JPS63207487A - レ−ザ−装置 - Google Patents
レ−ザ−装置Info
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- JPS63207487A JPS63207487A JP62038560A JP3856087A JPS63207487A JP S63207487 A JPS63207487 A JP S63207487A JP 62038560 A JP62038560 A JP 62038560A JP 3856087 A JP3856087 A JP 3856087A JP S63207487 A JPS63207487 A JP S63207487A
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- Japan
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- laser beam
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- resonator
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract 1
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば表面改質・溶接などに用いる位相が
そろった平行光線を放射するレーザー装置に関するもの
である。
そろった平行光線を放射するレーザー装置に関するもの
である。
第４図は例えば実開昭６０−１３３６５５号公報に示さ
れた従来のレーザ装置を示す構成図である。図において
、（１）は−増幅器で固体レーザの場合はレーザ媒質と
励起用ラシプで構成されておシ、気体レーザの場合はレ
ーザ媒質と放電電極で構成されている。（２）は全反射
ミラー、（３）は部分反射ミラーである。なお、全反射
ミラー（２）と部分反射ミラー（３）とで共振器（４）
を構成している。（５）は増幅器（１）と両反射ミラー
１２＋（３１を収納する筐体、（６）は部分反射ミラー
（３）から取り出された第１のレーザビーム、（７）は
ビームスプリッタ−で、第１のレーザビーム（６）を分
割して第３及び第４のレーザビーム（８）（９］にする
。α〔は第２のレーザビーム（８）を検出するレーザ出
力検出器、ａυはレーザ出力検出器ＱＯＩがらの信号を
入力して増幅器（１）に電気エネルギーを供給する電源
である。
れた従来のレーザ装置を示す構成図である。図において
、（１）は−増幅器で固体レーザの場合はレーザ媒質と
励起用ラシプで構成されておシ、気体レーザの場合はレ
ーザ媒質と放電電極で構成されている。（２）は全反射
ミラー、（３）は部分反射ミラーである。なお、全反射
ミラー（２）と部分反射ミラー（３）とで共振器（４）
を構成している。（５）は増幅器（１）と両反射ミラー
１２＋（３１を収納する筐体、（６）は部分反射ミラー
（３）から取り出された第１のレーザビーム、（７）は
ビームスプリッタ−で、第１のレーザビーム（６）を分
割して第３及び第４のレーザビーム（８）（９］にする
。α〔は第２のレーザビーム（８）を検出するレーザ出
力検出器、ａυはレーザ出力検出器ＱＯＩがらの信号を
入力して増幅器（１）に電気エネルギーを供給する電源
である。
従来のレーザ装置は上記のように構成され、電源αυか
ら増幅器（１）に電気エネルギーが供給されて増幅器（
１）のレーザ媒質が励起され、全反射ミラー（２）と部
分反射ミラー（３）とで閉じ込められたレーザ光が増幅
される。この閉じ込められたレーザ光は部分反射ミラー
（３）からレーザ光＋６１として取り出される。この部
分反射ミラー（３）から取シ出されたレーザ光＋６１は
ビームスプリッタ−（７）によって一部が分割されてレ
ーザ出力検出器αｑに導かれる。レーザ出力検出器部に
よってレーザ光（６１の出力が検出される。検出された
出力が所定の値になるように、電源測から増幅器（１１
に供給される電気エネルギーが制御される。部分反射ミ
ラー（３）から取シ出されるレーザ光（６）の出力は増
幅器（１）の状態および全反射ミラー（２）と部分反射
ミラー（３）から成る共振器（４）の状態によって決定
される。
ら増幅器（１）に電気エネルギーが供給されて増幅器（
