JPS6320471A - 排気方法 - Google Patents
排気方法Info
- Publication number
- JPS6320471A JPS6320471A JP16374986A JP16374986A JPS6320471A JP S6320471 A JPS6320471 A JP S6320471A JP 16374986 A JP16374986 A JP 16374986A JP 16374986 A JP16374986 A JP 16374986A JP S6320471 A JPS6320471 A JP S6320471A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- vacuum
- gas
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 6
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は鋼板、フィルム等の帯状材を真空処理室で連
続的に処理するための差動排気装置での排気方法に関す
るものである。
続的に処理するための差動排気装置での排気方法に関す
るものである。
［従来の技術］
従来帯状材ｌを真空処理室２で連続的に処理する場合、
第２図に示すように処理室２の入側、出側に差動排気装
置３を設け、逐次減圧しつつ帯状材を搬送することが行
われている。差動排気装置３は、絞り仕切部４で仕切ら
れた各真空室５にそれぞれ真空ポンプＢを接続し、前段
の真空室で排気され次段の真空室に絞り部から流入した
残りを更に排気することにより逐次減圧するようになっ
ている。
第２図に示すように処理室２の入側、出側に差動排気装
置３を設け、逐次減圧しつつ帯状材を搬送することが行
われている。差動排気装置３は、絞り仕切部４で仕切ら
れた各真空室５にそれぞれ真空ポンプＢを接続し、前段
の真空室で排気され次段の真空室に絞り部から流入した
残りを更に排気することにより逐次減圧するようになっ
ている。
［発明の解決しようとする間通点コ
しかし、上記排気方法では、湿分及び粉塵を含んだ外気
を吸引することになる。水分は高真空における排気能率
を著しく低下させ、また処理室での処理に悪影響を及ぼ
す。また粉塵は真空ポンプにとっても好ましいものでは
ない。
を吸引することになる。水分は高真空における排気能率
を著しく低下させ、また処理室での処理に悪影響を及ぼ
す。また粉塵は真空ポンプにとっても好ましいものでは
ない。
この発明は上記のような問題点を解消できるようにした
排気方法を提供することを目的とするものである。
排気方法を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決、するための手段、作用］差動排気装置
の第１段目に予圧室を設け、この予圧室に脱塵、除湿さ
れた空気又はガスを該予圧室内圧力が外界より高くなる
ように送給して排気する。
の第１段目に予圧室を設け、この予圧室に脱塵、除湿さ
れた空気又はガスを該予圧室内圧力が外界より高くなる
ように送給して排気する。
こうして、真空室内に乾燥した清浄な空気又はガスのみ
を吸引することにより、排気効率を向上させると共に、
真空処理の品質を向上させる。
を吸引することにより、排気効率を向上させると共に、
真空処理の品質を向上させる。
［実施例コ
本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。
第１段の真空室４の手前に予圧室１１が設けられており
、この予圧室１１に脱塵器１２で防塵され、乾燥器１３
で乾燥された清浄乾燥空気が送給されるようになってい
る。そしてこの清浄乾燥空気を、予圧室１１の圧力が外
界より高くなる程度予圧室に送給する。こうして空気の
一部は大気中に流れ出すが、大半は真空室５に流入する
。これによって粉塵や湿分を含んだ外気が真空室に入る
ことは完全に防止される。なお、清浄乾燥空気の替りに
窒素ガス等の低露点のガスを予圧室１１に送給してもよ
い。
、この予圧室１１に脱塵器１２で防塵され、乾燥器１３
で乾燥された清浄乾燥空気が送給されるようになってい
る。そしてこの清浄乾燥空気を、予圧室１１の圧力が外
界より高くなる程度予圧室に送給する。こうして空気の
一部は大気中に流れ出すが、大半は真空室５に流入する
。これによって粉塵や湿分を含んだ外気が真空室に入る
ことは完全に防止される。なお、清浄乾燥空気の替りに
窒素ガス等の低露点のガスを予圧室１１に送給してもよ
い。
外気の大気条件を２５℃、相対湿度９０％と仮定し、乾
燥器によってこれを、湿度３５℃、露点−１０℃の状態
まで乾燥すると、外気を直接吸引する場合に比べて、吸
引空気Ｑ １ ｍ ’あたり２０９！（−２０ｃｃ）の
水を減少させることが出来る（この状態で外気中には１
ｍ３あたり２３９の水分が含まれている）。
燥器によってこれを、湿度３５℃、露点−１０℃の状態
まで乾燥すると、外気を直接吸引する場合に比べて、吸
引空気Ｑ １ ｍ ’あたり２０９！（−２０ｃｃ）の
水を減少させることが出来る（この状態で外気中には１
ｍ３あたり２３９の水分が含まれている）。
１０ ’ Ｔｏｒｒ以上の真空度を得る場合は水分が最
も邪魔になる存在であり、これを２３９／ｍ’から３
ｇ／ ｍ ３に減少できることは効果が大である。
も邪魔になる存在であり、これを２３９／ｍ’から３
ｇ／ ｍ ３に減少できることは効果が大である。
尚、乾燥空気ではなく低露点の窒素ガス等を導入すれば
、水分はほぼ完全に遮断することが出来る。
、水分はほぼ完全に遮断することが出来る。
こうして排気効率を向上すると共に、真空処理品の品質
を向上させることができる。
を向上させることができる。
［発明の効果］
この発明は上記のようなもので真空室内に乾燥した清浄
な空気又はガスのみを吸引することにより、排気効率を
向上させると共に、真空処理の品質を向上させることが
できる。
な空気又はガスのみを吸引することにより、排気効率を
向上させると共に、真空処理の品質を向上させることが
できる。
第１図は本発明方法を実施するため差動排気装置の一実
施例を示す説明図、第２図は従来の差動排気装置の説明
図である。 １１・・・予圧室、１２・・・脱塵器、１３・・・乾燥
器。
施例を示す説明図、第２図は従来の差動排気装置の説明
図である。 １１・・・予圧室、１２・・・脱塵器、１３・・・乾燥
器。
Claims (1)
- 鋼板、フィルム等の帯状材を真空処理室で連続的に処理
するための差動排気装置の第１段目に予圧室を設け、こ
の予圧室に脱塵、除湿された空気又はガスを該予圧室内
圧力が外界より高くなるように送給して排気することを
特徴とする排気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374986A JPS6320471A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374986A JPS6320471A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 排気方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320471A true JPS6320471A (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=15779963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16374986A Pending JPS6320471A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 排気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320471A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10375816B2 (en) | 2015-05-08 | 2019-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Printed-circuit board, printed-wiring board, and electronic apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5385742A (en) * | 1977-01-07 | 1978-07-28 | Nippon Steel Corp | Continuous vacuum evaporation plating method of steel band |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP16374986A patent/JPS6320471A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5385742A (en) * | 1977-01-07 | 1978-07-28 | Nippon Steel Corp | Continuous vacuum evaporation plating method of steel band |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10375816B2 (en) | 2015-05-08 | 2019-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Printed-circuit board, printed-wiring board, and electronic apparatus |
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