JPS63199940A - 除振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁石の反発力を利用して精密機器等の支持板
を３次元に安定して浮上させ該精密機器への微振動の入
力を低減し得る磁気浮上型の除振装置に関する。

［従来の技術］ レーザ光を利用したＬＳＩやＣＤディスク原版の製造機
器等では特に微振動の入力を低減する必要がある。

従来のこの種の装置としては、例えば特開昭５７−６９
１３６号に示される振動絶縁装置がある。

この振動絶縁装置は、非磁性材料からなる有底筒状の内
筒管体と外筒管体との間に相反発する同極性の磁石体を
上下に対向させて配置し、上方の磁石体は精密機器等を
支持する支持板の外周縁部下面に固着し、かつ、上記両
磁石体の周囲の内筒管体と外筒管体間の空隙を磁性流体
で満たしてなるものである。

したがって、機器等を載架した支持板は、上下に対向配
置された同極性の磁石体の反発作用とそれらの磁石体の
周囲に充満された磁性流体の磁気作用により所定位置に
浮遊静止する。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、従来の装置は、支持板に垂直方向の振動
に対しては有効であると考えられるが水平方向の捩りを
含めた振動に対しては磁石体は殆ど寄与せず、その代わ
りに磁石体の両側に満たされている磁性流体の振動吸収
作用に依存するものであるから、支持板上に搭載された
精密機器等に対する振動入力を有効に低減することはで
きなかった。また、磁石体の周囲の空隙を多量の磁性流
体で満たす必要があり、それに伴い装置が大形化し高価
なものになるという問題があった。

本発明は、上記の問題点を解消するためになされたもの
で、３次元に完全に浮上することができかつ安価にでき
る除振装置を得ることを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 本発明に係る除振装置は、相反発する同極性の内外のシ
リンダ状磁石体を両磁石体の間に減衰材即ち、粘弾性物
質、磁性流体、ゴム等を介在させて同心に組込んでなる
磁石装置と、該磁石装置を水平面内で軸廻長方向が直交
する状態に所要数配置するとともに前記内外のシリンダ
状磁石体をそれぞれ固定した基盤および該基盤の上方に
あって対象機器を支持する支持板とを備えてなるもので
ある。

［作　用コ 本発明による除振装置では、基盤と支持板の間に軸廻長
方向を水平面内で直交させて配置された磁石装置が同極
性の内側シリンダ状磁石体と外側シリンダ状磁石体とを
減衰材を介在させて同心に組込んでなるものであるから
、垂直方向の振動に対してのみならず水平方向の振動に
対しても内側シリンダ状磁石体と外側シリンダ状磁石体
間における磁気反発作用と減衰材の振動吸収作用の双方
が行われ、そのため支持板すなわちその上に搭載された
精密機器を３次元に完全に浮上支持する。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図は本発明の実施例の平面図、第２図は同正面図、
第３図は第１図ｍ−■線における断面図である。図にお
いて、１は基盤、２は本発明における磁石装置３により
基盤１上に浮上した状態に支持される支持板で、精密機
器等の対象機器４を搭載している。５および６は対象機
器４等の重量を支持するために基盤１と支持板２の間に
上下対向させて配置した同極性の磁石板である。

磁石装置３は、さらに第４図にその基本構成を示すよう
に、相反発する同極性の内外１組を同心に組込まれた内
側シリンダ状磁石体８および外側シリンダ状磁石体９と
、これらのシリンダ状磁石体８，９の間に介在せしめら
れた粘弾性物質または磁性流体等の減衰材１０とからな
っている。そして、このように構成された磁石装置３を
複数それらの軸廻長方向が水平面内で互いに直交するよ
うに基盤１と支持板２の間に配置する。すなわち、第１
図に示すように、互いに直交するＸＹ方向に磁石装置３
を横型に配置し、それぞれの外側シリンダ状磁石体９を
直接または適当な取付部材（図示せず）を介して基盤１
側に固定し、それぞれの内側シリンダ状磁石体８をＵ字
状ないしコ字状の取付軸１１を介して支持板２側に固定
する。なお、磁石装置３は左右対称に配置することが好
ましい。

