JPS63192582A - レ−ザ加工機 - Google Patents
レ−ザ加工機Info
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- JPS63192582A JPS63192582A JP62022591A JP2259187A JPS63192582A JP S63192582 A JPS63192582 A JP S63192582A JP 62022591 A JP62022591 A JP 62022591A JP 2259187 A JP2259187 A JP 2259187A JP S63192582 A JPS63192582 A JP S63192582A
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- JP
- Japan
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- laser
- laser beam
- processing
- machine
- processing machine
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing
- B23K26/0676—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing into dependently operating sub-beams, e.g. an array of spots with fixed spatial relationship or for performing simultaneously identical operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、レーザ発振器からのレーザ光を集光レンズ
に集光し、板金などのワークピースに穴加工、溶接ある
いは焼入れなどの熱切断加工を施すレーザ加工機に関す
る。
に集光し、板金などのワークピースに穴加工、溶接ある
いは焼入れなどの熱切断加工を施すレーザ加工機に関す
る。
（従来の技術）
近年、レーザ光のエネルギーを利用した金属などのワー
クピース用加工機いわゆるレーザ加工機は、金型などを
使用せずＮＧ制御装置により板金などの熱切断を手軽に
行なえるため、ｎ速に普及しつつある。
クピース用加工機いわゆるレーザ加工機は、金型などを
使用せずＮＧ制御装置により板金などの熱切断を手軽に
行なえるため、ｎ速に普及しつつある。
これらのレーザ加工機で加工するワークピースの大ぎさ
は大小さまざまなものがあるが、専用機を別にすると、
汎用のレーザ加工機は加工が考えられるワークピースの
最大の大きさに合わせて機械のストロークが決定される
。このため、普段はさほど大きなワークピースを加工し
なくても大型のレーザ加工機を導入するのが普通である
。
は大小さまざまなものがあるが、専用機を別にすると、
汎用のレーザ加工機は加工が考えられるワークピースの
最大の大きさに合わせて機械のストロークが決定される
。このため、普段はさほど大きなワークピースを加工し
なくても大型のレーザ加工機を導入するのが普通である
。
すなわち、加工ヘッドを１個搭載したレーザ加工機では
、Ｘ、Ｙなる大きさのワークピースを加・ エする場合
、機械のストロークはＸ、Ｙだ（プ必要であり、Ｘ、Ｙ
の大きさを右するワークテーブルは４ＸＹの専用面積を
必要とするのである。
、Ｘ、Ｙなる大きさのワークピースを加・ エする場合
、機械のストロークはＸ、Ｙだ（プ必要であり、Ｘ、Ｙ
の大きさを右するワークテーブルは４ＸＹの専用面積を
必要とするのである。
また、Ｙストロークの間でワークテーブルを必要精度に
保つ剛性を得るために、機械のベッド。
保つ剛性を得るために、機械のベッド。
サドルおよびワークテーブルとの摺動部、ボールネジな
どの送りＩ構部などは必然的に大きく重くかつ高価にな
る。
どの送りＩ構部などは必然的に大きく重くかつ高価にな
る。
（発明が解決しようとする問題点）
その結果、レーザ加工機は高コストとなり、何よりも据
付スペースを広くする必要があるなどの問題点がある。
付スペースを広くする必要があるなどの問題点がある。
一方、大出力のレーザ発振器における技術進歩は著しく
、例えば２倍の出力を有すレーザ発振器は従来のコスト
