JPS63183360A - キヤリアプレ−トの冷却装置 - Google Patents
キヤリアプレ−トの冷却装置Info
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- JPS63183360A JPS63183360A JP62013372A JP1337287A JPS63183360A JP S63183360 A JPS63183360 A JP S63183360A JP 62013372 A JP62013372 A JP 62013372A JP 1337287 A JP1337287 A JP 1337287A JP S63183360 A JPS63183360 A JP S63183360A
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- cooling
- carrier plate
- slide
- plate
- cooling device
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 14
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
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Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ワックスによってウェーハを接着したキャリ
アプレートを冷却するキャリアプレートの冷却装置に関
する。
アプレートを冷却するキャリアプレートの冷却装置に関
する。
一般に、シリコンウェーハ等の半導体基板の表面を鏡面
仕上げする場合には、ウェーハをキャリアプレートの端
面にワックスによって貼着して行なうようにしている。
仕上げする場合には、ウェーハをキャリアプレートの端
面にワックスによって貼着して行なうようにしている。
この場合、溶融したワックスをキャリアプレートとウェ
ーハとの間に介在せしめた後に冷却してワックスを固化
させることにより、ウェーハをキャリアプレートに貼着
している。
ーハとの間に介在せしめた後に冷却してワックスを固化
させることにより、ウェーハをキャリアプレートに貼着
している。
ところで、ワックスを固化させるためにキャリアプレー
トを冷却する方法としては、従来、自然冷ｆＪｌ法ある
いは、ウェーハを貼着したキャリアプレートの上方から
送風する方法が用いられていたが、曲名の自然冷部法に
あっては冷却時間が長くかかるという問題があり、また
、後者の送風による冷却法においては、冷却時間は多少
短縮されるが十分ではない上に、送風により、はこり等
がつ・ニーム及びキャリアプレートに刊着するという問
題がある。
トを冷却する方法としては、従来、自然冷ｆＪｌ法ある
いは、ウェーハを貼着したキャリアプレートの上方から
送風する方法が用いられていたが、曲名の自然冷部法に
あっては冷却時間が長くかかるという問題があり、また
、後者の送風による冷却法においては、冷却時間は多少
短縮されるが十分ではない上に、送風により、はこり等
がつ・ニーム及びキャリアプレートに刊着するという問
題がある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ぞの目的
とするところは、ワックスによってウェーハを貼着した
キャリアプレートを迅速にかつ円清に３却させることが
でき、冷却効率が良好で、かつ冷却時間を大幅に短縮す
ることができるキャリアプレートの冷却装置を提供する
ことにある。
とするところは、ワックスによってウェーハを貼着した
キャリアプレートを迅速にかつ円清に３却させることが
でき、冷却効率が良好で、かつ冷却時間を大幅に短縮す
ることができるキャリアプレートの冷却装置を提供する
ことにある。
上記目的を達成するために、本発明は、内部に冷却液を
流通させかつ上面に主１シリアプレートを載置、摺動さ
せる冷却テーブルを架台上に設番プると共に、該冷却テ
ーブルの上方に、上記キャリアプレートを移送させるス
ライドプレートを、上記冷却テーブルの上面に沿って移
動自在にかつ昇降自在に設けたものである。
流通させかつ上面に主１シリアプレートを載置、摺動さ
せる冷却テーブルを架台上に設番プると共に、該冷却テ