１）のレーザ媒質が励起され、全反射ミラー（２）と部
分反射ミラー（３）とで閉じ込められたレーザ光が増幅
される。この閉じ込められたレーザ光は部分反射ミラー
（３）からレーザ光＋６１として取り出される。この部
分反射ミラー（３）から取シ出されたレーザ光＋６１は
ビームスプリッタ−（７）によって一部が分割されてレ
ーザ出力検出器αｑに導かれる。レーザ出力検出器部に
よってレーザ光（６１の出力が検出される。検出された
出力が所定の値になるように、電源測から増幅器（１１
に供給される電気エネルギーが制御される。部分反射ミ
ラー（３）から取シ出されるレーザ光（６）の出力は増
幅器（１）の状態および全反射ミラー（２）と部分反射
ミラー（３）から成る共振器（４）の状態によって決定
される。
増幅器（１）に供給される電気エネルギーが高いほどレ
ーザ光の出力は高くなる。しかし、固体レーザではラン
プの劣化があった場合、気体レーザではレーザガスの劣
化があった場合に、レーザ光の出力は低下し、レーザの
発振効率が低下する。共振器を構成する全反射ミラーお
よび部分反射ミラーの汚れなどによる吸収損失が大きく
なるほどレーザの発振効率が低下し、レーザ光の出力が
低下する。全反射ミラーあるいは部分反射ミラーの設定
角度が最適値からずれた場合、レーザの発振効率が低下
し、レーザ光の品質が低下する。
ーザ光の出力は高くなる。しかし、固体レーザではラン
プの劣化があった場合、気体レーザではレーザガスの劣
化があった場合に、レーザ光の出力は低下し、レーザの
発振効率が低下する。共振器を構成する全反射ミラーお
よび部分反射ミラーの汚れなどによる吸収損失が大きく
なるほどレーザの発振効率が低下し、レーザ光の出力が
低下する。全反射ミラーあるいは部分反射ミラーの設定
角度が最適値からずれた場合、レーザの発振効率が低下
し、レーザ光の品質が低下する。
運転中、気体レーザのレーザガスの劣化が生じた場合、
あるいは固体レーザのランプの劣化が生じた場合、増幅
器（１）に供給される電気エネルギーが増加することに
よって所定のレーザ出力が維持される。しかし、両反射
ミラー＋２１ （３１の設定角度のずれが発生した場合
には、増幅器（１；に供給する電気エネルギーを増加さ
せることによって、たとえレーザ出力を所定の値に維持
することができてもレーザ光の品質の低下を補うことは
できない。また、共振器（４）に異常があった場合に、
増幅器（１１に供給する電気エネルギーが増大しすぎて
、気体レーザの場合には放電電極が破損するか、あるい
は放電電極の寿命が低下する。そして固体レーザの場合
はランプが破損するか、あるいはランプの寿命が著しく
低下する。このように増幅器に供給する電気エネルギー
を増大させることによって、共振器の異常を補うことは
不可能である。
あるいは固体レーザのランプの劣化が生じた場合、増幅
器（１）に供給される電気エネルギーが増加することに
よって所定のレーザ出力が維持される。しかし、両反射
ミラー＋２１ （３１の設定角度のずれが発生した場合
には、増幅器（１；に供給する電気エネルギーを増加さ
せることによって、たとえレーザ出力を所定の値に維持
することができてもレーザ光の品質の低下を補うことは
できない。また、共振器（４）に異常があった場合に、
増幅器（１１に供給する電気エネルギーが増大しすぎて
、気体レーザの場合には放電電極が破損するか、あるい
は放電電極の寿命が低下する。そして固体レーザの場合
はランプが破損するか、あるいはランプの寿命が著しく
低下する。このように増幅器に供給する電気エネルギー
を増大させることによって、共振器の異常を補うことは
不可能である。
上記のような従来のレーザ装置では、ビームスプリッタ
−で一部が分割されたレーザ光の出力のみをレーザ出力
検出器によって検出しているために、共振器の反射ミラ
ーの設定角度がずれるなど共振器の異常が生じた場合、
誤ってレーザガスの劣化あるいはランプの劣化とみなし
てレーザ出力を維持するために増幅器へ注入する電気エ
ネルギーが増大し、気体レーザの場合には放電電極を、
固体レーザの場合にはランプを破損あるいはこれらの寿
命を著しく短かくする問題点があった。
−で一部が分割されたレーザ光の出力のみをレーザ出力
検出器によって検出しているために、共振器の反射ミラ
