JPS63216969A - 加工方法 - Google Patents
加工方法Info
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- JPS63216969A JPS63216969A JP5108887A JP5108887A JPS63216969A JP S63216969 A JPS63216969 A JP S63216969A JP 5108887 A JP5108887 A JP 5108887A JP 5108887 A JP5108887 A JP 5108887A JP S63216969 A JPS63216969 A JP S63216969A
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 33
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 7
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 2
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000003245 working effect Effects 0.000 abstract 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- -1 Fe-Gd-Tb Chemical class 0.000 description 2
- 229910008814 WSi2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 2
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910033181 TiB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 210000004709 eyebrow Anatomy 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は主としてスパッタリング用のターゲット材の加
工等に有用な加工方法に関するものである０ 〔従来の技術〕 スパッタリングとは低圧気体中にターゲット材と呼ばれ
る金属、合金、金属間化合物等を置いて、該ターゲット
材を加熱またはイオン衝撃することＫよシ該ターゲット
材を構成する原子を該気体中に放出せしめ、同じく該気
体中に置いた物体面に該ターゲット材の皮膜を形成する
方法であシ、最近ではＬＳＩの製造、ハードコーティン
グ、装飾、その他広い分野にわたって適用されている。
工等に有用な加工方法に関するものである０ 〔従来の技術〕 スパッタリングとは低圧気体中にターゲット材と呼ばれ
る金属、合金、金属間化合物等を置いて、該ターゲット
材を加熱またはイオン衝撃することＫよシ該ターゲット
材を構成する原子を該気体中に放出せしめ、同じく該気
体中に置いた物体面に該ターゲット材の皮膜を形成する
方法であシ、最近ではＬＳＩの製造、ハードコーティン
グ、装飾、その他広い分野にわたって適用されている。
このようなスパッタリングに用いられるターゲット材は
一般に原材料を切削、研摩して所定のターゲット形状と
なし、これにバッキングプレートをろう付けすることに
よって作製される。
一般に原材料を切削、研摩して所定のターゲット形状と
なし、これにバッキングプレートをろう付けすることに
よって作製される。
しかしながら該ターゲット材としては高純度のＭｏ ｙ
Ｃｒ等の純金属、Ｆｅ −Ｇｄ−Ｔｂ等の合金、Ｍｏ
Ｓｉ２ 、 Ｗ３ｉ２等の金属間化合物等の常温で脆
性を示す材料が多く用いられ、上記ターゲット材を作製
する際に及ぼされる外力、特に引張シ応力によって割れ
を生ずる確率が非常に高い。
Ｃｒ等の純金属、Ｆｅ −Ｇｄ−Ｔｂ等の合金、Ｍｏ
Ｓｉ２ 、 Ｗ３ｉ２等の金属間化合物等の常温で脆
性を示す材料が多く用いられ、上記ターゲット材を作製
する際に及ぼされる外力、特に引張シ応力によって割れ
を生ずる確率が非常に高い。
本発明は上記問題点を解決するための手段として、被加
工材料（１）の外周に圧締層（２）を嵌着し、該圧締層
（２）によって該被加工材料（１）に圧縮応力を及ぼし
た状態において加工を施こし、その後核圧締層（２）を
除去する加工方法を提供するものである。
工材料（１）の外周に圧締層（２）を嵌着し、該圧締層
（２）によって該被加工材料（１）に圧縮応力を及ぼし
た状態において加工を施こし、その後核圧締層（２）を
除去する加工方法を提供するものである。
本発明が対象とする被加工材料は遷移温度が常温より高
いような金属材料、その他常温で脆性を示す金属、合金
、金属間化合物、無機化合物等であるが、特にスパッタ
