JPS63188926A - Manufacture of laminated porcelain capacitor - Google Patents

Manufacture of laminated porcelain capacitor

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JPS63188926A
JPS63188926A JP62020851A JP2085187A JPS63188926A JP S63188926 A JPS63188926 A JP S63188926A JP 62020851 A JP62020851 A JP 62020851A JP 2085187 A JP2085187 A JP 2085187A JP S63188926 A JPS63188926 A JP S63188926A
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JP
Japan
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dielectric layer
green sheet
base film
dielectric
electrodes
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Pending
Application number
JP62020851A
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Japanese (ja)
Inventor
堀部 泰孝
大谷 凡夫
秀行 沖中
堀井 滋夫
荻野 久佳
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Reiko Co Ltd
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Reiko Co Ltd
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、積層磁器コンデンサの製造方法に関するもの
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor.

従来の技術 近年、ラジオ、マイクロカセットレコーダ、電子チュー
ナ、ビデオカメラなどの超小型、薄型軽量電子機器の発
展に伴い、回路素子として使用されるコンデンサの小型
、大容量化が強く要求されるようになってきた。これら
の要求を満足する部品として積層磁器コンデンサが知ら
れている。
Background of the Invention In recent years, with the development of ultra-compact, thin, and lightweight electronic devices such as radios, microcassette recorders, electronic tuners, and video cameras, there has been a strong demand for smaller and larger capacity capacitors used as circuit elements. It has become. A multilayer ceramic capacitor is known as a component that satisfies these requirements.

周知のようにn層のセラミック誘電体とn対の電極より
なるコンデンサの静電容量C(pF)は次式で表される
As is well known, the capacitance C (pF) of a capacitor consisting of n layers of ceramic dielectric and n pairs of electrodes is expressed by the following equation.

ただし、Sは電極面積(mdi) 、ε1は比誘電率、
tは誘電体の厚み(聴)であり、nは重ね枚数である。
However, S is the electrode area (mdi), ε1 is the relative dielectric constant,
t is the thickness of the dielectric, and n is the number of layers.

ここで、n−1は単板コンデンサ、n≧2は積層磁器コ
ンデンサである。
Here, n-1 is a single-plate capacitor, and n≧2 is a multilayer ceramic capacitor.

そして、積層磁器コンデンサの誘電体の1層の厚みは、
数十μm程度に設計されており、従来の単板のコンデン
サの厚み数百μmに比較して殉以下の厚さに相当する。
The thickness of one dielectric layer of a multilayer ceramic capacitor is
It is designed to have a thickness of about several tens of micrometers, which is equivalent to a thickness of less than 100 micrometers compared to the several hundred micrometers of conventional single-plate capacitors.

また、上記式に示すように容量は厚さに反比例し、積層
した誘電体の総数に比例することから、誘電体の1層の
厚さを薄くするほど容量は増大し、しかも同一体積で比
較すると誘電体の層数も増加させることができる。従っ
て、積層磁器コンデンサは、単板コンデンサに比べ同一
体積では大容量化が可能であり、同一容量では小屋化が
可能となる。
In addition, as shown in the above formula, the capacitance is inversely proportional to the thickness and proportional to the total number of laminated dielectrics, so the thinner the thickness of one dielectric layer, the greater the capacitance. Then, the number of dielectric layers can also be increased. Therefore, compared to a single-plate capacitor, a multilayer ceramic capacitor can have a larger capacity with the same volume, and can be made smaller with the same capacity.