以下で製作される様になってきているが、その出力を最
大限に利用しぎれないという問題を抱えている。
、例えば２倍の出力を有すレーザ発振器は従来のコスト
以下で製作される様になってきているが、その出力を最
大限に利用しぎれないという問題を抱えている。
この発明は上記問題点を改善するため、レーザ加工機に
おける据付スペースを極力小さくすると共に送り機構を
出来るだ番プ小さくできるレーザ加工機を提供すること
にある。
おける据付スペースを極力小さくすると共に送り機構を
出来るだ番プ小さくできるレーザ加工機を提供すること
にある。
［発明の構成］
この発明は上記目的を達成するために、レーザ加工機に
備えられたレーザ発振器から発振されたレーザ光を集光
する各集光レンズを装着した複数の加工ヘッドを前記レ
ーザ加工機に設け、前記複数の加工ヘッドに対するレー
ザ光の入力を切換えるレーザ光切換装置を前記レーザ発
振器と前記複数の加工ヘッドとの間に設けてレーザ加工
機を構成した。
備えられたレーザ発振器から発振されたレーザ光を集光
する各集光レンズを装着した複数の加工ヘッドを前記レ
ーザ加工機に設け、前記複数の加工ヘッドに対するレー
ザ光の入力を切換えるレーザ光切換装置を前記レーザ発
振器と前記複数の加工ヘッドとの間に設けてレーザ加工
機を構成した。
（作用）
この発明のレーザ加工機を採用覆ることにより、複数の
加工ヘッドにレーザ光をレーザ光切換装置により切換え
ることによって、所定のワークピースに逐−熱切断加工
例えば穴加工が施されている。したがって、従来の加工
ヘッド１個で加工するレーザ加工機に比べて、据イ」【
プスペースが小さくなされると共に、送り機構を出来る
だけ小さくしたものが用いられる。
加工ヘッドにレーザ光をレーザ光切換装置により切換え
ることによって、所定のワークピースに逐−熱切断加工
例えば穴加工が施されている。したがって、従来の加工
ヘッド１個で加工するレーザ加工機に比べて、据イ」【
プスペースが小さくなされると共に、送り機構を出来る
だけ小さくしたものが用いられる。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図および第２図を参照するに、レーザ加工機１にお
けるベッド３上の後部側第１図において上部側にはコラ
ム５が垂直に立設しである。また、前記ベッド３上の前
部側第１図において下部側には、レーザ加工機１の前後
方向に移動自在なサドル７が設【プであり、そのサドル
７上にはレーザ加工機１の左右方向に移動自在なワーク
テーブル９が設けである。
けるベッド３上の後部側第１図において上部側にはコラ
ム５が垂直に立設しである。また、前記ベッド３上の前
部側第１図において下部側には、レーザ加工機１の前後
方向に移動自在なサドル７が設【プであり、そのサドル
７上にはレーザ加工機１の左右方向に移動自在なワーク
テーブル９が設けである。
このワークテーブル９上には、図示省略の支持ビンが多
数数句けられ、その支持ビン上に所定のワークピースＷ
が載置される。
数数句けられ、その支持ビン上に所定のワークピースＷ
が載置される。
前記サドル７およびワークテーブル９はそれぞれ図示省
略の送りネジを介してサーボモータによって前後、左右
方向に駆動されるようになっている。しかも、このサド
ル７およびワークテーブル９を駆動するサーボモータは
前記コラム５の第１図において左側に取付けたＮＧ制御
装置１１ににり制御される。
略の送りネジを介してサーボモータによって前後、左右
方向に駆動されるようになっている。しかも、このサド
ル７およびワークテーブル９を駆動するサーボモータは
前記コラム５の第１図において左側に取付けたＮＧ制御
装置１１ににり制御される。
前記コラム５の上方部には上部フレーム１３が一体的に
取（’ｊＵであり、その上部フレーム１３上にレーザ発
振器１５が設（プである。そのレーザ発振器１５に連結
していると共に、前記上部フレーム１３の先端部には支
持フレーム１７が一体的に改心１（］−である。
取（’ｊＵであり、その上部フレーム１３上にレーザ発
振器１５が設（プである。そのレーザ発振器１５に連結
していると共に、前記上部フレーム１３の先端部には支
持フレーム１７が一体的に改心１（］−である。
その支持フレーム１７のほぼ中央部には、前記レーザ発
振器１５から発振されたレーザ光ＬＢを順次切換えるた