リング用ターゲット材としては前記したような高純度の
Ｍｏ、Ｃｒ等の純金属、Ｆｅ−Ｇｄ−Ｔｂ等の合金、Ｍ
ｏＳｉ２ ＊ ＷＳｉ２等の金属間化合物に本発明の方
法を適用することが望ましい。このような金属、合金、
金属間化合物は極めて脆い性質を有し、ターゲット材に
加工することが極めて困難である。
いような金属材料、その他常温で脆性を示す金属、合金
、金属間化合物、無機化合物等であるが、特にスパッタ
リング用ターゲット材としては前記したような高純度の
Ｍｏ、Ｃｒ等の純金属、Ｆｅ−Ｇｄ−Ｔｂ等の合金、Ｍ
ｏＳｉ２ ＊ ＷＳｉ２等の金属間化合物に本発明の方
法を適用することが望ましい。このような金属、合金、
金属間化合物は極めて脆い性質を有し、ターゲット材に
加工することが極めて困難である。
上記被加工材料の外周には圧締層が嵌着される。
具体的には圧締層は例えば鉄鋼材料からなる。この状態
を第１図に示す。図において（１）は被加工材料、（２
１ｔｆ圧締層である。該圧締層（２）を該被加工材料（
１）に嵌着するには、該圧締層（２）を高温に加熱して
その状態で被加工材料（１）に嵌着しその後冷却するい
わゆる焼きばめ法が適用される。該圧締層（２）は冷却
されることにより収縮して該被加工材料（１）Ｋ圧縮応
力を及ぼす０核被加工材料（１）はこのようにして圧縮
応力が及ぼされた状態で切断、研摩等の加工を受け、ス
パッタリング用ターゲット材の場合には更にバッキング
プレートのろう付けが施される。バッキングプレートと
しては通常Ｃｕを用いるがこの他、ＭｏＩＡ／＋Ａｇ＋
ＡｕｐＷ、 Ｎｉ 。
を第１図に示す。図において（１）は被加工材料、（２
１ｔｆ圧締層である。該圧締層（２）を該被加工材料（
１）に嵌着するには、該圧締層（２）を高温に加熱して
その状態で被加工材料（１）に嵌着しその後冷却するい
わゆる焼きばめ法が適用される。該圧締層（２）は冷却
されることにより収縮して該被加工材料（１）Ｋ圧縮応
力を及ぼす０核被加工材料（１）はこのようにして圧縮
応力が及ぼされた状態で切断、研摩等の加工を受け、ス
パッタリング用ターゲット材の場合には更にバッキング
プレートのろう付けが施される。バッキングプレートと
しては通常Ｃｕを用いるがこの他、ＭｏＩＡ／＋Ａｇ＋
ＡｕｐＷ、 Ｎｉ 。
Ｚｎ等の金属あるいはこれら金属相互の合金も用いうる
。加工後は該被加工材料（１）に嵌着された圧締層（２
）を旋削、切削等の機械加工、エツチング等によって被
加工材料（１）から除去する。
。加工後は該被加工材料（１）に嵌着された圧締層（２
）を旋削、切削等の機械加工、エツチング等によって被
加工材料（１）から除去する。
本発明においては被加工材料に圧締層によシ圧縮応力を
及ぼした状態で加工を施こすから、被加工材料が常温で
脆性を有するものであっても該圧縮応力によりて被加工
材料の組織が強化され、加工中の割れが確実に防止され
る。
及ぼした状態で加工を施こすから、被加工材料が常温で
脆性を有するものであっても該圧縮応力によりて被加工
材料の組織が強化され、加工中の割れが確実に防止され
る。
実施例１
電子ビーム溶解した高純度Ｍｏの径１３０ｆｉ、高さ１
５０＋ｗの円筒状インゴットの外周を旋削して径１２５
ｆｉの円筒状被加工材料とする。該被加工材料の外周に
内径１２４．８５ｓｍ、厚さ５ｍのステンレス（３０４
）からなるパイプを５００°Ｃに加熱して嵌着した後冷
却する。加熱状態においては上記パイプの内径は１２５
ｍより大きくなる。
５０＋ｗの円筒状インゴットの外周を旋削して径１２５
ｆｉの円筒状被加工材料とする。該被加工材料の外周に
内径１２４．８５ｓｍ、厚さ５ｍのステンレス（３０４
）からなるパイプを５００°Ｃに加熱して嵌着した後冷
却する。加熱状態においては上記パイプの内径は１２５
ｍより大きくなる。
このようにして被加工材料の外周にパイプである圧締層
を嵌着した後、この状態のま＼で８鱈厚に輪切りにした
後切断面をフライス盤および平面研削盤で研摩する。そ
の抜去々の片面に径１４０ｓａｇ。
を嵌着した後、この状態のま＼で８鱈厚に輪切りにした
後切断面をフライス盤および平面研削盤で研摩する。そ
の抜去々の片面に径１４０ｓａｇ。
厚さ８鱈のＣｕからなるバッキングプレートをろう付け
し、更に該圧締層を旋削によシ除去してスパッタリング
用ターゲットを作製する。
し、更に該圧締層を旋削によシ除去してスパッタリング
用ターゲットを作製する。
実施例２
電子ビーム溶解したＷＳｉ２の径１３０ｊｌａ１１高さ
１５０鱈の円筒状インゴットを用いて実施例１と同様に
加工し、Ｃｕからなるバクキングプレートをろう付けし
たスパッタリング用ターゲットを作製し九。
１５０鱈の円筒状インゴットを用いて実施例１と同様に
加工し、Ｃｕからなるバクキングプレートをろう付けし
たスパッタリング用ターゲットを作製し九。
実施例３
ＴｉＢ２の粉末を径１００ｍ、深さ５０鱈の金型に充填
