送物体を搬送したところ、その搬送速度Ｓ（
ｍ／５ｉｎ）が第５図の曲線ＦＬの如く変化した。

比較例３ 第３図の物体搬送装Ｗｌ並において、第１．第２の圧電
バイモルフ素子Ｉｎ、１０’の振動板１１．１１’の肉
厚Ｔが２．０霞■とされかつ圧電セラミック素子＋２．
＋２°、ｌコ、１丁の肉厚ｔ２．５量霞とされており、
圧′屯セラミック素子１２．１２’、Ｉ：１．１１’の
肉厚ｔと振動板ＩＩ、ＩＩ’の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔが０
．８３とされた。

このとき搬送用トラフ３１の重量を’ｊＱＯｇとし、か
つ被搬送物体の重量Ｗを５００ｇとして、リート線１４
’　、４１間に実効値Ｖ（ボルト）の交流電圧を駆動電
圧として印加したところ、被搬送物体の搬送速度Ｓ（會
／１ｎ）が第４図の曲ｉｉＧの如く変化した。

これに対し搬送用トラフ３１の上列を７００ｇに維持し
、かつリード線１４°、４１間に印加された交流電圧す
なわち駆動電圧の実効値Ｖを１５０ボルトとして、Ｗ（
ｇ）の被搬送物体を搬送したところ、その搬送速度Ｓ　
（ｍ／５ｉｎ）か第５図の曲線ＧＬの如く変化した。

第４図および第５図を参照しつつ上述した丈為例１〜４
および比較例１〜３を比較検討したところ、圧′１耽セ
ラミック素子＋２．＋２°、Ｉ：ｌ、１丁の肉厚ｔと振
動板ＩＩ、１１“の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔが０．０７〜０
．４であれば、好適であることが判明した。

すなわち圧電セラミック素子１２．１２”、１３．１３
’の肉厚ｔと振動板１１．１１’の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔ
の下限値か０．０７となれば振動板１１，１１’の肉厚
Ｔが振動板目、１１°としてａ　崗するためにあまり大
きくてきないことに伴なって圧電セラミック素子１２，
１２°。

＋３，１３°の肉厚ｔが小さくなり過ぎ、駆動電圧の実
効（ｔｉか小さくても“脱分極”すなわち使用中に分極
を消失してしまう欠点かあり、また圧電セラミック素子
を作成し難い欠点があるためである。

加えて圧電セラミック素子１２．１２’、ｌ：１，１３
°の肉厚ｔと振動板ＩＩ、１１’の肉厚Ｔとの比ｔ／Ｔ
の上限値が０．１となれば振動板１１，１１’の肉厚Ｔ
か振動板Ｉ＋、＋＋’として機能するためにあまり薄く
てきないことに伴なって圧電セラミック素子１２．１２
’　、１３゜１３′の肉厚ｔか大きくなり過ぎ、駆動電
圧の実効（／ｉを人きくしない限り圧電セラミック素子
が振幅の大きな振動を発生し難い欠点かあるためである
。

しかも圧電セラミック素子１２．１２’　、Ｉ：ｌ、ｌ
：ｌｏの肉厚ｔと振動板ＩＩ、ＩＩ’の肉厚Ｔとの比ｔ
／Ｔが０．０７〜０．４てあれば、駆動電圧の実効値Ｖ
を比較的に抑制しても被搬送物の搬送速度Ｓを５ｓ／ｓ
ｉｎ以上に維持でき、しかも被搬送物の重量Ｗが変化し
ても被搬送物の搬送速度Ｓを５ｓ／ｓｉｎ以上の一定値
にほぼ維持でき、好適である。

なお」−述においては振動板＋１の両面にそれぞれ圧電
セラミック素子１２と他の圧電セラミック素子１３とか
接合されているか、本発明はこれに限定されるものでは
なく、振動板の一面に２つの圧電セラミック素ｆを順次
接合してなる圧電バイモルフ素子−も包摂する。

（３）発明の効果 −に述より明らかなように本発明は、振動板の表面に対
して２つの圧電セラミック素子が接合されており、前記
振動板の一端部か物体搬送装置の搬送ｒ段に連結されて
なる圧電バイモルフ素子であって前記圧電セラミ・ンク
素子の肉厚と前記振動板の肉厚の比か０．０７〜０．４
とされてなるのて、（ｉ）駆動電圧の実効値を比較的に
抑制しても被搬送物の搬送速度およびその重量を高く維
持できる効果 を有し、併せて （ｉｉ）被搬送物の重量か変化しても被搬送物の搬送速
度をほぼ一定に維持できる効果を有し、結果的に （ｉｉｉ）物体搬送装置の搬送特性ならびにおの信頼性
を改みできる効果 を有する。

【図面の簡単な説明】

第１　ＦＭは本発明の一実施例を示す平面図、第２図は
第１図実施例の正面図、第３図は第１図実施例の−・使
用状態を説明する説明図、第４図および第５図は第１［
Ａ実施例の動作を説明する説ＩＪＩ図である。 ＋０，１０°・・・・・・・・・・・・・・・・圧電バ
イモルフ２も了−ＩＩ、ＩＩｏ・・・・・・・・・・・
・・・・・振動板＋２．＋２°、１３．ｌ：ｌｏ・・・
・・・・・圧電セラミック素子１２ａ、１２ａ’１２ｂ
、１２ｂ’１３ａ、ｌ：ｌａ’、１３ｂ、１：ｌｂ’・
・・・・・・・電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　振動板の表面に対して２つの圧電セラミック素子が接
   合されており、前記振動板の一端部が物体搬送装置の搬
   送手段に連結されてなる圧電バイモルフ素子において、
   前記圧電セラミック素子の肉厚と前記振動板の肉厚との
   比が０．０７〜０．４でなることを特徴とする圧電バイ
   モルフ素子。