JPS63188841A - 光磁気記録膜 - Google Patents
光磁気記録膜Info
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- JPS63188841A JPS63188841A JP2092787A JP2092787A JPS63188841A JP S63188841 A JPS63188841 A JP S63188841A JP 2092787 A JP2092787 A JP 2092787A JP 2092787 A JP2092787 A JP 2092787A JP S63188841 A JPS63188841 A JP S63188841A
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- film
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Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 31
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 7
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 abstract description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 244000131360 Morinda citrifolia Species 0.000 abstract 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 235000017524 noni Nutrition 0.000 abstract 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 abstract 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 abstract 1
- -1 iron group transition metals Chemical class 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 241001502129 Mullus Species 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000010415 tropism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光磁気メモリに用いられる記録膜に関するも
のであり、更に詳しくは、膜面と垂直方向に磁気異方性
を有し、レーザなどの光ビームを照射した領域に反転磁
区を作ることにより記録することができ、磁気光学効果
を利用して読み出すことのできる光磁気記録膜に関する
ものである。
のであり、更に詳しくは、膜面と垂直方向に磁気異方性
を有し、レーザなどの光ビームを照射した領域に反転磁
区を作ることにより記録することができ、磁気光学効果
を利用して読み出すことのできる光磁気記録膜に関する
ものである。
（従来の技術）
光メモリは大容量ファイルメモリの一つとして注目され
ている。中でも光磁気メモリは、記録層、←門 へ、ｔ
ｈ ５ ｔｈｔ ） Ｌｊ：ｆムレ−へ卆 フ し １
− 上 訓上 す−七ｂ イ １、ることから、各
所で、盛んに研究されている。その記録層としては、希
土類金属と鉄族遷移金属との組み合せによって作製され
る非晶質磁性薄膜が、記録感度が高い、粒界ノイズがな
い、膜面に垂直方向の磁気異方性を有する膜が容易に作
れるなどの利点を有するため、最も有望視されている。
ている。中でも光磁気メモリは、記録層、←門 へ、ｔ
ｈ ５ ｔｈｔ ） Ｌｊ：ｆムレ−へ卆 フ し １
− 上 訓上 す−七ｂ イ １、ることから、各
所で、盛んに研究されている。その記録層としては、希
土類金属と鉄族遷移金属との組み合せによって作製され
る非晶質磁性薄膜が、記録感度が高い、粒界ノイズがな
い、膜面に垂直方向の磁気異方性を有する膜が容易に作
れるなどの利点を有するため、最も有望視されている。
希土類金属としては、Ｔｂ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、鉄族遷
移金属としてはＦｅ、Ｃｏが主に用いられている。
移金属としてはＦｅ、Ｃｏが主に用いられている。
従来、鉄族遷移金属の中で、Ｎｉを用いたものは、殆ど
の希土類金属との組み合せにおいて、キューり温度Ｔｃ
が室温より低くなるために、記録膜として検討された報
告は見られない。わずかに、Ｈｏとの組み合せによる蒸
着膜においてＴｃが室温以上になるとの報告があるが、
その磁気特性及び磁気光学特性は不明のままである。
の希土類金属との組み合せにおいて、キューり温度Ｔｃ
が室温より低くなるために、記録膜として検討された報
告は見られない。わずかに、Ｈｏとの組み合せによる蒸
着膜においてＴｃが室温以上になるとの報告があるが、
その磁気特性及び磁気光学特性は不明のままである。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明の目的は、鉄族遷移金属として、Ｎｉを用いた合
金膜の光磁気記録膜としての可能性を調べ、室温におい
て膜面に垂直方向の磁気異方性を有し、さらに磁気光学
効果を有する記録膜を提供することにある。
金膜の光磁気記録膜としての可能性を調べ、室温におい
て膜面に垂直方向の磁気異方性を有し、さらに磁気光学
効果を有する記録膜を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の光磁気記録膜は膜面に垂直方向に磁化容易軸を
有する非晶質Ｈｏ−Ｎｉ二元系合金薄膜から成り、ＨＯ
が８原子％以下含有されていることを特徴とする。
有する非晶質Ｈｏ−Ｎｉ二元系合金薄膜から成り、ＨＯ
が８原子％以下含有されていることを特徴とする。
（実施例）
以下、本発明を実施例を用いて説明する。ガラス基板上
に記録膜として厚さ１０００人のＨｏＮｉ膜、その上に
保護膜として、厚さ１０００人のＳｉＮ膜を形成した。
