JPS6321877B2

JPS6321877B2 -

Info

Publication number: JPS6321877B2
Application number: JP55109072A
Authority: JP
Inventors: Tokio Takahashi
Original assignee: Sokkisha Co Ltd
Current assignee: Sokkisha Co Ltd
Priority date: 1980-08-08
Filing date: 1980-08-08
Publication date: 1988-05-09
Also published as: JPS5734471A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は光波距離計に関するものである。

従来の技術従来から使用されてきた通常の光波距離計は一
種の位相測定であつた。従つて、その精度につい
て述べれば、位相測定の手段がいかになされてい
るかで精度が決まるのである。又、従来技術の光
波距離計に使われている最高変調周波数は約15M
Hzであり、その１波長（位相としては2πラジア
ン）は光の速度（ｃ＝３×10¹⁰cm）を周波数で除
したもの、即ちｃ／ｆ＝20mとなる。距離測定で
はλ／２を考えればよいのであるから10mとな
る。

現状の位相測定の技術では位相測定の分解能は
2π／1000〜2π／5000である。したがつて、10mm
〜２mmの分解能となる。これを１mm以下にするた
めにはどうしても変調周波数を１桁上げて、数
100MHz以上にする必要がある。しかし、100MHz
以上の変調周波数を使用した場合、高周波である
ため、位相測定にいろいろ工夫が必要となる。

こゝで従来の光波距離計の測定精度が１mm程度
の位相測定の分解能を有する光波距離計を上げて
説明する。

第２図は従来の位相測定の分解能が１mm精度の
光波距離計のブロツク図であり、その作動は次の
ようになつている。ここで用いられている変調周
波数は500MHz，500MHz−₁，500MHz−₂，
500MHz−₃，500MHz−₄の５つの周波数を用い
ているが、mmの桁に関係してくるのは500MHzの
みであるのでこの周波数のみについて説明する。
なお他の周波数に関する位相測定手段も同じであ
る。第２図において、光源即ちクセノンランプ１
０１から出た光は偏光フイルタ１０２と、光電変
調器１０４を通つて対物レンズ１２５から外に出
てゆく。光電変調器１０４は500MHzで強度変調
されている。光は反射鏡１０６で反射され、光波
距離計本体に戻つて来て、可変光路器１０７を通
り、光電復調器１０５を通り、偏光フイルタ１０
３を経て微弱光検出器であるホトマルチプライヤ
ー１０８に到達する。ホトマルチプライヤー１０
８は微弱光を検出し、位相検出及び増巾器１１８
に送る。１０９は変復部ユニツトである。

ここで光電変調器１０４と、光電復調器１０５
は機能上全く同じもので、いわゆる結晶体を用い
た光電変調器である。

位相測定に関するところは、光電変調器１０
４、光電復調器１０５、可変光路器１０７、ホト
マルチプライヤー１０８、位相検出及び増巾器１
１８である。

光電変調器１０４を通過した光は周波数＝
500MHzで強度変調されているから、その強度は
L_s＝Ａ×sim（2π）として表わされる。光電復調
器１０５に到達する光の強度は、 L_B＝Ｂ×sin（2π＋θ）となる。

こゝでL_sとL_Bの位相差θは光が変調器１０４
をでて、光電復調器１０５に到達した距離に関係
する。

その長さをＳとした場合θは θ＝2π×（Ｓ−ｎ×λ₀）／λ₀ ｎ＝Ｓ／λ₀の整数部分但しλ₀は変調信号の波長。

光電変調器１０４と光電復調器１０５は全く同
じ周波数で同時に同期して駆動されているので光
電復調器１０５を通過した光の位相差は、第３図
に示す如くであつて、θの部分だけの光となる。
ホトマルチプライヤー１０８はこの光を検出し、
増巾器１１８に送る。可変光路器１０７を手動に
て動かし、光路長を変化させるとθも変化するの
でθが零となるように調節する。つまりホトマル
チプライヤーの出力零になるように可変光路器１
０７を操作する。この時の可変光路器１０７の目
盛１０７ａが動いた距離はコンピユータ部１２４
に送られる。これによつて、はじめの位相差θ、
つまり距離が測定できる。は500MHzであるか
ら１波長は60cmになるので可変光路器１０７の光
路変化量は少くとも60cmは必要になる。このよう
な手段での位相分解能も2π／1000〜2π／5000で
あるから、距離にして、0.3mm〜0.06mmであり精
度もこの程度が限界である。