ーブルの上方に、上記キャリアプレートを移送させるス
ライドプレートを、上記冷却テーブルの上面に沿って移
動自在にかつ昇降自在に設けたものである。
本発明のキャリアプレートの冷却装置にあっては、スラ
イドプレートによって、冷却テーブル上のキャリアプレ
ートを間欠的に移送して、多数のキャリアプレートを連
続的にかつ効率的に冷却する。
イドプレートによって、冷却テーブル上のキャリアプレ
ートを間欠的に移送して、多数のキャリアプレートを連
続的にかつ効率的に冷却する。
以下、第１図ないし第６図に基づいて本発明の一実施例
を説明する。
を説明する。
図中符号１は架台であり、この架台１上には、ベース２
を介して、１個の平面視凸字状の冷却テーブル３と、４
個の平面視四角形状の冷却テーブル４とが直列に配置さ
れている。これらの冷却テーブル３，４は、それ°ぞれ
、内部が４つの空間Ｓに分割され、かつこれらの空間Ｓ
に、第５図と第６図に示す冷却水供給管５及び冷却水排
出管６によって冷却水が流通せしめられるようになって
いる。この冷却水供給１５は、各冷却テーブル３゜４の
、第１図と第２図においてそれぞれ左側に配置され、冷
却テーブル３，４の各内部空間Ｓの中間部まで下方から
突出して配設されている。また、冷却水排出管６は、各
冷却テーブル３．４の右側に配置され、冷却テーブル３
．４の各内部中１２ｇ５を形成する上部内面の凹所３ａ
、４ａまで下方から突出して配設されており、これらの
冷却水供給管５及び冷却水排出管６によって、各冷却テ
ーブル３．４の内部空間Ｓに冷却水が充満する構成とさ
れている。
を介して、１個の平面視凸字状の冷却テーブル３と、４
個の平面視四角形状の冷却テーブル４とが直列に配置さ
れている。これらの冷却テーブル３，４は、それ°ぞれ
、内部が４つの空間Ｓに分割され、かつこれらの空間Ｓ
に、第５図と第６図に示す冷却水供給管５及び冷却水排
出管６によって冷却水が流通せしめられるようになって
いる。この冷却水供給１５は、各冷却テーブル３゜４の
、第１図と第２図においてそれぞれ左側に配置され、冷
却テーブル３，４の各内部空間Ｓの中間部まで下方から
突出して配設されている。また、冷却水排出管６は、各
冷却テーブル３．４の右側に配置され、冷却テーブル３
．４の各内部中１２ｇ５を形成する上部内面の凹所３ａ
、４ａまで下方から突出して配設されており、これらの
冷却水供給管５及び冷却水排出管６によって、各冷却テ
ーブル３．４の内部空間Ｓに冷却水が充満する構成とさ
れている。
上記架台１の下面には、エアシリンダ７が、ブラケット
８を介して上下方向に傾動自在に配置されており、この
エアシリンダ７のピストンロッドには、連結材９が回動
自在に連結されている。そして、この連結材９の両端に
は、それぞれ垂直材１０が上記架台１の長孔を貫通した
状態で固定されており、雨垂直材１０の上端には、一対
のアーム１１が互いに対向して水平に取付けられている
。
８を介して上下方向に傾動自在に配置されており、この
エアシリンダ７のピストンロッドには、連結材９が回動
自在に連結されている。そして、この連結材９の両端に
は、それぞれ垂直材１０が上記架台１の長孔を貫通した
状態で固定されており、雨垂直材１０の上端には、一対
のアーム１１が互いに対向して水平に取付けられている
。
これらのアーム１１の間には、５本のディスタンスビー
ム１２が等間隔をあけて取付けられて枠状に形成さりて
いる。また、各ディスタンスビーム１２の下面には、キ
ャリアプレートＣＰを移送するスライドプレート１３が
それぞれ取付けられており、これらのスライドプレート
１３及びディスタンスビーム１２の一側には、上記キャ
リアプレートＣＰの曲率半径に一致する円弧状の凹部１
３ａ、１２ａが形成されている。さらに、上記各アーム
１１の両外側には、スライド部材１４を介して、それぞ
れ、２基ずつの昇降機構１５のブラケット１５ａが配置
されており、このスライド部材１４によって、各アーム
１１がその長手方向に摺動自在に各ブラケット１５ａに
支持されている。
ム１２が等間隔をあけて取付けられて枠状に形成さりて
いる。また、各ディスタンスビーム１２の下面には、キ
ャリアプレートＣＰを移送するスライドプレート１３が
それぞれ取付けられており、これらのスライドプレート
１３及びディスタンスビーム１２の一側には、上記キャ
リアプレートＣＰの曲率半径に一致する円弧状の凹部１
３ａ、１２ａが形成されている。さらに、上記各アーム