第2図に従来の積層磁器コンデンサの一般的な製造プロ
セス全示す。まず、誘電体粉末にバインダ、可塑剤、有
機溶剤などを加えて混合し調整されたスラリーを用いて
、ドクターブレード法により、ポリエステルなどの有機
フィルム1の上に所定の厚み金有する誘電体層2が形成
されたグIJ −ンシート3を作製する。次に、このグ
リーンシート3を有機フィルム1から剥離し所定の大き
さに打抜きした後、その打抜かれた誘電体層2上にスク
リーン印刷法で所定のパターンに電極を塗布。
FIG. 2 shows the entire general manufacturing process of a conventional multilayer ceramic capacitor. First, a dielectric layer 2 having a predetermined thickness is placed on an organic film 1 made of polyester or the like using a doctor blade method using a slurry prepared by adding a binder, a plasticizer, an organic solvent, etc. to dielectric powder. A green sheet 3 on which is formed is prepared. Next, this green sheet 3 is peeled off from the organic film 1 and punched out to a predetermined size, and then electrodes are applied in a predetermined pattern onto the punched dielectric layer 2 by screen printing.

乾燥することによシ内部電極4を形成する。次に、この
内部電極4が形成された誘電体層2を積層枚数だけ金属
ダイス5内に入れ、熱、圧力をかけながら積層する。こ
の時、積層体の上下の部分には電極の印刷されていない
誘電体層2aが重ねられ、焼結時の反りやハンドリング
時の応力に耐えれるように設計される。その後、チップ
に切断され焼成後、外部電極6を形成してコンデンサが
作製される。([絶縁・誘電セラミックスJ CMC社
1960年発行 塩崎忠 監修 P、211〜227)
発明が解決しようとする問題点 積層磁器コンデンサは電子回路、電子機器の小型化に伴
い、ますます小型、大容量化が強く望まれている。その
ためには誘電体層の厚みをさらに薄くすることが不可欠
であり、具体的には現状の数十μmの誘電体層厚みを数
から十数μmKまで薄くする必要がある。このような極
薄シートラ使用して第2図に示す製造工程に従って積層
化する場合、有機フィルムから剥離し、電極が印刷され
た誘電体シートをシワがよらずに均一に金属ダイスに詰
込み圧着することは極めて難しい作業となる。また、シ
ワなどが生じると成型体内に空気が残留し、焼結後には
誘電体と電極間での剥離現象。
By drying, the internal electrode 4 is formed. Next, the number of dielectric layers 2 on which the internal electrodes 4 are formed are placed into the metal die 5, and the layers are laminated while applying heat and pressure. At this time, dielectric layers 2a on which no electrodes are printed are placed on the upper and lower parts of the laminate, and are designed to withstand warping during sintering and stress during handling. Thereafter, it is cut into chips and fired, after which external electrodes 6 are formed to produce a capacitor. ([Insulating/Dielectric Ceramics J, Published by CMC, 1960, Supervised by Tadashi Shiozaki, P, 211-227)
Problems to be Solved by the Invention With the miniaturization of electronic circuits and electronic equipment, there is a strong desire for multilayer ceramic capacitors to be smaller and larger in capacity. For this purpose, it is essential to further reduce the thickness of the dielectric layer, and specifically, it is necessary to reduce the current thickness of the dielectric layer from several tens of micrometers to several tens of micrometers. When using such ultra-thin sheets and laminating them according to the manufacturing process shown in Figure 2, the dielectric sheet with electrodes printed on it is peeled off from the organic film and is evenly stuffed into a metal die without wrinkles and crimped. Doing so is an extremely difficult task. In addition, when wrinkles occur, air remains inside the molded body, which causes separation between the dielectric and the electrode after sintering.

いわゆるデラミネーション発生の原因ともなり、作業性
、工程歩留の点から問題が多い。
It also causes so-called delamination, which poses many problems in terms of workability and process yield.

本発明は、上記問題点に鑑み、極めて薄い誘電体シート
でも均一に、かつ密着性良く積層可能な積層磁器コンデ
ンサの製造方法を提供しようとするものである。
In view of the above-mentioned problems, the present invention aims to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, which allows even extremely thin dielectric sheets to be stacked uniformly and with good adhesion.

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の積層磁器コンデン
サの製造方法は、次のようなものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor of the present invention is as follows.