尚第２図において符号１１０は共振器１１１は
局部発振器（５個の発振器を有す）、１１２は周
波数制御ユニツト、１１３は周波数切換ツマミ、
１１４は周波数微調整ツマミ、１１５は同調指示
計、１１６は乾燥材、１１７は空気取入口、１１
９は光路長可変ハンドル、１２０は信号強度指示
計、１２１は位相指示計、１２２は距離計算部、
１２３は電源、１２４は電源分配部及びコンピユ
ータ部を夫々示すものである。

以上、従来の光波距離計の原理を説明したが、
上記従来の光波距離計には次の如き欠点がある。

上記従来の技術で、これ以上の高分解能、高精
度を得るためには1GHz以上の変調周波数が必要
となり、すべてを電気信号で処理するためには回
路系の内で扱う信号はすべて同期されている必要
があり、今までは周波数を1GHz以上で同期して
扱うのは困難であり、いろいろ試みたが、光電変
調器１０４が応答しないし、変調器駆動回路の形
成も極めて困難であつた。

又、この公知の光波距離計では可変光路器１０
７が必要であり、0.3mm〜0.06mmの位相分解能を
得るためには、可変光路器１０７の光路変化量
は、前述のごとく60cm以上となり、機器は大型
且、複雑とならざるを得ず、野外の測量には適し
ない。又電気光学式変調器１０４、電気光学式復
調器１０５は、高電圧が必要であり、駆動には相
当の電力が必要である。

更に又、この公知の光波距離計では、周波数
o＝500MHzでは、60cm以内の単位の距離しか測
定できないが、ｍ（メートル）単位例えば10m，
100m単位を測定する場合には４つの周波数を用
いて行い、これらの周波数の切換は手動で行なわ
れ、位相の測定も亦同じ手段で行なわれるため距
離計測をするには、数分乃至数十分を必要とする
欠点があつた。

発明が解決しようとする問題点本発明は低い周波数（15MHz程度）をｎ逓倍
（ｎは50以上の数）して変調周波数を得、かつ、
（ｎ＋１）逓倍乃至（ｎ−１）逓倍してミキサー
用のローカル信号を得ることにより、すべての周
波数関係が同期しており、かつミキサーによる混
合後の周波数関係が同期しており、ミキサーの処
理以後は通常の10mm精度の小型の光波距離計と同
様の処理で扱うことができるから、従来の１mm精
度の高波距離計のごとく、光の変調に電気光学式
変調器を用い、距離測定方式を光路の機械移動に
よる複雑な手段を用いた大型のものに比し、小型
で廉価な精密光波距離計を提供するとともに、そ
の精密度は距離測定において0.01mmまでの高分解
能を有する超精密な光波距離計を提供することを
目的とするものである。

発明の構成本発明の構成について説明する。本発明の超高
周波送受光部の構成は、光波距離計において、光
源４にレーザダイオード等の半導体光源素子を用
い、これに数百ＭHz以上の（好ましくは1000MHz
以上、すなわち1GHz以上の）高周波で強度変調
をし、その超高周波信号は、より周波数の低い入
力信号から少なくともｎ逓倍の周波数の超高周波
信号を得ることができるフエーズロツク発振器６
により得、一方、（ｎ＋ｌ）逓倍または（ｎ−ｌ）
逓倍の周波数の超高周波信号を得ることができる
他のフエーズロツク発振器７によつて、発せられ
る上記超高周波信号と、受光ダイオード１からの
出力である受光信号との混合をするためのローカ
ル信号を得（ここにｎは50以上の数、好ましくは
80以上の数であり、ｌは0.5ないし５の間の数、
好ましくは１である）、フエーズロツク発振器７
からミキサー３への入力周波数が変化してもこの
ミキサ３からの出力周波数は常時前記入力周波数
と等しくなるように構成した。

即ち第１図において、符号４は光源である連続
発信可能なレーザーダイオードを表わし、これは
変調回路５により高周波的に強度変調がかけられ
ている。この例では約1200MHzの変調周波数であ
るが、この周波数はレーザダイオードの特性に制
限される。

符号６はフエーズロツク発振器で、その出力周
波数は約1200MHzであつて、入力周波数（）は
約15MHzである。つまりこのフエーズロツク発振
器６はその入力周波数の80倍（理論的には何倍
でもよいが、実用上の立場からみて50倍以上が適
当であり、80倍またはそれ以上であることが一層
好ましい）の周波数で発振する。光源４即ちレー
ザダイオードの光は適当な望遠鏡を通して発射さ
れ、前方に置かれたコーナキユーブ等の反射鏡で
反射され受光側に返つてくる。この過程は、従来
の精度10mm程度の市販光波距離計の場合と同じで
ある。

