JPS6319805B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6319805B2
JPS6319805B2 JP53094101A JP9410178A JPS6319805B2 JP S6319805 B2 JPS6319805 B2 JP S6319805B2 JP 53094101 A JP53094101 A JP 53094101A JP 9410178 A JP9410178 A JP 9410178A JP S6319805 B2 JPS6319805 B2 JP S6319805B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flowmeter
flow rate
circuit
flow
flow path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP53094101A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5522101A (en
Inventor
Akira Takada
Hideo Numata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OBARA KIKI KOGYO KK
Original Assignee
OBARA KIKI KOGYO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by OBARA KIKI KOGYO KK filed Critical OBARA KIKI KOGYO KK
Priority to JP9410178A priority Critical patent/JPS5522101A/ja
Publication of JPS5522101A publication Critical patent/JPS5522101A/ja
Publication of JPS6319805B2 publication Critical patent/JPS6319805B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Details Of Flowmeters (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はオンラインで温度、圧力、粘度等に基
づく流体補正が可能な流量測定装置に関する。
一般に、此の種の流量測定装置は、予じめ基準
流量計又はパイププルーバー等の検定装置で較正
された流量計を流路に配設し、該流路中に設けた
検出素子により補正量を検出し乍ら流量計の計測
値を精度よく補正できるように構成してあるので
流量計の検定又は較正はその都度流路から取外し
て行わなければならず所謂オンラインで流量計を
較正できないため温度、圧力、粘度等の変化に基
づく流体補正作業を流量測定の過程で連続して行
なつているのが現状である。
本発明は叙上の点に着目して成されたものでオ
ンライン中に基準流量計を配置し、流量測定用の
流量計を絶えず検定、較正した後に流量計測でき
るようにした流量測定装置を提供することをその
基本目的とする。
又、本発明は流路のオンライン中に基準流量計
と流量計を配列し、流量測定に先立ち流量計を基
準流量計で検定、較正した後、流路切換操作によ
つて較正された流量計によつて流量計測できるよ
うにした流量測定装置を提供するにある。
更に、本発明の他の目的とする処は、基準流量
計から得られる流量に比例した基準の信号と流量
計から発信される流量に比例した被補正の信号と
を対比し、基準信号に対する被補正信号の差を補
正量として流量計を検定、較正できるようにした
流量測定装置を提供するにある。
更に又、本発明の他の目的とする処は、測定容
量の異なる二以上の基準流量計に対し同様に測定
容量の異なる二以上の流量計とを夫々竝列状態で
而かも切換機構を介して流路のオンライン中に連
設して流量の変化に対応して流路を選択的に切換
えることにより流量補正が簡単能率よくできるよ
うにした流量測定装置を提供するにある。
尚、本発明の他の目的とする処は、オンライン
に対し模擬負荷を接続し、該模擬負荷を利用して
前記検定、較正を行うようにした流量測定装置を
提供するにある。
尚又、本発明の他の目的とする処は、基準流量
計を用いて流量計の検定、較正操作に入る前に、
流路オンライン中の気体分の除去操作を行えるよ
うにした流量測定装置を提供するにある。
更に尚、本発明の他の目的とする処は、流路オ
ンライン中に流量計の流量計測に悪影響を与えな
いような例えば脈流、断続流等の影響防止用のダ
ンピング回路を附設した流量測定装置を提供する
にある。
以下に、本発明の一実施例を図面と共に説明す
る。1は被計測流体が流れる流路で、測定容量の
異なる二種類のマスター流量計即ち基準流量計
2,2′と同様に測定容量の異なる四個の細管式
流量計3,3′,3″,3を夫々竝列にして連結
してある。但し、、前記基準流量計2及び細管式
流量計3を夫夫一個として使用することもでき
る。4,4′は基準流量計2,2′を切換えるバル
ブ等の切換回路、5,5′は細管式流量計3,
3′,3″,3への流れ方向を切換えできるバル
ブ等の切換回路を示し、流路1を流れる流体の流
れ方向を選択的に変換して基準流量計2,2′及
び細管式流量計3,3′,3″,3のいずれか一
個づつと連通できるようにしてある。
而して、基準流量計2,2′からは夫々、流量
の基準量を電気信号として発信でき、該信号を補
正装置6の入力回路7に伝達できるようになつて
おり特定の選択された基準流量計2又は2′の信
号、例えば流量に比例したパルス信号を次段のパ
ルス逓減回路8に送信して必要なパルス数に変換
せしめ、基準係数回路9を経て演算回路10に加
えるものである。
一方、前記細管式流量計3,3′,3″,3に
は各細管式流量計3又は3′或は3″、或は又3
を選択的に切換えてその前後の流体圧を例えばア
ナログ量として前記切換回路5及び5′より伝達
して差圧を測定し、之れにより各細管式流量計3
又は3′或は3″或は又3の計数流量を検知でき
る差圧発信器11を接続し、該差圧発信器11よ
りの差圧信号を補正装置6の入力回路12に伝達
し、次段のアナログ一周波数変換器13によつて
所望の流量に比例したパルス信号に変換できるも
のである。この流量に比例したパルス信号は、補
正切換回路14を経てゲート回路15に伝達され
ゲート信号N1が前記演算回路10に加えられる
ものである。
茲に於て、演算回路10には、前記基準流量計
2又は2′に於ける基準係数回路9よりの基準係
数信号N0と前記流量計3又は3′或は3″或は又
3に於けるゲート回路15よりのゲート信号
N1とが比較演算されK0=N1−N0/N1の式に基づい て得られる値が次段の補正回路16により補正さ