すなわち、誘電体層とベースフィルムからなるグリーン
シートのベースフィルム面側から熱と圧力をかけた時、
上記ベースフィルムから被写物に誘電体層が転写できる
グリーンシートの誘電体層上に、所定の電極を形成した
後、このグリーンシートを電極が形成されていない別の
グリーンシートの誘電体層上に誘電体層同士が互いに相
対するように重ねた後、上記電極が形成されたグリーン
シートのベースフィルム面側からの熱圧着によりそのシ
ートの誘電体層全上記電極が形成されていないグリーン
シートの誘電体層に転写させた後、上記電極が形成され
たグリーンシートのベースフィルムを剥離後、電極が形
成されたさらに別のグリーンシートを用いて、上記転写
された誘電体層上への重ね合わせ、熱圧着による転写、
ベースフィルムの剥離を繰返し行い、誘電体層と電極層
全交互に積層するものである。
In other words, when heat and pressure are applied from the base film side of a green sheet consisting of a dielectric layer and a base film,
After forming a predetermined electrode on the dielectric layer of a green sheet that can transfer the dielectric layer from the base film to the object, this green sheet is placed on the dielectric layer of another green sheet on which no electrode is formed. After stacking the dielectric layers so that they face each other, the green sheet on which the electrodes are formed is bonded by thermocompression from the base film side, so that all the dielectric layers of the sheet are bonded to the green sheet on which the electrodes are not formed. After being transferred to the dielectric layer, the base film of the green sheet on which the electrodes are formed is peeled off, and another green sheet on which the electrodes are formed is used to overlay the transferred dielectric layer. , transfer by thermocompression,
The base film is repeatedly peeled off, and the dielectric layers and electrode layers are all alternately laminated.

作用 本発明による積層磁器コンデンサの製造方法に関する着
眼点は、熱と圧力をかけた時に誘電体層が被写物に密着
性良く転写する、いわゆるホットスタンプ方式が可能な
グリーンシート(以下ホットスタンプシートと記述する
)を用いることにある。
Function The focus of the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is to use a green sheet (hereinafter referred to as a hot stamp sheet) that enables the so-called hot stamping method, in which the dielectric layer is transferred to the object with good adhesion when heat and pressure are applied. ).

このホットスタンプシートを作製する場合のスラリ−粘
度は、従来のドクターブレード法を用いる時のスラリー
粘度2000〜30oOCpSに比べて、数十cpsと
極めて小さくなるように設計することができる。従って
、従来法では不可能とされていた数μmまでの極薄誘電
体層でも容易にリバースロール法などによりホットスタ
ンプシートが作製できる。また、数μmから十数μmの
極薄−誘電体層を積層する時にベースフィルムと一体と
なって重ね合せることができることから、誘電体層をム
ラなく均一にシワがよらずに積層することが可能となる
The slurry viscosity when producing this hot stamp sheet can be designed to be extremely small, at several tens of cps, compared to the slurry viscosity of 2,000 to 30 oCpS when using the conventional doctor blade method. Therefore, hot-stamped sheets can be easily produced using the reverse roll method or the like even with ultra-thin dielectric layers up to several micrometers, which was considered impossible using conventional methods. In addition, when laminating ultra-thin dielectric layers from a few μm to over 10 μm, they can be stacked together with the base film, making it possible to layer the dielectric layers evenly and uniformly without wrinkles. It becomes possible.

また、従来例のように積層時に印刷された誘電体層を金
型ダイスに多数詰込んだ後、加圧するのと異なり、本発
明では一枚一枚ホットスタンプシートを熱ローラなどに
より圧着するため、転写。
In addition, unlike the conventional method in which many printed dielectric layers are packed into a mold die during lamination and then pressurized, in the present invention, hot stamp sheets are pressed one by one using a hot roller or the like. , transcription.