受光ダイオード１は非常に応答速度の速い特性
を持つているのを使用し、反射光を電気信号に変
換する。この信号は、前記の80倍フエーズロツク
発振器６の入力周波数（）と同じ信号を81倍す
る別のフエーズロツク発振器７によつて得られた
超高周波信号と、第１ミキサ３により混合され
る。この第１ミキサ３の出力周波数はフエーズロ
ツク発振器６，７の入力周波数と同じになる。
したがつてこの場合には、入力周波数（）が低
いために後の電気的処理が通常の光波距離計の場
合とほとんど同じように実施でき、コストダウ
ン、小型化に大きく貢献する。

次に、本発明の発振部の構成について説明す
る。上記発振部は、前記構成を有する光波距離計
において、温度制御された非常に安定度の高い基
準発振器８を有し、また、その発振器８に同期し
た発振をする複数個の発振器９，１０，１１をも
有し、かつそれらの発振周波数は、ミキサ用のロ
ーカル信号と超高周波信号を得るためのフエーズ
ロツク発振器６，７への入力信号としても相互に
使用でき、（したがつて発振器の数を従来の場合
よりも一層少なくすることができ）、第２ミキサ
１６からの出力周波数がすべて等しくなるように
構成したことである。

即ち、フエーズロツク発振器６の出力である変
調周波数は、距離測定の精度を上げるために前記
の如くたとえば1200MHz程度の超高周波になる
が、1200MHzの場合には波長が約25cm、すなわち
距離にして「25cm／２＝12.5cm」となり、12.5cm
毎に位相が１回転し、１ｍや10ｍの桁は決定でき
ない。従来の距離計ではそのために150MHz等の
全く別の周波数を変調回路５に供給していたが、
レーザダイオード４を発光源とする場合には、周
波数の切換時のトランジエントによりレーザダイ
オード４が破損することがある。そのために本発
明では入力周波数（）のたとえば80ないし81逓
倍迄を利用することを考え、入力周波数をわず
かに変えることにより、直接レーザダイオード４
への大きなトランジエントを避けることができレ
ーザダイオード４を破損させることがない。

距離のメータ桁を決定する手段として直接メー
タ桁を測定することの他に、主周波数（本具体例
の場合1200MHz）にごく近い周波数で変調する手
段がある。この具体例では主周波数1200MHzとの
差が6MHz、1.2MHz、0.12MHzである周波数
1206MHz、1201.2MHz、1200.12MHz（合計４つ
の周波数）を使用する。即ち 1200MHzで波長12.5cm
0.125mm（〜0.025mm）〜最大12.5ｍ 6MHzで波長25ｍ 2.5cm〜最大25ｍ 1.2MHzで波長125ｍ 0.12ｍ〜最大125ｍ 0.12MHzで波長1250ｍ 1.25ｍ〜最大1250ｍ、まで計ることができる。

その結果上記周波数で最大1250ｍまでの距離を
0.1〜0.01mmの精度で決定できる。これらの周波
数を得るために、温度制御された精確な発振器８
で15MHzを発信させる。この発信周波数は基準周
波数₁である。他の発信周波数₂〜₄は、この₁
にフエーズロツクされた発振で、それぞれ発振器
９の周波数₂＝15.075MHz、発振器１０の周波数
₃＝15.060MHz、発振器１１の周波数₄＝
15.015MHzとなつている。発振器１２は独立の発
振器であつて、発信周波数₅＝15.0015MHzであ
り、発振器１３はこの₅にフエーズロツクされた
発振器で、発信周波数₆＝15.0165MHzとなつて
いる。

一般に公知光波距離計において４種類の周波数
を変調信号に選んだ場合、位相測定が可能な低周
波域までビートダウンするためには、この変調信
号に同期したローカル信号が８種類必要であり、
合計12種類の発振器が必要となる。しかし本発明
の前記実施例の場合は６種類でよいことになり、
コストの低下、装置の小型化に大きく寄与する。

まず変調信号とローカル信号は、入力信号を
80逓倍と81逓倍、すなわち１倍の差をもつたフエ
ーズロツク発振器６，７２個により発せられ、こ
れにより両信号は完全に同期され、しかも第１ミ
キサ３の出力信号の周波数は入力信号周波数と
同じになる。