れF0=K0Fとなり更にデジタル−アナログ変換器
17を経てI0=K1F0となり例えば直流電流4〜
20mAの範囲で正確な補正値が得られるものであ
る。
又、本発明の実施例には、流路1中に混入した
空気等の気体排出のための気体排出操作回路18
が設けられており該回路18からの信号によつて
基準流量計2の切換回路4,4′、細管式流量計
3,3′,3″,3の切換回路5,5′及び前記
切換回路4の上流側流路1並びに気液分離器1a
に夫々設けた排気弁19を開放して所謂エア抜き
操作を行わせることができるものである。
更に、補正装置6には細管式流量計3,3′,
3″,3の零点を補正できる零点補正回路20
が入力回路12に接続されており、前記検定、較
正に先立ち操作できるようにタイマー回路21と
接続してある。
而して、該タイマー回路21は、測定又は検定
のいずれかを切換えできる制御機構22と連結さ
れ、而かも前記気体排出操作回路18と接続して
ある。更に該タイマー回路21は流量計選択回路
23と接続しており切換回路4,4′及び5,
5′と接続して特定の基準流量計又は細管式流量
計を選択できるようにしてある。
尚、前記検定、較正操作が完了した時は検定終
了表示部24が働き、ランプ、ブザー等で表示で
きるようになつている。
又、前記検定、較正操作は、前記制御機構22
を検定操作に切換える事により流路1の下流側に
設けた切換バルブ25を図示の矢符方向に切換え
ると共に流量計選択回路23の働きによりダンピ
ング回路26の切換バルブ27を同じく図示の矢
符方向に切換え且つ同時に切換回路28を流路1
に対して並列に接続して置き切換回路28により
測定すべき流量に相当する模擬負荷回路29,2
9′,29″,29を選択的に切換えて検定、校
正などの操作を行う。模擬負荷回路29,29′,
29″,29は、例えばニードル弁、オリフイ
ス等の半固定的な流量調整機構で、実際の負荷流
量に相当するもので、この模擬負荷回路29,2
9′,29″,29を通して外部へ排出される。
茲に、前記ダンピング回路26は、流量絞り弁
30と、前記切換バルブ27のバイパス路31を
備え且つアキユームレーター32並びに調圧弁3
3を以つて構成され流路1の下流側に発生する脈
流、断続流等の影響を防止している。
又、流路1には上流側に調圧弁34を介在して
上流側の流れの変動を阻止するものである。尚、
符号35は流路1を検定側から測定用に切換える
ための側路である。
次に、本発明に於ける検定、較正のための操作
過程を説明する。
先ず、第一に制御機構22を働かせて検定、較
正操作に切換える。
然る時は、前述した如く流路1が切換バルブ2
5及び切換回路28の働きにより選択された模擬
負荷29又は29′、或は29″或は又29と接
続され、その接続された模擬負荷回路で流量調整
された流量で流体が流れて外部に排出される。ま
た、タイマー回路21の働きにより気体排出回路
18の作用で各排気弁19が開き所謂空気抜き動
作が開始され、同時に零点補正回路20の働きに
より流量計の零点が調整される。
斯くして、流量計選択回路23が働き、特定の
基準流量計2又は2′と細管式流量計3又は3′或
は3″或は又3とが選択的に接続され、両流量
計に基づく検定、較正のための流体が流路1に沿
つて流れることとなる。
前述した作用の下に補正較正された値はアナロ
グ量として表示され且つ検定の終了した表示を表
示部24で示されるので、之れと制御機構22の
切換え操作により「測定」側に切換えを行えば前
述の如くバルブ25及び切換回路28の切換えに
より模擬負荷回路は閉じ、而かも側路35が開通
し、基準流量計との流路が遮断されるので細管式
流量計による流量計測を直ちに行うことができる
ものである。
斯様に検定、較正操作と流量計測操作とを繰返
えして行うことにより流量計は流量測定の都度、
検定、較正され極めて精度良く流量計測できるも
のである。
以上、本発明について、細管式流量計3,3′
からの信号をアナログ量として用いたが、この出
力信号がデジタル量の場合は前記実施例に於てア
ナログ一周波数変換器13を省略して入力回路1
2より直接補正回路14と接続するものである。
本発明は叙上の如く成るので流路に設けた細管
式流量計は同様に流路に設けた基準流量計によつ
て流量測定の度毎に正確に検定、較正でき、圧
力、温度、又は粘度等の流体条件の変化を正確に
検出して測定できるものであるから、流体の測定
精度を著しく向上できるものである。さらに、実
際の流量に相当する流量をあらかじめ模擬負荷回
路で設定し、基準流量計を校正しておくので作業
能率が著しく向上し、とくに検定すべき流量ポイ
ントが多い場合には有効である。
【図面の簡単な説明】
図は本発明に係る流量測定装置の一実施例を示
すブロツク図である。 1……流路、2,2′……基準流量計、3,
3′,3″,3……細管式流量計、4,4′,5,
5′……切換回路、6……補正装置、7,12…
…入力回路、10……演算回路、18……気体排
出操作回路、20……零点補正回路、21……タ
イマー回路、26……ダンピング回路、29,2
9′,29″,29……模擬負荷流路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 流路に複数の基準流量計と複数の細管式流量
    計とをそれぞれ流路切替回路を介して互いに選択
    可能に縦続接続し、前記細管式流量計よりの検出
    信号をデジタル信号とし、該デジタル信号と前記
    基準流量計からの信号を補正装置に供給すること
    により校正し、前記細管式流量計を配設した流路
    の下流側に流路切替回路を介して前記細管式流量
    計を校正するのに必要な流量を定めるための複数
    の模擬負荷流路を並列接続すると共に下流側の負
    荷変動の影響を防止するためのダンピング回路を
    設けたことを特徴とする流量測定装置。
JP9410178A 1978-08-03 1978-08-03 Flow meter Granted JPS5522101A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9410178A JPS5522101A (en) 1978-08-03 1978-08-03 Flow meter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9410178A JPS5522101A (en) 1978-08-03 1978-08-03 Flow meter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5522101A JPS5522101A (en) 1980-02-16
JPS6319805B2 true JPS6319805B2 (ja) 1988-04-25