被転写されるそれぞれの誘電体と電極あるいは誘電体中
に含まれるバインダー同士が互いに一旦軟化した後、固
着する。従って、密着性が従来と比較すると著しく向上
する。さらに、ローラで加熱圧着すると空気を押出しな
がら誘電体層を密着させるため、積層成型体内には空気
が残留しにくく、デラミネーションの発生率も著しく抑
制することが可能となる。
The dielectrics to be transferred and the electrodes or the binders contained in the dielectrics are once softened and then fixed to each other. Therefore, adhesion is significantly improved compared to the conventional method. Furthermore, since the dielectric layer is brought into close contact with the dielectric layer while pushing out air when it is heated and pressed with a roller, it is difficult for air to remain in the laminate molded body, and it is possible to significantly suppress the occurrence of delamination.

実施例 第1図を用いて本発明による積層磁器コンデンサの基本
的な製造プロセスを以下に説明する。まず、誘電体粉末
にバインダ、可塑剤、有機溶剤などを加えて混合し調整
されたスラリーを用い、リバースロール法などにより、
数μmから十数μmの極薄の誘電体層7をベースフィル
ム8上に形成し、ホットスタンプシート9を作製する。
EXAMPLE The basic manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor according to the present invention will be explained below using FIG. First, a slurry prepared by adding binder, plasticizer, organic solvent, etc. to dielectric powder is used, and by reverse roll method etc.
An extremely thin dielectric layer 7 with a thickness of several μm to more than ten μm is formed on a base film 8 to produce a hot stamp sheet 9.

この場合、ホットスタンプシステムが可能となるように
被写物に合せて、バインダの種類、配合量などを充分に
考慮しなければならない。なお、ホットスタンプシート
9は、熱圧着時における誘電体層7の剥離を容易にする
ため、あらかじめベースフィルム8上に剥離層を形成し
た後、誘電体層7を形成しても構わない。次に、上記誘
電体層7上に所定の形状に内部電極10を形成した後、
電極を形成していないグリーンシート11の誘電体層1
2上に、その誘電体層7,12同士が互いに相対するよ
うに電極1oを形成したホットスタンプシート9を重ね
合せ、熱ローラ13などにより熱と圧力をベースフィル
ム8面側から同時にかけることにより、ホットスタンプ
シート9の誘電体層7を電極が印刷されていないグリー
ンシート11上の誘電体層12に転写させた後、ホット
スタンプシート9のベースフィルム8を剥離する。ここ
で、14はグリーンシート11を構成しているベースフ
ィルムである。次いで、上記転写された面上に再び前述
の別の電極が印刷されたホットスタンプシートラ重ね合
せ、熱圧着による誘電体層の転写。
In this case, the type and amount of the binder must be carefully considered depending on the object so that the hot stamping system can be used. Note that, in order to facilitate the peeling of the dielectric layer 7 during thermocompression bonding, the hot stamp sheet 9 may be formed by forming a peeling layer on the base film 8 in advance, and then forming the dielectric layer 7 thereon. Next, after forming internal electrodes 10 in a predetermined shape on the dielectric layer 7,
Dielectric layer 1 of green sheet 11 on which no electrode is formed
2, a hot stamp sheet 9 on which electrodes 1o are formed is superimposed so that the dielectric layers 7 and 12 face each other, and heat and pressure are simultaneously applied from the base film 8 side using a heat roller 13 or the like. After transferring the dielectric layer 7 of the hot stamp sheet 9 to the dielectric layer 12 on the green sheet 11 on which no electrodes are printed, the base film 8 of the hot stamp sheet 9 is peeled off. Here, 14 is a base film constituting the green sheet 11. Next, the above-mentioned another electrode was printed again on the above-mentioned transferred surface, and the dielectric layer was transferred by hot stamp sheet lamination and thermocompression bonding.

ベースフィルムの剥離を必要回数繰返し、誘電体層と電
極層を交互に積層した後、チップ状に切断し、焼成を行
った後、外部電極16を形成してコンデンサが作製され
る。
After repeating the peeling of the base film a necessary number of times and alternately laminating dielectric layers and electrode layers, it is cut into chips and fired, and then external electrodes 16 are formed to produce a capacitor.

次に、本発明の具体的実施例について詳しく説明する。Next, specific embodiments of the present invention will be described in detail.