第４図に示す磁石装置３では、内側シリンダ状磁石体８
と外側シリンダ状磁石体９の磁気反発力のために軸方向
の位置が安定せず、内側シリンダ状磁石体８が外側シリ
ンダ状磁石体９の外に飛出そうとする力が働くので、こ
の力を規制するために複数の磁石装置３をその軸廻長方
向が互いに直交するように配置するものである。この場
合、第５図に示すように、１対の磁石装置３の内側シリ
ンダ状磁石体８同士を直角形の曲り軸１２で連結しても
よい。もちろん、曲り軸１２は支持板２の下面に適当な
取付部材（図示せず）を介して連結される。

磁石板５，６は専ら重量支持のためのものであり、上記
の磁石装置３では搭載機器４等の重量を十分に支持し得
ない場合に用いるとよい。

次に、上記のように構成された実施例の作用を説明する
。

磁石装置３の内側シリンダ状磁石体８と外側シリンダ状
磁石体９は同極性で間に減衰材１０を挾んで同心に組込
まれているので、基盤１に水平方向および垂直方向の振
動が生じた場合、内側シリンダ状磁石体８と外側シリン
ダ状・磁石体９間の磁気反発作用と減衰材１０の振動吸
収作用の双方が働き、支持板２およびその上に搭載され
た精密機器等の対象機器４を完全に空中に支持し、対象
機器４への振動入力を絶縁する。また、磁石板５゜６は
対象機器４等の重量がある程度大きいときに必要に応じ
て設けられ゛、その磁気反発作用により対象機器４等の
重量を負担し上記の磁石装置３は専ら支持板２の浮上機
構として機能する。

なお、上記の実施例では、外側シリンダ状磁石体９を基
盤側に固定し、内側シリンダ状磁石体８は支持板側に固
定する場合について説明したが、それぞれ反対側に、す
なわち外側シリンダ状磁石体９を支持板側に、内側シリ
ンダ状磁石体８は基盤側に固定する場合であっても同様
の作用効果が得られるものであることはいうまでもない
。

また、内側シリンダ状磁石体８は必ずしも中空体状であ
る必要はなく、棒状のものを含むものである。この場合
、内側シリンダ状磁石体８の両端を直接非磁性材料の取
付部材により支持することにより支持板２または基盤１
に固定することができる。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、基盤と支持板の間に軸延
長方向を水・平面内で直交させて配置された磁石装置が
同極性の内側シリンダ状磁石体と外側シリンダ状磁石体
とを減衰材を介在させて同心に組込んでなるものである
から、精密機器等を搭載した支持板を基盤の上方で完全
に空中に浮上支持することができ、該精密機器への有害
な振動入力を低減することができる。また、本発明装置
は上記のように簡単な構成のため安価に提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の平面図、第２図は同正面図、
第３図は第１図■−■線における断面図、第４図は本発
明における磁石装置の基本構成を示す斜視図、第５図は
第４図の磁石装置の連結の一例を示す平断面図である。 １・・・基盤　　　　　　　　２・・・支持板３・・・
磁石装置　　　　　　４・・・対象機器８・・・内側シ
リンダ状磁石体 ９・・・外側シリンダ状磁石体 １０・・・減衰材 代理人　弁理士　　佐々木　宗　治 第３図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 相反発する同極性の内外のシリンダ状磁石体を両磁石体
   の間に減衰材を介在させて同心に組込んでなる磁石装置
   と、該磁石装置を水平面内で軸延長方向が直交する状態
   に所要数配置するとともに前記内外のシリンダ状磁石体
   をそれぞれ固定した基盤および該基盤の上方にあつて対
   象機器を支持する支持板とを備えてなることを特徴とす
   る除振装置。