して９０ｋｇ１ｄの圧力でプレス成形を行ない円筒状の
成形物を作製する。該成形物を炭素ヒーターによシアル
ボンガス雰囲気で２１００°Ｃで１時間加熱して焼結し
た。このようＫして得られた円筒状焼結体である被加工
材料を用いて実施例１と同様に加工し、Ｍｏからなるバ
ッキングプレートをろう付けしてスパッタリング用ター
ゲットを作製した。
して９０ｋｇ１ｄの圧力でプレス成形を行ない円筒状の
成形物を作製する。該成形物を炭素ヒーターによシアル
ボンガス雰囲気で２１００°Ｃで１時間加熱して焼結し
た。このようＫして得られた円筒状焼結体である被加工
材料を用いて実施例１と同様に加工し、Ｍｏからなるバ
ッキングプレートをろう付けしてスパッタリング用ター
ゲットを作製した。
第１図は被加工材料に圧締層を嵌着した状態の斜視図で
ある。 図中 （１）・・・被加工材料 （２）・・・圧縮層
特許出願人 大同特殊鋼株式会社 代理人 、、？ヶ、。ヵＶ二゛ｌコ オ １ （圧膀眉）
ある。 図中 （１）・・・被加工材料 （２）・・・圧縮層
特許出願人 大同特殊鋼株式会社 代理人 、、？ヶ、。ヵＶ二゛ｌコ オ １ （圧膀眉）
Claims (3)
- （１）被加工材料の外周に圧締層を嵌着し、該圧締層に
よって該被加工材料に圧縮応力を及ぼした状態において
加工を施こし、その後該圧締層を除去することを特徴と
する加工方法 - （２）該被加工材料は常温で脆性を示す金属、合金、金
属間化合物、無機化合物等からなるスパッタリング用タ
ーゲット材である特許請求の範囲第（１）項に記載の加
工方法 - （３）該加工とは切断、研摩、バッキングプレートのろ
う付けである特許請求の範囲第（２）項に記載の加工方
法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5108887A JPS63216969A (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5108887A JPS63216969A (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63216969A true JPS63216969A (ja) | 1988-09-09 |
Family
ID=12877062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5108887A Pending JPS63216969A (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | 加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63216969A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0718432A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-20 | Ulvac Japan Ltd | スパッタリング用カソードとその製造方法 |
| JP2017524831A (ja) * | 2014-06-27 | 2017-08-31 | プランゼー コンポジット マテリアルズ ゲーエムベーハー | スパッタリングターゲット |
| KR20180094910A (ko) * | 2015-12-18 | 2018-08-24 | 플란제 콤포지트 마테리얼스 게엠베하 | 구조부를 갖는 코팅 소스 |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP5108887A patent/JPS63216969A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0718432A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-20 | Ulvac Japan Ltd | スパッタリング用カソードとその製造方法 |
| JP2017524831A (ja) * | 2014-06-27 | 2017-08-31 | プランゼー コンポジット マテリアルズ ゲーエムベーハー | スパッタリングターゲット |
| KR20180094910A (ko) * | 2015-12-18 | 2018-08-24 | 플란제 콤포지트 마테리얼스 게엠베하 | 구조부를 갖는 코팅 소스 |
| JP2019502024A (ja) * | 2015-12-18 | 2019-01-24 | プランゼー コンポジット マテリアルズ ゲーエムベーハー | 構造化物を有する成膜源 |
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