まず、BaTiO3を主成分とする誘電体粉末100重
量部に対し、ポリビニルブチラール樹脂22重量部、フ
タル酸ジオクチル2重量部を配合した後、溶剤にテトラ
ヒドロフランを用いてボールミルで20時間混練し、1
0〜15 Cp!Eの粘度からなるスラリーを作製した
。このスラリーを脱泡処理後、リバースロール法により
厚み60μmのポリエステルフィルム上に厚さ15μm
の誘電体層を形成することにより、ホットスタンプシー
トを作製した。かかるシート上に市販のPdペースト〔
昭栄化学(株)製 商品名 ML−3724)を用いて
、スクリーン印刷法によp 3.5 X 1.0mの形
状からなる電極を形成した。
First, 22 parts by weight of polyvinyl butyral resin and 2 parts by weight of dioctyl phthalate were mixed with 100 parts by weight of dielectric powder mainly composed of BaTiO3, and then kneaded for 20 hours in a ball mill using tetrahydrofuran as a solvent.
0~15 Cp! A slurry having a viscosity of E was prepared. After degassing this slurry, a 15 μm thick film was applied onto a 60 μm thick polyester film using the reverse roll method.
A hot stamp sheet was produced by forming a dielectric layer of . Commercially available Pd paste [
An electrode having a size of 3.5 m x 1.0 m was formed by screen printing using ML-3724 (trade name, manufactured by Shoei Kagaku Co., Ltd.).

次に、厚さ60μmのポリエステルフィルム上にドクタ
ーブレード法により作製したBaTiO3を主成分とす
る粉末粒子、ポリビニルブチラール樹脂からなる厚み2
00μmの誘電体層が形成されたグリーンシート上に、
前述の電極を印刷したホットスタンプシートを重ね合せ
た後、ホットスタンプシートのベースフィルム面側から
熱ローラにより温度130℃、圧力50 kg / c
alの条件下で3秒間加熱圧着し、ホットスタンプシー
トの誘電体層を誘電体グリーンシートの誘電体層に転写
した。
Next, on a polyester film with a thickness of 60 μm, powder particles mainly composed of BaTiO3 prepared by a doctor blade method and a thickness of 2
On a green sheet on which a dielectric layer of 00 μm was formed,
After stacking the hot stamp sheets printed with the electrodes described above, the base film side of the hot stamp sheets is heated with a heated roller at a temperature of 130°C and a pressure of 50 kg/c.
The dielectric layer of the hot stamp sheet was transferred to the dielectric layer of the dielectric green sheet by heat-pressing for 3 seconds under Al conditions.

しかる後、ホットスタンプシートのベースフィルムを剥
離した。次に、上記転写された誘電体層上に電極を印刷
した別のホットスタンプシートを先程と同一条件で熱ロ
ーラにより加熱圧着した後、ベースフィルムを剥離した
。なお、内部電極の重なり部分、すなわち積層コンデン
サとして有効に働く電極面積は1.4 X 1.o、、
となるように積層成型した。この工程を10回繰返した
後、前述の厚み20011mのドクターブレード法で作
製した誘電体グリーンシートを重ね合せた。次に、この
積層体を、さらに金型ブレスを用いて80℃で500k
g/adの条件で圧着した。しがる後、2.4X1,6
鶏のチップ形状に切断後、チップ成型体をZrO2粉末
中にまぶしながら1300℃で1hr焼成した。なお、
昇温、降温速度Fi200℃/hrとし、途中バインダ
除去のため380℃で1ohr保持しfC,。
After that, the base film of the hot stamp sheet was peeled off. Next, another hot stamp sheet on which electrodes were printed on the transferred dielectric layer was hot-pressed using a hot roller under the same conditions as before, and then the base film was peeled off. Note that the overlapping portion of the internal electrodes, that is, the area of the electrodes that effectively function as a multilayer capacitor, is 1.4 x 1. o,,
It was laminated and molded so that After repeating this process 10 times, the dielectric green sheets fabricated by the doctor blade method having a thickness of 20,011 m described above were superimposed. Next, this laminate was further heated to 500 k at 80°C using a mold press.
The pressure bonding was carried out under the conditions of g/ad. After tightening, 2.4X1,6
After cutting into chicken chip shapes, the chip molded bodies were baked at 1300° C. for 1 hour while being sprinkled with ZrO2 powder. In addition,
The temperature raising and cooling rate Fi was set to 200°C/hr, and the temperature was maintained at 380°C for 1 ohr to remove the binder during the process, fC.