ーの設定角度がずれるなど共振器の異常が生じた場合、
誤ってレーザガスの劣化あるいはランプの劣化とみなし
てレーザ出力を維持するために増幅器へ注入する電気エ
ネルギーが増大し、気体レーザの場合には放電電極を、
固体レーザの場合にはランプを破損あるいはこれらの寿
命を著しく短かくする問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、共振器の状態をモニターして増幅器の破損あるい
は増幅器の短寿命化を防止することができるレーザ装置
を得ることを目的とする。
ので、共振器の状態をモニターして増幅器の破損あるい
は増幅器の短寿命化を防止することができるレーザ装置
を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ装置は、共振器を構成する一方の
共振器ミラーを支持している支持板に検出用のレーザー
発生手段とレーザー光の光量及びレーザー光の基準位置
からの距離に比例した電圧を出力する検出器とを取シ付
けて、検出用のレーザ光を他方の共振器ミラーから反射
された検出用のレーザ光が検出器に入射するようにした
ものである。
共振器ミラーを支持している支持板に検出用のレーザー
発生手段とレーザー光の光量及びレーザー光の基準位置
からの距離に比例した電圧を出力する検出器とを取シ付
けて、検出用のレーザ光を他方の共振器ミラーから反射
された検出用のレーザ光が検出器に入射するようにした
ものである。
この発明においては、検出器が共振器ミラーから反射し
たレーザ光の位置をモニターしているので、共振器ミラ
ーの支持板あるいは共振器ミラーの設定角度のずれ量、
すなわち、共振器のアライメント（光軸調整）の状態が
定量化される。
たレーザ光の位置をモニターしているので、共振器ミラ
ーの支持板あるいは共振器ミラーの設定角度のずれ量、
すなわち、共振器のアライメント（光軸調整）の状態が
定量化される。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１１〜（１１）は従来装置と同様のもの
である。←りは全反射ミラー（２）を支持している支持
板、Ｕ■は支持板Ｃｌ２）に取り付けられた検出用のレ
ーザ発生手段で、部分反射ミラー（３）にレーザ光α荀
を放射する。任粉は部分反射ミラー（３）から反射した
レーザ光αＱを受光するように支持板α２に取シ付けら
れた検出器、Ｃ１７）は部分反射ミラー（３）に取り付
けられたミラー角度調整器、（１＆は検出器ａ！ｌｉｌ
の前に配設された凸レンズである。翰は検出器（１５１
の出力を受けて基準位置からのずれを表示する表示手段
である。なお、レーザ光（Ｌ６）の基準位置はミラー角
度調整器住ηで行われる。
図において、（１１〜（１１）は従来装置と同様のもの
である。←りは全反射ミラー（２）を支持している支持
板、Ｕ■は支持板Ｃｌ２）に取り付けられた検出用のレ
ーザ発生手段で、部分反射ミラー（３）にレーザ光α荀
を放射する。任粉は部分反射ミラー（３）から反射した
レーザ光αＱを受光するように支持板α２に取シ付けら
れた検出器、Ｃ１７）は部分反射ミラー（３）に取り付
けられたミラー角度調整器、（１＆は検出器ａ！ｌｉｌ
の前に配設された凸レンズである。翰は検出器（１５１
の出力を受けて基準位置からのずれを表示する表示手段
である。なお、レーザ光（Ｌ６）の基準位置はミラー角
度調整器住ηで行われる。
上記のように構成されたレーザ装置においては、電源α
υから増幅器（１１に電気エネルギーが供給されて増幅
器（１）のレーザ媒体が励起され、全反射ミラー（２）
と部分反射ミラー（３）とで閉じ込められたレーザ光が
増幅される。この閉じ込められたレーザ光は部分反射ミ
ラー（３）からレーザ光（６１として取シ出される。こ
の部分反射ミラー（３）から取シ出されたレーザ光（６
）はビームスプリッタ−（７）によって一部が分割され
、レーザ出力検出器部に導かれる。
υから増幅器（１１に電気エネルギーが供給されて増幅
器（１）のレーザ媒体が励起され、全反射ミラー（２）
と部分反射ミラー（３）とで閉じ込められたレーザ光が
増幅される。この閉じ込められたレーザ光は部分反射ミ
ラー（３）からレーザ光（６１として取シ出される。こ
の部分反射ミラー（３）から取シ出されたレーザ光（６
）はビームスプリッタ−（７）によって一部が分割され
