JPS63204624A - ペレツトマウント装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はペレットマウント装置に関し、特にペレットを
載置したカセットリングからの突上げ・吸着機能を改善
するペレットマウント装置に関する。

〔従来の技術〕

通常、この種のペレットマウント装置の機能としては、
紫外線の照射により固着力が劣化する性質を有するＵＶ
シートに貼付されているウェハーをダイシングにより個
々のペレットに分離し、この分離されたペレットを載置
する専用のカセットリングから順次ペレット裏面より突
上げ、前記ペレットを所定のノズルにより吸着・移送し
てマウントするように作動する。

この場合、従来のペレットマウント装置においては、前
記ＵＶシートに紫外線を照射する紫外線照射機能が保有
されておらず、従って、専用に設けられている紫外線照
射装置により、１ウエハー、１シヨツトで一括照射し、
ＵＶシートとペレットとの固着力を劣化させてからペレ
ットマウント装置に取付け、順次突上げｍ横により突上
げを行い、上面からの所定のノズルによりペレットを吸
着して移送している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来のペレットマウンＩ・装置は、紫外線の照
射機構が備えられていないため、前記ペレットマウント
装置とは別の位置において、専用に設けられている紫外
線照射装置を用いて紫外線照射を行い、事前にペレット
とＵＶシートの固着力を劣化させている。このため、事
後において行われる作業およびハンドリング動作、例え
ば、紫外線照射装置からのカセットリングの取外し、あ
るいはペレットの外観検査作業、更にはペレットマウン
ト装置に対する取付作業等において、ＵＶシートとペレ
ットの固着力を劣化させる前工程における作業時の振動
等により、ペレットのＵＶシート上での位置ずれ、また
はＵＶシートからの剥離落下等の問題が発生するという
欠点がある。

また、上述のような現象が生じないレベルに固着力を保
持すべく紫外線照射１を調節すると、ペレットマウント
装置における突上げ吸着時に、ＵＶシートからのペレッ
トの剥離が悪くなり、ノズルにおけるペレットの吸着ミ
ス等が発生するという欠点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のペレットマウント装置は、紫外・線を照射する
ことにより固着力が劣化するＵＶシートに貼付されたウ
ェーハを、ダイシングにより個々のペレットに分離し、
分離されたペレットを栽植する専用のカセットリングか
ら準次ペレットを裏面より突上げ、ペレット上面をノズ
ルにより吸着して移送し、所定のマウントを行うペレッ
トマウント装置において、突上げて吸着すべきペレット
の裏面のみをスポット状に紫外線照射を行う機構を備え
て構成される。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の要部を示す部分断面図
である。

第１図において、カセットホルダー８に取付けられてい
るカセットリング１にはＵＶシート２が貼付されており
、ＵＶシート２にはダイシングされたペレット３が貼付
されている。通常、カセットホルダー８は、所定のＸ、
Ｙ、θステージ（図示せず）上に載置され、インデック
ス送りをされると同時に、別に設けられているペレット
認識装置（図示せず）により位置合わせが行われる。こ
の時点において、既に紫外線ファイバー７を介して、紫
外線が光路１０４に沿ってＵＶシート２に照射され、Ｕ
Ｖシート２とペレット３の固着力は十分に劣化されてい
る。次いで突上げ棒４は突上げガイド５に案内され、移
動線１０２に沿って上昇してペレット３を適当量突上げ
ると同時に、ペレット３の上方に位置している吸着ノズ
ル６が移動線１０１に沿って下降する。上述のように突
上げ棒４により突上げられ、ＵＶシート２から剥れかか
っているペレット３は、吸着ノズル６によって完全に剥
離吸着され、マウント装置に移送される。

次に本発明の第２の実施例について説明する。

第２図は本発明の第２の実施例の要部を示す部分断面図
である。

第２図において、カセットリング１のＵＶシート２の上
に貼付されているペレット２が、別に設けられているペ
レット認識装置により位置合せされる手順までは、前述
の第１の実施例の場合と同様である。次の段階において
、ＵＶシート２に対する紫外線照射時には、前記第１の
実施例の場合には紫外線を連続的に照射しているのに対
して、この第２の実施例においては、紫外線の光路１０
４の経路上にシャッタ９が設けられており、移動線１０
３に沿うシャッタ９の出し入れにより、必要な時にだけ
紫外線照射が行われるように制御される。このため、通
常は紫外線が外部に漏れることもなくなり、作業者等に
対する安全度も改善される。なお、シャッター９を開放
し、紫外線照射ファイバー７を通して紫外線を照射した
後の各部の動作については、前述の第２の実施例の説明
と同様である。

〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明は、ペレットを突上げ吸着
する直前に、対象とするペレットのみをスポット状に紫
外線を照射し、ＵＶシートとペレットの固着力を劣化さ
せることにより、ペレットのマウント前における、ペレ
ットを載置したカセットリングからの突上げ・吸着機能
を改善することが可能となり、ＵＶシートからのペレッ
トの脱落や位置ずれ等を排除し、ペレットマウントの歩
留りの向上を計ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、それぞれ本発明の第１および第
２の実施例の要部を示す部分断面図である。 図において、１・・・カセットリング、２・・・ＵＶシ
。 −ト、３・・・ペレット、４・・・突上げ棒、５・・・
突上げガイド、６・・・吸着ノズル、７・・・紫外線照
射ファイバー、８・・・カセットホルダー、９・・・シ
ャッター。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　紫外線を照射することにより固着力が劣化するＵＶシ
   ートに貼付されたウェハーを、ダイシングにより個々の
   ペレットに分離し、分離されたペレットを載置する専用
   のカセットリングから順次ペレットを裏面より突上げ、
   ペレット上面をノズルにより吸着して移送し、所定のマ
   ウントを行うペレットマウント装置において、突上げて
   吸着すべきペレットの裏面のみをスポット状に紫外線照
   射を行う機構を備えることを特徴とするペレットマウン
   ト装置。