このようにして作製したコンデンサの容量を通常の方法
で測定すると共に焼結体の微細構造を走査型電子顕微鏡
で観察することにより、誘電体層厚みの測定及びデラミ
ネーションの有無を確認した。なお、測定試料数は10
0ケとした。下記の第1表にn=100の平均容量、焼
結体の誘電体層厚み及びデラミネーションの発生率を示
す。また、比較のために従来法として前述とまったく同
一組成からなるBaTiO3を主成分とする誘電体層粉
末からなる厚み40μmのグリーンシートをドクターブ
レード法を用いて作製し、かがるシートを第2図の製造
プロセスに従い作製した積層コンデンサの容量、誘電体
層厚み及びデラミネーションの発生率も併せて第1表に
示す。ここで、電極の種類、形状、積層枚数、焼成条件
などは全て同一条件とした。
The capacitance of the capacitor thus produced was measured using a conventional method, and the fine structure of the sintered body was observed using a scanning electron microscope to measure the thickness of the dielectric layer and confirm the presence or absence of delamination. The number of measurement samples was 10.
It was set to 0. Table 1 below shows the average capacitance, dielectric layer thickness of the sintered body, and delamination occurrence rate for n=100. In addition, for comparison, as a conventional method, a green sheet with a thickness of 40 μm made of a dielectric layer powder containing BaTiO3 as the main component and having exactly the same composition as described above was prepared using a doctor blade method, and a second Table 1 also shows the capacitance, dielectric layer thickness, and delamination occurrence rate of the multilayer capacitor manufactured according to the manufacturing process shown in the figure. Here, the type and shape of the electrodes, the number of laminated sheets, firing conditions, etc. were all set to the same conditions.

以上の結果から明らかなように、本発明にょシ作製した
積層磁器コンデンサは、ホットスタンプ工法を用いるこ
とにより極薄の誘電体厚みからなるシートも密着性良く
均一に積層することが可能となり、デラミネーションの
発生を抑制することができる。また、焼結体の誘電体層
も薄いことがら、従来法に比較して容量も大幅に向上す
ると共に小型化も可能となる。
As is clear from the above results, the laminated ceramic capacitor manufactured according to the present invention can be laminated evenly with good adhesion by using the hot stamping method, making it possible to laminate sheets made of ultra-thin dielectric material uniformly with good adhesion. The occurrence of lamination can be suppressed. Furthermore, since the dielectric layer of the sintered body is thin, the capacitance is greatly improved compared to the conventional method, and miniaturization is also possible.

なお、実施例ではBaTi0.金主成分とする誘電体粉
末を用1/IJE、SrTiO3系、 MgTi0.−
CaTiO。
In addition, in the example, BaTi0. 1/IJE, SrTiO3 system, MgTi0. −
CaTiO.