に記録膜として厚さ１０００人のＨｏＮｉ膜、その上に
保護膜として、厚さ１０００人のＳｉＮ膜を形成した。
各々の膜は、マグネトロンスパッタにより、真空を破る
ことなく連続に形成した。ＨｏＮｉ記録膜は、Ｎｉ円板
上に、Ｈｏチップを配した複合ターゲットを用いＡｒガ
ス雰囲気で、パワー密度２Ｗ／ｃｍ２、スパッタガス圧
７ Ｘ １０−”Ｐａで作製した。膜組成は、Ｈｏのチ
ップ数によって変化させた。ＳｉＮ保護膜はＳｉターゲ
ットに対してＡｒとＮ２の混合ガス（２０％Ｎ２）をス
パッタガスとして、パワー密度４．４Ｗ／ｃｍ２、スパ
ッタガス圧７Ｘ１０−”Ｐａで作製した。
ことなく連続に形成した。ＨｏＮｉ記録膜は、Ｎｉ円板
上に、Ｈｏチップを配した複合ターゲットを用いＡｒガ
ス雰囲気で、パワー密度２Ｗ／ｃｍ２、スパッタガス圧
７ Ｘ １０−”Ｐａで作製した。膜組成は、Ｈｏのチ
ップ数によって変化させた。ＳｉＮ保護膜はＳｉターゲ
ットに対してＡｒとＮ２の混合ガス（２０％Ｎ２）をス
パッタガスとして、パワー密度４．４Ｗ／ｃｍ２、スパ
ッタガス圧７Ｘ１０−”Ｐａで作製した。
記録膜の磁化特性及び磁気光学特性は、ＶＳＭ及びカー
ヒステリシスにより、それぞれ測定した。
ヒステリシスにより、それぞれ測定した。
第１図に飽和磁化ＭｓとＨｏ量との関係を示す。
ＭｓはＨｏ量の増加に伴い、単調に減少している。
Ｈｏ量８原子％以下のＨｏＮｉ膜は室温において強磁性
を示すことがわかる。
を示すことがわかる。
第２図及び第３図に、ｎｏ量３原子％の試料に対する磁
化曲線及び、ポーラーカー効果によるカーヒステリシス
曲線を示す。これらは、垂直（膜厚）方向に磁気異方性
を有することを示している。
化曲線及び、ポーラーカー効果によるカーヒステリシス
曲線を示す。これらは、垂直（膜厚）方向に磁気異方性
を有することを示している。
第４図に、異方性磁界（Ｈｋｅｆｆ）と、垂直（膜厚）
方向抗磁力Ｈｃ（１）とＨｏ量との関係を示す。Ｈｋｅ
ｆｆは、Ｈｏ量５原子％以下で、ＩＫＯｅ近い大きさに
なり、この範囲でＨｅ（上）が約３０００ｅになってい
る。この範囲で、より良好な垂直磁化膜が得られること
を示唆している。
方向抗磁力Ｈｃ（１）とＨｏ量との関係を示す。Ｈｋｅ
ｆｆは、Ｈｏ量５原子％以下で、ＩＫＯｅ近い大きさに
なり、この範囲でＨｅ（上）が約３０００ｅになってい
る。この範囲で、より良好な垂直磁化膜が得られること
を示唆している。
第５図にカー回転角の飽和値（θｋｓ）及び、カー回転
角の残留値（θｋｓ）とＨｏ量の関係を示す。
角の残留値（θｋｓ）とＨｏ量の関係を示す。
θに８及びθｋｒは、垂直方向の磁化成分に対応した値
を示しＨｏの増加と共に単調に減少している。
を示しＨｏの増加と共に単調に減少している。
（発明の効果）
本発明によれば、鉄族遷移金属のＮｉに対して、スパッ
タリングにより希土類金属Ｈｏを固溶させることによっ
て、室温において膜面に垂直方向の磁気異方性を有し、
さらに磁気光学効果を有する記録膜を提供できる。
タリングにより希土類金属Ｈｏを固溶させることによっ
て、室温において膜面に垂直方向の磁気異方性を有し、
さらに磁気光学効果を有する記録膜を提供できる。
第１図は本発明に係るＨｏＮｉ膜の飽和磁化ＭｓとＨｏ
量の関係を示す図、第２図及び第３図は磁化曲線及びカ
ーヒステリシス曲線を示す図、第４図は異方性磁界Ｈｋ
ｅｆｆ及び垂直方向抗磁力ＨｅＣ工〕とＨｏ量の関係を
示す図、第５図はカー回転角飽和値θに８及びカー口片
１ 口 １−１ｏ Ｃｏｎｔｅｎｔ Ｘ （Ａｔｏｍ’１０
）；＋ ３ 図 ε 吟 Φ 石 と ざ コＣ 第４口 ）（ｏ Ｃｏｎｔｅｎｔ ｘ （Ａｔｏｍ％）オ
５ 口
量の関係を示す図、第２図及び第３図は磁化曲線及びカ
ーヒステリシス曲線を示す図、第４図は異方性磁界Ｈｋ
ｅｆｆ及び垂直方向抗磁力ＨｅＣ工〕とＨｏ量の関係を
示す図、第５図はカー回転角飽和値θに８及びカー口片
１ 口 １−１ｏ Ｃｏｎｔｅｎｔ Ｘ （Ａｔｏｍ’１０
）；＋ ３ 図 ε 吟 Φ 石 と ざ コＣ 第４口 ）（ｏ Ｃｏｎｔｅｎｔ ｘ （Ａｔｏｍ％）オ
５ 口
Claims (1)
- （１）膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非晶質Ｈｏ
−Ｎｉ二元系合金薄膜から成り、Ｈｏが８原子％以下含
有されていることを特徴とする光磁気記録膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2092787A JPS63188841A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 光磁気記録膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2092787A JPS63188841A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 光磁気記録膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63188841A true JPS63188841A (ja) | 1988-08-04 |
| JPH053059B2 JPH053059B2 (ja) | 1993-01-13 |
Family
ID=12040849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2092787A Granted JPS63188841A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 光磁気記録膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63188841A (ja) |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP2092787A patent/JPS63188841A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH053059B2 (ja) | 1993-01-13 |
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