めのレーザ光切換装置１９と、レーザ光ＬＢを反射させ
る反射ミラー２１とを支持する支持体２３が一体的に取
付（プである。
振器１５から発振されたレーザ光ＬＢを順次切換えるた
めのレーザ光切換装置１９と、レーザ光ＬＢを反射させ
る反射ミラー２１とを支持する支持体２３が一体的に取
付（プである。
前記レーザ光切換装置１９は詳細を後述するけれども、
レーザ光ＬＢを順次切換えるために、第１図に示されて
いるように、レーザ光ＬＢに対して例えば右斜目４５度
に傾けて支持体２３に支持されている。反射ミラー２１
は第１図に示されているように、前記レーザ光切換装置
１９によって透過したレーザ光Ｌ Ｂに対して例えば左
斜目４５度に傾けて支持体２３に支持されている。
レーザ光ＬＢを順次切換えるために、第１図に示されて
いるように、レーザ光ＬＢに対して例えば右斜目４５度
に傾けて支持体２３に支持されている。反射ミラー２１
は第１図に示されているように、前記レーザ光切換装置
１９によって透過したレーザ光Ｌ Ｂに対して例えば左
斜目４５度に傾けて支持体２３に支持されている。
前記支持フレーム１７の両側には、レーザ光の方向を９
０度変換させるためのペンドミラー２５゜２７と、集光
レンズ２９．３１を備えた第１．第２の加工ヘッド３３
．３５が第２図において上下方向へ延伸して設【プであ
る。すなわち、第１．第２の加工ヘッド３３．３５の上
方部に、レーザ光ＩＢを反射させるペンドミラー２５．
２７がぞれぞれレーザ光Ｌ Ｂに対して第２図に示され
ているように、右斜目、左斜目４５度に傾斜させて装着
しである。
０度変換させるためのペンドミラー２５゜２７と、集光
レンズ２９．３１を備えた第１．第２の加工ヘッド３３
．３５が第２図において上下方向へ延伸して設【プであ
る。すなわち、第１．第２の加工ヘッド３３．３５の上
方部に、レーザ光ＩＢを反射させるペンドミラー２５．
２７がぞれぞれレーザ光Ｌ Ｂに対して第２図に示され
ているように、右斜目、左斜目４５度に傾斜させて装着
しである。
第１．第２の加工ヘッド３３．３５の下方部には、前記
集光レンズ２９．３１が装着してあり集光レンズ２９．
３１は前記ペンドミラー２５．２７によって反射された
レーザ光ＬＢを集光している。
集光レンズ２９．３１が装着してあり集光レンズ２９．
３１は前記ペンドミラー２５．２７によって反射された
レーザ光ＬＢを集光している。
第１図、第２図の加工ヘッド３３．３５の下端部には図
示省略のノズルが装着してあり、レーザ光Ｌ Ｂはそれ
ぞれのノズルから投光され、前記ワークテーブル９上の
ワークピースＷに当てられているようになっている。
示省略のノズルが装着してあり、レーザ光Ｌ Ｂはそれ
ぞれのノズルから投光され、前記ワークテーブル９上の
ワークピースＷに当てられているようになっている。
上記構成によって、レーザ発振器１５から発振されたレ
ーザ光Ｌ Ｂはレーザ光切換装置１９によって１反射さ
れて第１の加工ヘッド３３のペンドミラー２５に入射し
、集光レンズ２９に集光される。
ーザ光Ｌ Ｂはレーザ光切換装置１９によって１反射さ
れて第１の加工ヘッド３３のペンドミラー２５に入射し
、集光レンズ２９に集光される。
一方、レーザ切換装置１９の作動により透過した透過光
は反射ミラー２１を経て第２図の加工ヘッド３５のペン
ドミラー２７に入射して反射し、集光レンズ３１に集光
される。
は反射ミラー２１を経て第２図の加工ヘッド３５のペン
ドミラー２７に入射して反射し、集光レンズ３１に集光
される。
而して、ワークテーブル９上に載置されたワークピース
ＷヲＮＣｆ［１（Ｊｌｉ［ｌ１ｔｉｆ １１ ニＪ：ッ
Ｔ前後、左右方向に適宜位置制御すると共に、レーザ発
振器１５からのレーザ光ＬＢがレーザ光切換装置１９を
経て第１．第２の加工ヘッド３３．３５に逐次順序立て
て切換えてレーザ加■例えば同一形状の穴加工が行なわ
れることになる。
ＷヲＮＣｆ［１（Ｊｌｉ［ｌ１ｔｉｆ １１ ニＪ：ッ
Ｔ前後、左右方向に適宜位置制御すると共に、レーザ発
振器１５からのレーザ光ＬＢがレーザ光切換装置１９を
経て第１．第２の加工ヘッド３３．３５に逐次順序立て
て切換えてレーザ加■例えば同一形状の穴加工が行なわ
れることになる。
前記レーザ光切換装置１９の具体的な構成が第３図に示
されている。第３図において、レーザ光切換装置１９は
、適宜形状のベース３７を備えており、このベース３７
に形成されたガイド部３９にはスライドブロック４１が