、レーザ出力検出器部に導かれる。
レーザ出力検出器部によってレーザ光（６）の出力が検
出される。検出されたレーザ出力が所定の値になるよう
に電源＜１１）から増幅器（１）に供給される電気エネ
ルギーが制御される。運転中に気体レーザガスの劣化が
生じた場合、あるいは固体レーザのランプの劣化が生じ
た場合、増幅器（１）に供給される電気エネルギーが増
加することによって所定のレーザ出力が維持される。
出される。検出されたレーザ出力が所定の値になるよう
に電源＜１１）から増幅器（１）に供給される電気エネ
ルギーが制御される。運転中に気体レーザガスの劣化が
生じた場合、あるいは固体レーザのランプの劣化が生じ
た場合、増幅器（１）に供給される電気エネルギーが増
加することによって所定のレーザ出力が維持される。
全反射ミラー（２）が支持されている支持板Ｃ１２＋に
取シ付けられたレーザ発生手段ａ３）から放射されたレ
ーザ光（１１）は部分反射ミラー（３）に照射される。
取シ付けられたレーザ発生手段ａ３）から放射されたレ
ーザ光（１１）は部分反射ミラー（３）に照射される。
部分反射ミラー（３）から反射したレーザ光（ＩＱは凸
レンズαｇで集光されて支持板（１２）に取シ付けられ
た検出器（１９に入射する。そして検出器（１５でレー
ザ光（Ｌ６）のビームの位置および入射したレーザ光（
１６）の光量が検出される。検出器ｔｉ団からは入射し
たレーザ光の光量に比例した電圧及び入射したレーザ光
の位置と所定の位置との距離に比例した電圧が出力され
る。
レンズαｇで集光されて支持板（１２）に取シ付けられ
た検出器（１９に入射する。そして検出器（１５でレー
ザ光（Ｌ６）のビームの位置および入射したレーザ光（
１６）の光量が検出される。検出器ｔｉ団からは入射し
たレーザ光の光量に比例した電圧及び入射したレーザ光
の位置と所定の位置との距離に比例した電圧が出力され
る。
部分反射ミラー（３）の表面が汚れて吸収損失が増大し
た場合、検出器＜１５１に入射するレーザ先住６）の光
量が減少するので、部分反射ミラー（３）の吸収損失に
対応した電気信号が検出器（１５）から出力される。
た場合、検出器＜１５１に入射するレーザ先住６）の光
量が減少するので、部分反射ミラー（３）の吸収損失に
対応した電気信号が検出器（１５）から出力される。
このように部分反射ミラー（３１の吸収損失の状態が常
に検出されているので、この吸収損失が一定値以上にな
ったとき、例えば共振器異常信号を出すようにしておけ
ば増幅器（１）に過大な電気エネルギーが供給されるの
を防止することができる。よって、部分反射ミラー（３
）の汚れが原因となる固体レーザの場合のランプあるい
は気体レーザの場合の放電電極の破損あるいはこれらの
短寿命化を防止することができる。
に検出されているので、この吸収損失が一定値以上にな
ったとき、例えば共振器異常信号を出すようにしておけ
ば増幅器（１）に過大な電気エネルギーが供給されるの
を防止することができる。よって、部分反射ミラー（３
）の汚れが原因となる固体レーザの場合のランプあるい
は気体レーザの場合の放電電極の破損あるいはこれらの
短寿命化を防止することができる。
また、部分反射ミラー（３）の設定角度が所定の角度か
らθずれた場合、レーザ光の発振効率およびレーザ出力
が低下し、部分反射ミラー（３）から反射したレーザ光
αＱは所定の角度から２０ずれる。さらに検出器（Ｌ５
）に入射するレーザ光（ＩＱの位置は所定の位置から２
θｌずれる。但し、ｌは部分反射ミラー（３）と検出器
αωとの距離である。検出器ａ＄に入射したレーザ光の
位置のずれ量に比例した電圧が検出器（１５）から出力
される。このように部分反射ミラー（３）の設定角度が
常に検出されているので、部分反射ミラー（３）の設定
角度のずれ量が許容値以上になったとき、共振器異常信
号を出すようにしておけば増幅器（１）に過大な電気エ
ネルギーが供給されるのを防止することができる。した
がって、固体レーザにおけるランプあるいは気体レーザ
における放電電極の破損あるいはこれらの短寿命化を防
止することができる。また、部分反射ミラー（３）の設
定角度のずれ量に対応した検出器（１５１の電圧がゼロ
になるように部分反射ミラーに取シ付けられた手動のミ
ラー角度調整器住ηを調整することによって、部分反射