次に第２ミキサ１６用のローカル信号は次のよ
うな組合せで作製する。

変調信号80×₁＝80×15MHzの場合…₄＝
15.015MHzをローカル信号に；変調信号80×₃＝80×15.075MHzの場合…₂＝
15.060MHzをローカル信号に；変調信号80×₄＝80×15.015MHzの場合…₁＝
15.000MHzをローカル信号に；変調信号80×₅＝80×15.0015MHzの場合…₆
＝15.0165MHzをローカル信号に。

以上のような組合せで使用することにより６種
類の発振周波数で足りる。この場合、第２ミキサ
１６の出力周波数はすべて15KHzとなり、以降の
電子回路の共通性が得られ、低価格、小型化に寄
与する。

以上要するに本発明の前記実施例の発信部は、
温度制御された非常に安定度の高い基準発振器８
を有し、かつ、この発信に同期しない発信をする
発振器１２をも有し、この発振信号を変調信号に
利用し、この発振器１２の周波数を、ゲート時間
が前記基準発振器８によつて制御されるカウンタ
２７で計数し、これによつて正確に周波数を測定
し、受光ダイオード１で受光した変調信号との位
相差に対し補正を加え、正確な距離測定値を得る
ように構成したことである。

第１図のブロツクダイアグラムにおいて６種類
の発振器８，９，１０，１１，１２，１３のう
ち、発振器１２の発信周波数₅は発振器８の基準
周波数₁に同期していない。また、その周波数安
定度も基準周波数₁の安定度に比較して低く設計
してある。しかしこの周波数を正確に測定するこ
とにより、“測定した位相”に補正を加え正確な
位相が得られる。

その手段としては、発振器１２の発振周波数₅
と発振器８の基準周波数₁とをミキサ２４で混合
し、その差の周波数をカウンタ２７でカウントし
て、発振器１２の発振周波数₅の正確な周波数を
測定する。カウンタ２７のゲート時間の精度は、
基準発振器８の基準周波数₁から作ることにより
基準周波数₁の精度と等しくなる。以上の手段に
よつて発振器１２の正確な発信周波数₅の値が測
定できるので、この値をCPU２８が読みこみ、
一方、測定した位相に対する補正値を計算する。
この結果、発信周波数₅の周波数が計算値と一致
していなくても正確な位相差（距離）が求められ
る。

位相測定部の構成はそれ自体公知の手段である
のでその説明を省略する。

次に、本発明の１実施例として示した、第１図
記載のブロツクダイアグラムを有する光波距離計
の操作方法について説明する。

基本的操作は次の通りである。市販光波距離計
の場合と同様に、前方に設置された反射鏡を正確
に視準し、本距離計の動作が正常に動くように反
射光の強度を調節した後に、測定スタート指令を
手動または自動で与える。

第１に、80×₁≒1200MHzの周波数で反射鏡迄
の光路（これを以後「外部光路」という）による
位相差（これをφ_1nとする）を測定する。

第２に、同じ80₁で、本距離計内部のあらかじ
め設置された光路（これを以後「内部光路」とい
う）による位相差φ_1cを測定する。以後同様にし
て、第３に80×₂の外部光路による位相差φ_2n、第４に80×₂の内部光路による位相差φ_2c、第５に80×₄の外部光路による位相差φ_4n、第６に80×₄の内部光路による位相差φ_4c、第７に80×₅の外部光路による位相差φ_5n、第８に80×₅の内部光路による位相差φ_5c、をそれぞれ測定し、CPU２８がそれぞれを読み
こんで記憶しておく。周波数の選択は、あらかじ
めCPU２８にプログラムされた順序に行われる。
第１図において符号１４は変調のための周波数選
択回路を表わし、符号１５はそれに応じた第２ロ
ーカル信号用周波数選択回路であつて、どの周波
数を選ぶかは、CPU２８からの指令で行われる。

次に各周波数の実質的な位相差、つまり「外部
光路位相差−内部光路位相差」を各変調周波数に
ついて次のように計算する。

₁について φ_1n−φ_1c＝φ₁ ₂ 〃 φ_2n−φ_2c＝φ₂ ₄ 〃 φ_4n−φ_4c＝φ₄ ₅ 〃 φ_5n−φ_5c＝φ₅ ただし上記のφはすべて１／2πで規格化されている。