移動自在に支承されている。上記スライドブロック４１
には、ガイド部３９と平行に設（プられた螺子杆４３が
螺合してあり、この螺子杆４３はベース３７に装着され
たサーボモータ４５と連動連結しである。
されている。第３図において、レーザ光切換装置１９は
、適宜形状のベース３７を備えており、このベース３７
に形成されたガイド部３９にはスライドブロック４１が
移動自在に支承されている。上記スライドブロック４１
には、ガイド部３９と平行に設（プられた螺子杆４３が
螺合してあり、この螺子杆４３はベース３７に装着され
たサーボモータ４５と連動連結しである。
したがって、サーボモータ１！Ｉ５を適宜に回転するこ
とにより、スライドブロック４１がガイド部３９に案内
されて移動することとなる。
とにより、スライドブロック４１がガイド部３９に案内
されて移動することとなる。
前記スライドブロック４１にはモータ４７が装着されて
おり、このモータ４７の回転軸４９には回転部材５１が
着脱可能に一体的に設けられている。上記回転軸４９は
前述したレーザ発振器１５からのレーザ光Ｌ’Ｂの光軸
に対して交差する方向例えば４５度に設けられている。
おり、このモータ４７の回転軸４９には回転部材５１が
着脱可能に一体的に設けられている。上記回転軸４９は
前述したレーザ発振器１５からのレーザ光Ｌ’Ｂの光軸
に対して交差する方向例えば４５度に設けられている。
第３図に示されるように、前記回転部材５１は、モータ
４７により回転されることにより、レーザ光を透過光Ｌ
Ｂ＋ と反射光ＬＢ２とに切換える作用をなすものであ
る。
４７により回転されることにより、レーザ光を透過光Ｌ
Ｂ＋ と反射光ＬＢ２とに切換える作用をなすものであ
る。
前記回転部材５１は、本実施例においては、第４図に示
されるように形成されている。すなわち回転部材５１に
は、レーザ光ＬＬＢを透過自在な透光部５３と遮光自在
な遮光部５５とが形成されており、ト記遮光部５５の一
側面はレーザ光ＬＢを効率よく反射するように反射鏡面
で形成されている。
されるように形成されている。すなわち回転部材５１に
は、レーザ光ＬＬＢを透過自在な透光部５３と遮光自在
な遮光部５５とが形成されており、ト記遮光部５５の一
側面はレーザ光ＬＢを効率よく反射するように反射鏡面
で形成されている。
前記透光部５３と遮光部５５は交互に形成されており、
本実施例においては、透光部５３を扇形状に形成するこ
とにより、遮光部５５は同一幅でもって放射方向に延伸
した態様で形成しである。
本実施例においては、透光部５３を扇形状に形成するこ
とにより、遮光部５５は同一幅でもって放射方向に延伸
した態様で形成しである。
なお、上記透光部５３と遮光部５５との形状は、遮光部
５５を扇形状に形成して、透光部５３と遮光部５５との
形状を逆にすることも可能である。
５５を扇形状に形成して、透光部５３と遮光部５５との
形状を逆にすることも可能である。
以上のごとき構成において、第１の加工ヘッド３３を作
動制御する場合には、回転部材５１の遮光部５５をレー
ザ発振器１５からのレーザ光Ｉ Ｂが入射し反射される
ように位置固定すると共に、第２の加工ヘッド３５を作
動制御する場合には、回転部材５１の透光部５３をレー
ザ発振器１５からのレーザ光ＬＢが入射し透過されるよ
うモータ４７を若干回転せしめて位置固定することによ
って第１．第２の加工ヘッド３３．３５を順次切換える
ことが出来る。
動制御する場合には、回転部材５１の遮光部５５をレー
ザ発振器１５からのレーザ光Ｉ Ｂが入射し反射される
ように位置固定すると共に、第２の加工ヘッド３５を作
動制御する場合には、回転部材５１の透光部５３をレー
ザ発振器１５からのレーザ光ＬＢが入射し透過されるよ
うモータ４７を若干回転せしめて位置固定することによ
って第１．第２の加工ヘッド３３．３５を順次切換える
ことが出来る。
なお、回転部材５１を連続回転せしめることによって、
レーザ光切換装置１９は交互に透過光と反射光を形成せ
しめることになるから、第１．第２の加工ヘッド３３．
３５を同時に作用せしめることにも使用可能である。
レーザ光切換装置１９は交互に透過光と反射光を形成せ
しめることになるから、第１．第２の加工ヘッド３３．
３５を同時に作用せしめることにも使用可能である。
以上のごとぎ説明から理解されるように、第１゜第２の
加工ヘッド３３．３５はレーザ光切換装置１９の作動に