ミラー（３）の設定角度が所定の角度に復元され、レー
ザ光の発振効率およびレーザ出力は回復する。
らθずれた場合、レーザ光の発振効率およびレーザ出力
が低下し、部分反射ミラー（３）から反射したレーザ光
αＱは所定の角度から２０ずれる。さらに検出器（Ｌ５
）に入射するレーザ光（ＩＱの位置は所定の位置から２
θｌずれる。但し、ｌは部分反射ミラー（３）と検出器
αωとの距離である。検出器ａ＄に入射したレーザ光の
位置のずれ量に比例した電圧が検出器（１５）から出力
される。このように部分反射ミラー（３）の設定角度が
常に検出されているので、部分反射ミラー（３）の設定
角度のずれ量が許容値以上になったとき、共振器異常信
号を出すようにしておけば増幅器（１）に過大な電気エ
ネルギーが供給されるのを防止することができる。した
がって、固体レーザにおけるランプあるいは気体レーザ
における放電電極の破損あるいはこれらの短寿命化を防
止することができる。また、部分反射ミラー（３）の設
定角度のずれ量に対応した検出器（１５１の電圧がゼロ
になるように部分反射ミラーに取シ付けられた手動のミ
ラー角度調整器住ηを調整することによって、部分反射
ミラー（３）の設定角度が所定の角度に復元され、レー
ザ光の発振効率およびレーザ出力は回復する。
全反射ミラー（２）、レーザ発生手段側及び検出器側が
支持されている支持板（１２１の取シ付は角度がずれた
場合も、上記のように部分反射ミラー（３）の設定角度
がずれた場合と同様の動作がおこなわれる。
支持されている支持板（１２１の取シ付は角度がずれた
場合も、上記のように部分反射ミラー（３）の設定角度
がずれた場合と同様の動作がおこなわれる。
上記実施例において、検出器（１５１に入射するし〜ザ
光←υの径が小さい場合には凸しンズαつを配設しなく
てもよい。
光←υの径が小さい場合には凸しンズαつを配設しなく
てもよい。
なお、上記実施例では、全反射ミラー＋２１が支持され
ている支持仮住２にレーザ発生手段（１３と検出器ａ９
とを取り付けた場合について示したが、全反射ミラー（
２）と対向した部分反射ミラー（３）側に支持板ａ２を
配設し、この支持板にレーザ発生手段（２）と検出器住
最とを取シ付けてもよい。
ている支持仮住２にレーザ発生手段（１３と検出器ａ９
とを取り付けた場合について示したが、全反射ミラー（
２）と対向した部分反射ミラー（３）側に支持板ａ２を
配設し、この支持板にレーザ発生手段（２）と検出器住
最とを取シ付けてもよい。
また、上記実施例では安定型共振器を用いたレーザ装置
の場合について示したが、不安定型共振器を用いた場合
第２図に示すように不安定型共振器を構成する凹面ミラ
ー翰と対向する凸面ミラー＋２１１の状態を定量化して
も上記実施例と同様の効果′を奏する。ただし、（２り
は不安定型共振器を構成するビーム取シ出しミラー、凶
はビーム取シ出し窓である。
の場合について示したが、不安定型共振器を用いた場合
第２図に示すように不安定型共振器を構成する凹面ミラ
ー翰と対向する凸面ミラー＋２１１の状態を定量化して
も上記実施例と同様の効果′を奏する。ただし、（２り
は不安定型共振器を構成するビーム取シ出しミラー、凶
はビーム取シ出し窓である。
さらに、上記実施例では、全反射ミラー（２）と部分反
射ミラー（３）から構成された丁型の共振器の場合につ
いて示したが、第３図に示すような２型などの折シ返し
型の共振器の場合にも上記実施例と同様の効果を奏する
。ただし、ｃ２４Ｊは全反射ミラー（２１と部分反射ミ
ラー（３）との間に配設された平面ミラーである。
射ミラー（３）から構成された丁型の共振器の場合につ
いて示したが、第３図に示すような２型などの折シ返し
型の共振器の場合にも上記実施例と同様の効果を奏する
。ただし、ｃ２４Ｊは全反射ミラー（２１と部分反射ミ
ラー（３）との間に配設された平面ミラーである。
この発明は以上説明したとおり、共振器ミラーを支持し
ている支持板に検出用のレーザ発生手段と検出器とを取
シ付けることによって、共振器のアライメントおよび吸
収損失の状態が定量化できるために、誤って増幅器に過
大な電気エネルギーを注入することが防止できる。
ている支持板に検出用のレーザ発生手段と検出器とを取
シ付けることによって、共振器のアライメントおよび吸
収損失の状態が定量化できるために、誤って増幅器に過