Family

ID=14101044

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9410178A Granted JPS5522101A (en) 1978-08-03 1978-08-03 Flow meter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5522101A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010210528A (ja) * 2009-03-11 2010-09-24 Horiba Stec Co Ltd マスフローコントローラの検定システム、検定方法、検定用プログラム

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS582777A (ja) * 1981-06-30 1983-01-08 Citizen Watch Co Ltd 電子時計の設定装置
JPH07284532A (ja) * 1994-02-23 1995-10-31 Kawasumi Lab Inc 保存血液製剤のイオン濃度調整装置
US7150994B2 (en) * 1999-03-03 2006-12-19 Symyx Technologies, Inc. Parallel flow process optimization reactor
CN109099996B (zh) * 2018-09-13 2024-05-28 苏州市计量测试院 一种微小气体流量计校准装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3187551A (en) * 1961-08-17 1965-06-08 Nat Tank Co Automatic meter prover
JPS51127757A (en) * 1975-04-30 1976-11-08 Yokogawa Hokushin Electric Corp Monitoring device for flow meter
JPS51127754A (en) * 1975-04-30 1976-11-08 Hitachi Metals Ltd Observing method of cutting plane shape on sample svrface by evaporati on film

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3187551A (en) * 1961-08-17 1965-06-08 Nat Tank Co Automatic meter prover
JPS51127757A (en) * 1975-04-30 1976-11-08 Yokogawa Hokushin Electric Corp Monitoring device for flow meter
JPS51127754A (en) * 1975-04-30 1976-11-08 Hitachi Metals Ltd Observing method of cutting plane shape on sample svrface by evaporati on film

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010210528A (ja) * 2009-03-11 2010-09-24 Horiba Stec Co Ltd マスフローコントローラの検定システム、検定方法、検定用プログラム

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5522101A (en) 1980-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5002602B2 (ja) 流量制御装置の検定方法
US8744784B2 (en) Diagnostic mechanism in differential pressure type mass flow controller
EP1864104B1 (en) Wide range continuous diluter
US20170199529A1 (en) System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time
CA1163716A (en) On-line gas measurement and analysis system
CN101840232A (zh) 质量流量控制器的测试系统、测试方法、测试用程序
WO2009084422A1 (ja) 流量比率制御装置
KR101861369B1 (ko) 진단기구
JP2642880B2 (ja) 流量計の校正方法
WO2005123236A1 (ja) 基板処理装置
JPH11326161A (ja) 排気ガスのサンプリング装置
EP3088861B1 (en) Exhaust gas measurement system and method
KR20140129225A (ko) 반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치
JPS6348550B2 (ja)
US3937048A (en) Methods and apparatus for proving gas meters
JPS6319805B2 (ja)
JPH09182534A (ja) 灌水用液肥混入装置
JP2000039347A (ja) 流量検査装置
JPH0355770B2 (ja)
JPS6152409B2 (ja)
JPH0648330Y2 (ja) オリフィス径合否判別装置
JPH07120298A (ja) 流量計の器差試験装置
JPS5827020A (ja) 広範囲型流量測定装置
JPS618127A (ja) ガスブレンド装置
TW201231940A (en) Testing of flow meters