より、逐次順序立てて切換えて使用することができるの
Ｃ１例えば左右方向における機械のス１〜ロークが１／
２で足りることになり、ワークテーブル９の専有面積は
、第１図に示されテイルように、１．５ＹＸ２Ｘ＝３Ｘ
Ｙとなり、従来の４ＸＹに比べて少なくてすむ。
加工ヘッド３３．３５はレーザ光切換装置１９の作動に
より、逐次順序立てて切換えて使用することができるの
Ｃ１例えば左右方向における機械のス１〜ロークが１／
２で足りることになり、ワークテーブル９の専有面積は
、第１図に示されテイルように、１．５ＹＸ２Ｘ＝３Ｘ
Ｙとなり、従来の４ＸＹに比べて少なくてすむ。
また、機械のストロークが１／２となるため、ベッド３
．サドル７および摺動部、ボールネジなどが従来のもの
に比べて１／２の大きさのもので使用することができる
。
．サドル７および摺動部、ボールネジなどが従来のもの
に比べて１／２の大きさのもので使用することができる
。
なお、−１二述の説明は加工ヘッドを２個使用した場合
について行なったが、Ｎ個の加工ヘッドを設（プてレー
ザ光切換装置によりレーザ光をＮ分割に切換えるように
すれば機械のストロークのＮ倍の大ぎさのワークピース
を加工することができる。
について行なったが、Ｎ個の加工ヘッドを設（プてレー
ザ光切換装置によりレーザ光をＮ分割に切換えるように
すれば機械のストロークのＮ倍の大ぎさのワークピース
を加工することができる。
さらに、機械の大きさおよび専有面積の面からとらえれ
ば、従来の機械に比べて小さくすることができる。すな
わち、従来の加工ヘッド１個に対して本実施例における
加工ヘッドを２個、３個および４個とすることにより、
専有面積は０．７５倍、０．６７倍および０．５６倍に
することができる。
ば、従来の機械に比べて小さくすることができる。すな
わち、従来の加工ヘッド１個に対して本実施例における
加工ヘッドを２個、３個および４個とすることにより、
専有面積は０．７５倍、０．６７倍および０．５６倍に
することができる。
なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実施
し得るものである。
、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実施
し得るものである。
［発明の効果］
以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、レーザ加工機に複数の加工ヘッドを設【
ノ、その各加工ヘッドをレーザ光切換装置によりレーザ
光を作動せしめるようにしであるから、レーザ加工機の
据付面積を従来のレーザ加工機に比べて極力小ざくする
ことができる。
発明によれば、レーザ加工機に複数の加工ヘッドを設【
ノ、その各加工ヘッドをレーザ光切換装置によりレーザ
光を作動せしめるようにしであるから、レーザ加工機の
据付面積を従来のレーザ加工機に比べて極力小ざくする
ことができる。
さらに、ワークテーブルを駆動させる送り１幾禍を従来
のものに比べて小さくすることができる。
のものに比べて小さくすることができる。
第１図はこの発明を実施した一実施例のレーザ加工機の
平面図、第２図は第１図にお（プる正面図である。 第３図は本実施例に使用されるレーザ光切換装置の平面
図、第４図は第３図における矢印１■方向からの矢視図
である。 （図面の主要な部分を表わす符号の説明］１・・・レー
ザ加工機 ９・・・ワークテーブル１５・・・レーザ発
振器 １９・・・レーザ光切換装置３３．３５・・・第
１．第２の加工ヘッド５１・・・回転部材 ５３・
・・透光部５５・・・遮光部 代理人 弁理士 三 好 保 男 第１図
平面図、第２図は第１図にお（プる正面図である。 第３図は本実施例に使用されるレーザ光切換装置の平面
図、第４図は第３図における矢印１■方向からの矢視図
である。 （図面の主要な部分を表わす符号の説明］１・・・レー
ザ加工機 ９・・・ワークテーブル１５・・・レーザ発
振器 １９・・・レーザ光切換装置３３．３５・・・第
１．第２の加工ヘッド５１・・・回転部材 ５３・
・・透光部５５・・・遮光部 代理人 弁理士 三 好 保 男 第１図
Claims (1)
- （１）レーザ加工機に備えられたレーザ発振器から発振
されたレーザ光を集光する各集光レンズを装着した複数
の加工ヘッドを前記レーザ加工機に設け、前記複数の加
工ヘッドに対するレーザ光の入力を切換えるレーザ光切