この４つの位相差から次の計算によつて距離を
求めるが、本方法では始めに位相を周波数₁の波
長λ₁に規格化し、其後にλ₁を掛算して距離を求め
るのである。

最小桁位相φ₁＝θ₁ 次桁位相（φ₂−φ₁）×k₂＝θ₂ 次桁位相（φ₄−φ₁）×k₄＝θ₄ 最大桁位相（φ₅−φ₁）×k₅＝θ₅ …(a) ここにｋは次式で示される値である k_o＝ｃ／λ₁（_o−₁） ……(b) ｃは定数であつて光速度を表わす。

各位相差における距離は最小桁距離l₁＝θ₁×λ₁ 次桁距離l₂＝θ₂×λ₁ 次桁距離l₄＝θ₄×λ₁ 最大桁距離l₅＝θ₅×λ₁ …(c) 上記(a)，(b)，(c)式より距離ｌ＝（l₁＋l₂＋l₄＋l₅
）
を表すと次の如くなる。

ｌ＝（θ₅＋θ₄＋θ₂＋θ₁）λ₁ ただし桁の境界附近の正確さを得るために、θ_o
は約２桁の重なりをさせて後のθ_o-1の数値とで判
断をし、正しい値を得る。

本発明の上記操作により本発明の前記実施例は
次の作用をおこなう。

符号８〜１３は発振器を表わすが、その周波数
は既に述べた。周波数選択回路１４，１５は、
CPU２８から指令により、出力の周波数として
今何を使用するかを選択し切換える。たとえば、
発振器８の発振、つまり15MHzを選択させると、
周波数選択回路１４の出力は15MHzとなり、これ
はクロツク発生器２１、バツフア２２、フエイズ
ロツク発振器６および７に供給される。このと
き、もう１つの周波数選択回路１５は第２ミキサ
用の信号として、発振器１１の発振つまり
15.015MHzを選択、出力する。フエーズロツク発
振器６の回路は80逓倍の回路であり、フエーズロ
ツク発振器７の回路は81逓倍の回路であるから、
フエーズロツク発振器６の出力F₁は、Ｆ＝80×15MHz＝1200MHz であり、これは変調回路５に供給され、レーザダ
イオード４の光は1200MHzの輝度変調光となつて
発射される。

受光ダイオード１は、コーナキユーブなどの反
射鏡から返つてきた1200MHzの変調光を受け電気
信号に変換する。この1200MHzの電気信号は高周
波増巾器２により増巾され、第１ミキサ３におい
て、フエーズロツク発振器７の出力（15MHz×81
＝1215MHz）と混合され、ミキサ出力15MHzを得
る。

前記の15MHzの信号は第２ミキサ１６におい
て、周波数選択回路１５の出力15.015MHzと混合
され、出力15KHzを得る。この15KHzの信号は低
周波増巾器１７で増巾され、波形整形器１８で矩
形波に波形整形され、ゲート１９を閉じる信号と
なる。

一方、バツフア２２の入力は15MHzそのもので
あつて、１／1000分周器２３に供給され、分周器
２３の出力は、波形整形器１８の出力と全く同じ
15KHzとなり、ゲート１９を開ける信号となる。
つまりゲート１９は分周器２３の15KHzで開けら
れ、波形整形器１８の出力15KHzで閉じられるこ
とになり、このゲート１９が開いている間、クロ
ツク発生器２１からのクロツク信号が通過し、カ
ウンタ２０で、何個のクロツクが通過したかをカ
ウントし、CPU２８に送られる。このゲート１
９の開いている時間は、分周器２３の出力と波形
整形器１８の出力との位相差であり、しかしてこ
の位相差は、レーザダイオード４から発射され反
射鏡で反射され受光したために生じたものであつ
て、これはつまりレーザダイオード４即ち発射点
と反射鏡即ち反射点との距離に関係しており、す
なわちこの位相差は距離情報を持つている。

今述べた例は15MHzのみに関するものであつた
が、これを他の３つの周波数で同様に実行させる
ため、周波数選択回路１４，１５で次々に切換え
ていく。

発振器１２の周波数は、15.0015MHz、発振器
１３の周波数は15.0165MHzでこれは基準発振器
８の15MHzに同期させることが困難であるため、
独立した発振器となつている。しかし独立した発
振器であるためその発振周波数の値を正確に知る
必要があるため、基準発振器８の出力15MHzとミ
キシングし、低周波に落した後にカウンタ２７に
よりカウントし、その値をCPU２８に送り、周
波数の変動があつた場合の補正値を得る。

