JPS63204406A - ア−ム移動を司どるモ−タの制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はマガジンローダのアーム等の移動を司どるモー
タの制御装置に関する。

［従来の技術］ マガジンローダは第２図に示す様に、マガジンを掴む為
のチャック１を取付けたアーム２、該アームと軸３を介
してリンクされたアーム４、該アームと軸５を介してリ
ンクされたアーム６等から成る。尚、該第２図において
はアーム６は移動しない様に固定されている。そして、
所定の軌道ＯＲに沿ってチャック１が動く様にシミュレ
ーションにより求めてメモリ７に格納されたパルスデー
タを、第３図に示す様に、制御装置８により読出して、
前記軸３，５に繋がれた夫々パルスモータｆＶｈ、Ｍｚ
に与える事により該チャック１を所定の軌道に沿って移
動させている。そして、該移動により、例えば、チャッ
ク１に掴まれたマガジン（図示せず）をチャンバ（図示
せず）内に出し入れしている。

さて、この様なチャンバ内へのマガジンの出入れの際、
何かの原因でチャック１が所定軌道から外れる事により
マガジンがチャンバのどこかに当った場合、該衝突を検
知してパルスモータＭｌ１Ｍ２を止める様に成している
。例えば、マガジンを電気的に浮かし、チャンバを大地
に接地しておき、マガジンがチャンバに接触してマガジ
ンからチャンバに電流が流れた時にその電流を検出する
検知回路から制御装＠８に信号を送り、制御装置８から
パルスモータＭｓ、Ｍｚへのパルスの供給を停止させて
いる。

所で、パルスモータを停止させた後、チャック１を軌道
上へ復帰させる場合、前記各モータへ供給されるパルス
を増減させる事が出来るマニアルボックスのキーを適宜
叩く事によってモータＭ＋。

Ｍｚを適宜回転させ所定の軌道上にチャック１を戻す様
にしている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、この様な方法でチャック１を所定軌道上に戻す
事は極めて厄介な操作である。

本発明はこの様な問題を解決する事を目的としたもので
ある。

［問題点を解決するための手段］ そこで、本発明のモータ制御装置は、複数のパルスモー
タ、所定軌道の各位置間を移動させる為のパルスデータ
を記憶した第１のメモリ、所定軌道の適宜各位置の絶対
座標を記憶した第２のメモリ、各パルスモータの回転位
置を検出する手段、各モータに接続されたアーム若しく
は先端のアームと一体化した部材が他の物に当った事を
検知する手段、前記第１のメモリからパルスデータを読
出し各パルスモータに供給して前記アームの先端を所定
軌道上に移動さ°Ｕ、且つ、前記検知手段からの信号に
より前記パルスモータ回転位置検出手段からの各パルス
モータの回転位置に対応した信号と前記第２のメモリか
らの絶対座標信号とに基づいて所定軌道に戻る為のパル
スデータを作成して該データを各パルスモータに与える
制御装置を備えた。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示したチャック移動を司ど
るパルスモータの制御ＩＩａ構の概略を示したものであ
る。図中前記第３図にて使用した番号と同一番号の付し
たものは同一構成要素である。

図中Ｅｌ　、Ｅ２はアブソリュートエンコーダで、夫々
パルスモータＭ１．Ｍｚと同軸に繋がっており、該各パ
ルスモータＭｌ、Ｍ２の回転位置（角度）を検出し、該
検出値を制御装置８に送る。チャック１の位置はこれら
のモータＭ１とＭｚの回転角度で表されるので、該各エ
ンコーダＥ＋、’Ｅ２の検出値は該チャック１の実際の
位置の座標を示ず。９は検知回路で、マガジンがチャン
バに接触してマガジンからチャンバに電流が流れた時に
該電流を検出して制御装置８に信号を送るものである。

Ｒ１，Ｒ２はメモリである。各パルスモータに与えるパ
ルスデータを、チャック１が所定の軌道（例えば第２図
のＯＲ）の始点Ｓから該軌道上の位置を通って該軌道の
終点Ｅ迄の間を動く様、に、該軌道中の適宜な各位置間
をチャック１が移動するのに必要なパルスデータをシミ
ュレーションにより求めて、該パルスデータをメモリＲ
１に記憶する。又、所定軌道中の適宜位置の絶対座標を
メモリＲ２に記憶させる。

実際にチャック１を移動させる場合には、制御装置８に
より、メモリＲ１からパルスデータを読出し、夫々パル
スモータＭ１．Ｍｚに与える。而して、該各モータＭ１
．Ｍ２は該パルスデータに対応した角度回転するので、
チャック１は所定軌道ＯＲ上を移動する。