換装置を前記レーザ発振器と前記複数の加工ヘッドとの
間に設けてなることを特徴とするレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62022591A JPS63192582A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | レ−ザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62022591A JPS63192582A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | レ−ザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63192582A true JPS63192582A (ja) | 1988-08-09 |
| JPH0570557B2 JPH0570557B2 (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=12087090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62022591A Granted JPS63192582A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | レ−ザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63192582A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5378582A (en) * | 1992-09-29 | 1995-01-03 | Bausch & Lomb Incorporated | Symmetric sweep scanning technique for laser ablation |
| US5498508A (en) * | 1992-09-29 | 1996-03-12 | Bausch & Lomb Incorporated | Symmetric scanning technique for laser ablation |
| JPH08332583A (ja) * | 1995-05-15 | 1996-12-17 | Elpatronic Ag | ワークピースを結合するための方法及び薄板を複合板に溶接するための装置 |
| US6008469A (en) * | 1997-03-27 | 1999-12-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser beam branching apparatus |
| JP2007218008A (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Ｙｋｋ Ａｐ株式会社 | 連段窓 |
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| JPS54113557U (ja) * | 1978-01-30 | 1979-08-09 | ||
| JPS57111486U (ja) * | 1980-12-24 | 1982-07-09 |
-
1987
- 1987-02-04 JP JP62022591A patent/JPS63192582A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS54113557U (ja) * | 1978-01-30 | 1979-08-09 | ||
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| JP2007218008A (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Ｙｋｋ Ａｐ株式会社 | 連段窓 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0570557B2 (ja) | 1993-10-05 |
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