大な電気エネルギーを注入することが防止できる。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成図、第２図およ
び第３図はこの発明の他の実施例を示す構成図、第４図
は従来のレーザ装置を示す構成図である。 図において、（２）は全反射ミラー、（３）は部分反射
ミラー、（４）は共振器、Ｃ１２１は支持板、（２）は
レーザ発生手段、（ｌωは検出器である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すＯ
び第３図はこの発明の他の実施例を示す構成図、第４図
は従来のレーザ装置を示す構成図である。 図において、（２）は全反射ミラー、（３）は部分反射
ミラー、（４）は共振器、Ｃ１２１は支持板、（２）は
レーザ発生手段、（ｌωは検出器である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すＯ
Claims (3)
- （１）第１のミラーと第２のミラーとの間でレーザー光
を共振させる共振器、上記第１のミラーを支持した支持
板、この支持板に設けられ検出用レーザー光を上記第２
のミラーに向けて放射するレーザー発生手段、上記支持
板に設けられ上記第２のミラーから反射された上記検出
用レーザー光を受けて所定の出力をする検出器を備えた
レーザー装置。 - （２）検出器は入射されたレーザー光の光量に比例した
電圧を出力する特許請求の範囲第１項記載のレーザー装
置。 - （３）検出器は入射されるレーザー光の位置が基準位置
からの距離に比例した電圧を出力する特許請求の範囲第
１項記載のレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62038560A JPS63207487A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62038560A JPS63207487A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | レ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63207487A true JPS63207487A (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=12528681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62038560A Withdrawn JPS63207487A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63207487A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5026979A (en) * | 1990-03-05 | 1991-06-25 | General Electric Company | Method and apparatus for optically monitoring laser materials processing |
| US5045669A (en) * | 1990-03-02 | 1991-09-03 | General Electric Company | Method and apparatus for optically/acoustically monitoring laser materials processing |
| JPH03205884A (ja) * | 1990-01-05 | 1991-09-09 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| US5159402A (en) * | 1990-03-26 | 1992-10-27 | General Electric Company | Optical sensor safety system for monitoring laser crystals and optical components |
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