さて、該所定軌道を移動している最中に、何らかの原因
によりチャック１が所定軌道から外れる事によりマガジ
ン（図示せず）がチャンバ（図示せず）に当たると、検
知回路９から制ｍ＋Ｉｉ！装置８に信号が発せられる。

この時、チャック１が例えば所定軌道から外れた位置ａ
にあるとする。該制御装置は、前記検知回路９からの信
号により、アブソリュートエンコーダＥ１とＥ２からの
検出値、即ちチャック１の該ａの位置座標（Ｅｌａ、Ｅ
２ａ）から、軌道ＢＥ間において該ａとＥ２座標の等し
い座標を持つ位置（ｂ）をメモリＲ２から見付け、更に
、該見付けた位＠ｂのＥ１座標（Ｅ＋ｂ）とａのＥ１座
標（Ｅ’＋８）の差を演算し、該差分に等しい距離チャ
ック１が移動する為のパルスをパルスモータＭ１に供給
する。該供給によりチャック１は所定軌道上のｂに戻る
。この後、チャック１が終点（Ｅ）方向に動いていた場
合なら前記すと該終点Ｅとの間の位置間を移動する為の
パルスデータがメモリＲ１に記憶されているか、チャッ
ク１が始点（Ｓ）方向に動いていたなら前記すと８との
間の、位置間を移動する為のパルスデータがメモリＲ＋
に記憶されていれば、制御装置８は該メモリＲ１がその
様なパルスデータを読出し各パルスモータＭ＋、Ｍｚに
与え、該すから所定軌道上を移動させる。しかし、たま
たま前記各位置間のパルスデータがメモリＲ１に記憶さ
れていない場合には、制御装置８はメモリＲ２から該す
の次の所定軌道上における目標位置の絶対座標を呼出し
、該目標位置と該すの絶対座標間の差を求め、該差分に
等しい距離移動する為に必要なパルスデータを作成して
各パルスモータＭ１．Ｍ２に供給する。この後は、メモ
リＲ１から各位置間を移動する為のパルスデータを呼出
し：各パルスモータに供給してチャック１を所定軌道上
を移動させる。

尚、上記説明においては各モータＭ１．Ｍ２の回転方向
については何ら触れなかったが、例えば、第２図に示す
軌道において、ＳからＡの軌道を移動させる場合にはモ
ータＭ１．Ｍ２を夫々時計方向く正の方向）に回転させ
、ＡからＢ及びＢからＥの軌道を移動させる場合にはモ
ータＭ１．Ｍ２を夫々反時計方向（負の方向）１時計方
向（正の方向）に回転させるので（逆にＥからＢ、Ａ、
Ｓに移動させる場合はどの場合も極性が逆）、制御装置
８が回転方向を表す信号も同期して各モータに送ってい
る。

更に、前記実施例では可動性のアーム２個及びパルスモ
ータ２個でチャックを移動させるものを例に上げたが、
本発明は可動性のアームを３個以上及びパルスモータを
３個以上でチャック又はチャックに類似したものを移動
させる場合にも応用出来る事はいうまでもない。

［発明の効果］ 本発明によれば、何かの原因でチャックが所定軌道から
外れる事によりマガジンがチャンバのどこかに当たりパ
ルスモータが停止しても、従来の様にマニアルボックス
のキーを適宜叩く事によってモータを適宜回転させ所定
の軌道上にチャックを戻す様な厄介な操作を行なわずに
、自動的に所定軌道に戻す様にしているので、操作が極
めて簡単になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示したアーム移動を司どる
モータの制御装置の概略図、第２図はマガジンローダの
概略図、第３図は従来のアーム移動を司どるモータの制
御装置の概略図を示す。 １：チャック　　２．４，６：アーム　　３゜５：軸　
　○Ｒ＝軌道　　Ｍ＋　、Ｍ２　　：パルスモータ　　
８：制御装置　　Ｅ＋　、Ｅ２　　：アブソリユートエ
ンコーダ　　Ｒ＋　、Ｒｚ　　：メモリ　　９：検知回
路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数のパルスモータ、所定軌道の各位置間を移動させる
   為のパルスデータを記憶した第１のメモリ、所定軌道の
   適宜各位置の絶対座標を記憶した第２のメモリ、各パル
   スモータの回転位置を検出する手段、各モータに接続さ
   れたアーム若しくは先端のアームと一体化した部材が他
   の物に当った事を検知する手段、前記第１のメモリから
   パルスデータを読出し各パルスモータに供給して前記ア
   ームの先端を所定軌道上に移動させ、且つ、前記検知手
   段からの信号により前記パルスモータ回転位置検出手段
   からの各パルスモータの回転位置に対応した信号と前記
   第２のメモリからの絶対座標信号とに基づいて所定軌道
   に戻る為のパルスデータを作成して該データを各パルス
   モータに与える制御装置を備えたアーム移動を司どるモ
   ータの制御装置。