最大1249.99999ｍの距離を測定し表示する光波
距離計としては、変調周波数が４種類必要であ
る。すなわち１つは0.01mm〜10cm桁を決定し、１
つは10cm〜１ｍ桁を決定し１つは１ｍ〜100ｍ桁
を決定し、１つは100ｍ〜1000ｍ桁を決定するた
めに必要である。これらをそれぞれP₁，P₂，P₃，
P₄とする。

本発明の実施例においてはP₁，P₂，P₃，P₄と
も1200MHz付近の周波数を採用しているので、処
理可能な低周波数まで落す必要があり、その場合
通常であればミキサ回路が２段は必要となり、し
たがつて、４つの変調周波数に対して第１ミキサ
４つ、第２ミキサ４つ、合計８つのローカル信号
が必要となり、合計12個の発振器が必要であるの
に対し、本発明の前記実施例では６個の発振器で
足りることは前述の通りである。

発明の効果従来の屋外測量用の光波距離計の精度は一般に
せいぜい10mm程度であり、１mm精度を持つ光波距
離計も開発されていたが、これは光の変調に電気
光学式変調器を用い、距離測定方式も光路の機械
的移動による複雑な方法であつて、装置も大型で
その製造費用も非常に大とならざるを得なかつた
のである。

これに対し本発明では前記の如く構成したの
で、今迄不可能とされていた複数の超高周波数を
１つの基準周波数に同期させて0.01mm程度の高分
解能を有する精密な光波距離計の開発に成功した
のである。しかも既述の説明から明らかなよう
に、本発明によれば、非常に精密であるにもかか
わらず小型でかつ低価格の光波距離計が提供さ
れ、当該技術分野に大きく貢献するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る光波距離計の１例のブ
ロツクダイアグラム、第２図は、従来の光波距離
計の一例の説明図、第３図は、θ（位相差）の値
を示すグラフ、第４図は、光波距離計の復調器を
通過した位相差θの部分だけの光を示す説明図で
ある。１……受光ダイオード、２……高周波増巾器、
３……第１ミキサ、４……レーザダイオード、５
……変調回路、６……フエーズロツク発振器、
（80倍用）、７……フエーズロツク発振器、（81倍
用）、８，９，１０，１１，１２および１３……
発振器、１４および１５……周波数選択回路、１
６……第２ミキサ、１７……低周波増巾器、１８
……波形整形器、１９……ゲート、２０……カウ
ンタ、２１……クロツク発生器、２２……バツフ
ア、２３……１／1000分周器、２４……ミキサ、
２５……増巾器、２６……波形整形器、２７……
カウンタ、２８……CPU、２９……表示器。

Claims

【特許請求の範囲】

１光波距離計から光波を発射して、反射プリズ
ムからの反射光を受光し、基準周波数との位相差
を測定して、距離を求める光波距離計において、
半導体光源素子を用いた光源４、数百ＭHz以上の
超光周波で強度変調させるための信号を前記光源
４に供給するための変調回路５、発信部からの周
波数（）の信号をｎ逓倍して前記変調回路に供
給するためのフエーズロツク発振器６、前記光源
４からの輝度変調光を受光して電気信号に変換す
るための受光ダイオード１、前記フエーズロツク
発振器６の入力信号の周波数（）と等しい入力
信号の（ｎ＋ｌ）または（ｎ−ｌ）逓倍の超高周
波信号を第１ミキサ３に供給するための他のフエ
ーズロツク発振器７、上記発振器７から発せられ
る超高周波信号と受光ダイオード１からの受光信
号とを混合する第１ミキサ３、および上記第１ミ
キサ３からの出力信号と発振部からのローカル信
号とを混合する第２ミキサ１６を具えた超高周波
送受光部と、温度制御され安定度が高い基準発振
器８、上記発振器８とフエーズロツクされて同期
する複数個の同期発振器及び前記基準発振器８と
同期しない独立の発振器とからなり、上記独立の
発振器から発せられる発信周波信号と前記基準発
振器から発せられる発信周波信号とを混合するミ
キサ２４、基準周波数と混合周波数との差をカウ
ントし、独立した発振器の周波数を正確に測定
し、その値をcpu２８に送るためのカウンター２
７、周波数選択回路１４，１５とからなる発振部
と、位相測定部を具えた光波距離計。