JPS63198820A - 超音波ジヤイロスコ−プ - Google Patents

超音波ジヤイロスコ−プ

Info

Publication number
JPS63198820A
JPS63198820A JP3171487A JP3171487A JPS63198820A JP S63198820 A JPS63198820 A JP S63198820A JP 3171487 A JP3171487 A JP 3171487A JP 3171487 A JP3171487 A JP 3171487A JP S63198820 A JPS63198820 A JP S63198820A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
housing
piezoelectric body
surface acoustic
ultrasonic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3171487A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Kasahara
笠原 征夫
Tomoko Abe
阿部 友子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP3171487A priority Critical patent/JPS63198820A/ja
Publication of JPS63198820A publication Critical patent/JPS63198820A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は超音波を利用したジャイロスコープに使わるも
のである。
従来の技術 従来ジャイロスコープは、慣性を応用した機械式のもの
や、最近になって実用化されようとしている光リンク式
、光フアイバ式のものなどがあった。
発明が解決しようとする問題点 しかし、これらのものは、高精度加工技術が必要であっ
たp、レーザの信頼性を含めて精度が不足したりして、
高価格のため汎用としての用途には適さない難点があっ
た。
本発明になる超音波ジャイロスコープは、高精度を有し
ながら安価に提供できるもので、77クトリオートメー
シヨン用、あるいは自動車用等のナビゲーションシステ
ム用としての用途など汎用として種々の用途に適するも
のである。
問題点’l:屏決解決ための手段 本発明は圧電体上に交叉型電極を′gi数個設け、その
1=間に検出電極を設け、交叉型電極から弾性表面波を
発生させ、前記検出電極から前記弾性表面波を出力させ
て、前記圧電体の物理的変移に伴う前記弾性波の変化全
前記検出電極からの出力によV検知して、前記物理豹変
′6を検出するものでちる。
作  用 ν1jえば、圧電体を搭載する筐体が加速あるいは減速
した場合に圧電体が受ける変位を前記圧電体を伝播する
弾性表面波によって、前記筐体の移動等を検知すること
ができる。
実施例 以下に本発明の詳細について図面を用いて説明する。第
1図は本発明になる超音波ジャイロスコープの構成図を
示す。図の1はL L N b Os等から成る圧電体
板で、その表面上に2組の交差指型電極2.3を蒸着に
より形成しである。2組の交差指型電極2,3の中間に
第3の電極4を設け、交差指型電極2,3に、外部より
信号発生器6,6より高周波信号を入力すると、電極4
から信号発生器5,6からの発振周波数の2倍の周波数
の信号が得られる。この出力波形の一例であるコンボリ
ューション出力を第2図に示す。
金弟1図に示した系′f、第3図に示すように筺体11
内に収納し、圧電体板1および信号発生器12を筺体1
1内部にしっかりと固定する。第3図では信号発生器は
1個として交差指型電極2,3には同じ信号が入力され
る。第3電極4からの出力は端子13に第2図のような
信号が出力される。
ここで、令弟3図矢印の方向に重体11が加速度あるい
は減速度を受けた場合、篭体内に固定された圧電体板1
も加速度あるいは減速度を受け、そのため、交差指型゛
tハ極2から第3電極4へ進行する弾性表面波と、又差
指型1E極3から第3屯極4へ進行する弾性表面波との
位相が僅か変化する。
その結果第3電極4からの出力信号は第4図に示すよう
に、第2図に比べて小さな出力となる。
この出力信号の大きさは、筐体11に加わる加速度ある
いは減速度の大きさに応じて変化する。
したがってこの出力信号の大きさによって、加速度ある
いは減速度の大きさを求めることができる。
これは第3図の筺体11に対しての円周方向への加速、
減速に対しても同様であり、簡単な構造の超音波ジャイ
ロスコープを提供できるものである。
発明の効果 このように本発明になる超音波ジャイロは、簡単な構造
であり、可動部が少なく安定で安価なものであり、産業
上その他広い用途に適する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の超音波ジャイロスコープの
構成図、第2図はその出力信号波形図、第3図は第1図
の構成をより具体的にした超音波ジャイロスコープの構
成図、第4図は第3図に示した超音波ジャイロスコープ
が加速あるいは減速された場合の出力迩波形図である。 1・・・・・・圧電体板、2,3・・・・・・交差指型
゛成極、4・・・・・・第3電極、6,6.12・・・
・・・信号発生源、11・・・・・・筐体、13・・・
・・・出力端子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第 2 図 第 3 図 $ 4 z

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 圧電体表面上に、弾性表面波を発生する交差指型電極を
    対向させて設け、前記交差指型電極間に検出電極を設け
    、前記交差指型電極の各々より発生された弾性表面波の
    周波数の2倍の周波数をもつ出力を検出電極より取り出
    し、前記検出電極からの出力により、前記圧電体の物理
    的変移を検出することを特徴とする超音波ジャイロスコ
    ープ。
JP3171487A 1987-02-13 1987-02-13 超音波ジヤイロスコ−プ Pending JPS63198820A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3171487A JPS63198820A (ja) 1987-02-13 1987-02-13 超音波ジヤイロスコ−プ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3171487A JPS63198820A (ja) 1987-02-13 1987-02-13 超音波ジヤイロスコ−プ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63198820A true JPS63198820A (ja) 1988-08-17

Family

ID=12338731

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3171487A Pending JPS63198820A (ja) 1987-02-13 1987-02-13 超音波ジヤイロスコ−プ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63198820A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007034759B4 (de) * 2006-07-25 2016-02-25 Denso Corporation Winkelgeschwindigkeitssensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007034759B4 (de) * 2006-07-25 2016-02-25 Denso Corporation Winkelgeschwindigkeitssensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4750364A (en) Angular velocity and acceleration sensor
US4306456A (en) Elastic wave accelerometer
JP3489487B2 (ja) 角速度検出装置
JP3151927B2 (ja) 加速度センサ
US6516665B1 (en) Micro-electro-mechanical gyroscope
US6321598B1 (en) Angular velocity sensor device having oscillators
US6089088A (en) Vibrating microgyrometer
GB2158579A (en) Angular rate sensor system
US3033043A (en) Digital accelerometer system
JP2000074673A (ja) 複合運動センサ
US3413859A (en) Digital rate gyro
JPH08159806A (ja) 方位センサおよび方位距離センサ
JPS63198820A (ja) 超音波ジヤイロスコ−プ
CN108398575B (zh) 一种静电谐振式加速度计及加速度测量方法
JPS63154915A (ja) 振動子の駆動・検出回路装置
JP3756668B2 (ja) 複合センサ
JP2001194148A (ja) 振動ジャイロ
JPH09145736A (ja) 加速度と角速度の複合センサ
JPS63198821A (ja) 超音波ジヤイロスコ−プ
JPH10318755A (ja) 加速度角速度センサ
JPS6246266A (ja) 振動センサ
JPS6321518A (ja) 振動センサ
SU779885A1 (ru) Частотный датчик виброускорений
JP3129022B2 (ja) 加速度センサ
JP2814891B2 (ja) 振動ジャイロ