系などのいかなる誘電体特性を有するセラミック粉体を
用いても何らさしつがえない。また、誘電体層の転写時
に熱ローラを用いたが、ヒータを内蔵した熱盤を上下に
動がして熱圧着させても同様の効果が得られることはい
うまでもないことである0 発明の効果 以上述べてきたように本発明は、誘電体層とベースフィ
ルムからなるグリーンシートのベースフィルム面側から
熱圧着した時に、被写物に誘電体層が転写できるシステ
ム、いわゆるホットスタンプ方式が可能となるように設
計されたグリーンシートを用いて積層する工程を、有す
る積層磁器コンデンサの製造方法により、従来不可能と
されていた極薄の誘電体層からなるグリーンシートでも
密着性良くかつ均一に積層できることから、小型。
There is no problem in using a ceramic powder having any dielectric properties such as a ceramic powder. Furthermore, although a heated roller was used to transfer the dielectric layer, it goes without saying that the same effect can be obtained by moving a heating plate with a built-in heater up and down for thermocompression bonding.0 Invention Effects As described above, the present invention utilizes a system in which a dielectric layer can be transferred to an object when a green sheet consisting of a dielectric layer and a base film is thermocompression bonded from the base film side, the so-called hot stamping method. The manufacturing method for multilayer ceramic capacitors includes a process of laminating layers using green sheets designed to make it possible to achieve good adhesion and uniformity even with green sheets made of ultra-thin dielectric layers, which was previously considered impossible. It is compact because it can be stacked on top of other parts.

大容量化が達成されると共にデラミネーションの発生も
抑制でき、生産性の向上が可能となり、その工業的価値
は極めて犬なるものがある。
In addition to achieving a large capacity, it is also possible to suppress the occurrence of delamination, making it possible to improve productivity, and its industrial value is extremely high.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明による積層磁器コンデンサの製造プロセ
スを説明する図、第2図は従来法による製造プロセスを
説明する図である。 7・・・・・・誘電体層、8,14・・・・・・ベース
フィルム、9・・・・・・ホットスタンプシート、10
・・・・・・内部電極、11・・・・・・電極を形成し
ていないグリーンシート、12・・・・・・電極を形成
していない誘電体層、13・・・・・・熱ローラ、15
・・・・・・外部電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名/−
−一有截フィルム 4〜・=内部電糧
FIG. 1 is a diagram illustrating a manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram illustrating a manufacturing process according to a conventional method. 7... Dielectric layer, 8, 14... Base film, 9... Hot stamp sheet, 10
...Internal electrode, 11... Green sheet on which no electrode is formed, 12... Dielectric layer on which no electrode is formed, 13... Heat Laura, 15
...External electrode. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person/-
- One-of-a-kind film 4 ~ = internal electricity supply

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  誘電体層とベースフィルムからなるグリーンシートの
上記ベースフィルム面側から熱と圧力をかけた時、上記
ベースフィルムから被写物に上記誘電体層が転写できる
上記グリーンシートの上記誘電体層上に、所定の電極を
形成した後、上記グリーンシートを電極が形成されてい
ない別のグリーンシートの誘電体層上に誘電体層同士が
互いに相対するように重ね合せた後、上記電極が形成さ
れたグリーンシートの上記ベースフィルム面側からの熱
圧着により、そのシートの上記誘電体層を上記電極が形
成されていないグリーンシートの誘電体層に転写させた
後、上記電極が形成されたグリーンシートの上記ベース
フィルムを剥離後、電極が形成されたさらに別のグリー
ンシートを用いて、上記転写された誘電体層上への重ね
合せ、熱圧着による転写、ベースフィルムの剥離を繰返
し行い、誘電体層と電極層を交互に積層することを特徴
とする積層磁器コンデンサの製造方法。
When heat and pressure are applied from the base film side of a green sheet consisting of a dielectric layer and a base film, the dielectric layer can be transferred from the base film to the object on the dielectric layer of the green sheet. , after forming a predetermined electrode, the green sheet was superimposed on the dielectric layer of another green sheet on which no electrode was formed so that the dielectric layers faced each other, and then the electrode was formed. The dielectric layer of the green sheet is transferred to the dielectric layer of the green sheet on which the electrodes are not formed by thermocompression bonding from the side of the base film of the green sheet, and then the green sheet on which the electrodes are formed is transferred. After peeling off the base film, using another green sheet on which electrodes are formed, overlaying the transferred dielectric layer, transfer by thermocompression bonding, and peeling off the base film are repeated, and then the dielectric layer is removed. A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, characterized by alternately stacking electrode layers.
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