１１の両外側には、スライド部材１４を介して、それぞ
れ、２基ずつの昇降機構１５のブラケット１５ａが配置
されており、このスライド部材１４によって、各アーム
１１がその長手方向に摺動自在に各ブラケット１５ａに
支持されている。
上記昇降機構１５は、上記ブラケット１５ａと、このブ
ラケット１５ａの下部に取付けられ、かつ上記架台１に
設けたガイド機構１５ｂを上下に貫通して該ガイド機構
１５ｂに摺動自在に支持されたスライド軸１５ｃと、こ
のスライド軸１５Ｃの下端に連結され、かつ上記架台１
の下面にＵ字状のブラケット１５ｄによって取付けられ
たシリンダ１５ｅとから構成されている。
ラケット１５ａの下部に取付けられ、かつ上記架台１に
設けたガイド機構１５ｂを上下に貫通して該ガイド機構
１５ｂに摺動自在に支持されたスライド軸１５ｃと、こ
のスライド軸１５Ｃの下端に連結され、かつ上記架台１
の下面にＵ字状のブラケット１５ｄによって取付けられ
たシリンダ１５ｅとから構成されている。
また、上記冷却テーブル３の下方の、」：配架台１の下
面には、Ｕ字状のシリンダベース１６を介してエアシリ
ンダ１７が取付けられており、このエアシリンダ１７の
ピストンロッドには、ビーム１８が取付けられている。
面には、Ｕ字状のシリンダベース１６を介してエアシリ
ンダ１７が取付けられており、このエアシリンダ１７の
ピストンロッドには、ビーム１８が取付けられている。
そして、このビーム１８の両端には、それぞれリフトフ
レーム１９が、架台１を貫通した状態において、架台１
に設置したスライド機構２０を介して、上下に移動自在
に設けられている。さらに、上記各リフトフレーム１９
の上端には、それぞれキャリアプレートＣＰ載置用の載
置板２１が取付けられており、これらのＭｆｆｉ板２１
には、それぞれ一対の円弧状のガイド而２２ａを０す°
るガイド突起２２が形成されている。
レーム１９が、架台１を貫通した状態において、架台１
に設置したスライド機構２０を介して、上下に移動自在
に設けられている。さらに、上記各リフトフレーム１９
の上端には、それぞれキャリアプレートＣＰ載置用の載
置板２１が取付けられており、これらのＭｆｆｉ板２１
には、それぞれ一対の円弧状のガイド而２２ａを０す°
るガイド突起２２が形成されている。
なお、上記各冷却テーブル３，４の上面には、キャリア
プレートＣＰを円滑に摺動させるために、四ふっ化エチ
レン樹脂等の樹脂テープが敷設されている。また、各冷
却テーブル３，４は、熱伝導性の良好なアルミニウムで
構成されている。
プレートＣＰを円滑に摺動させるために、四ふっ化エチ
レン樹脂等の樹脂テープが敷設されている。また、各冷
却テーブル３，４は、熱伝導性の良好なアルミニウムで
構成されている。
上記のように構成されたキャリアプレートの冷却装置に
あっては、溶融したワックスによってつ工−ハを接着し
た後のキャリアプレートＣＰを該冷却装置の右側の所定
位置に載置する。この状態において（第１図参照）、昇
降機構１５のシリンダ１５ｅのピストンロッドを上昇さ
せると、ピストンロッドに連結されたスライド＠１５Ｃ
がガイド機構１５ｂに案内支持されて上方に摺動し、ス
ライド軸１５Ｇの上端に連結されたブラケット１５ａが
上昇し、これとともにスライド部材１４及びアーム１１
．ディスタンスビーム１２．スライドプレート１３が上
方に移動する。
あっては、溶融したワックスによってつ工−ハを接着し
た後のキャリアプレートＣＰを該冷却装置の右側の所定
位置に載置する。この状態において（第１図参照）、昇
降機構１５のシリンダ１５ｅのピストンロッドを上昇さ
せると、ピストンロッドに連結されたスライド＠１５Ｃ
がガイド機構１５ｂに案内支持されて上方に摺動し、ス
ライド軸１５Ｇの上端に連結されたブラケット１５ａが
上昇し、これとともにスライド部材１４及びアーム１１
．ディスタンスビーム１２．スライドプレート１３が上
方に移動する。
次いで、エアシリンダ７のピストンロッドを前進させる
ことにより、ブラケット８．連結材９゜垂直材１０を介
してアーム１１を右方に移動させた後、上記昇降機構１
５のシリンダ１５ｅのピストンロッドを下降させ゛る。
ことにより、ブラケット８．連結材９゜垂直材１０を介
してアーム１１を右方に移動させた後、上記昇降機構１
５のシリンダ１５ｅのピストンロッドを下降させ゛る。
これにより、両アーム１１の右端は上記冷却装置の右方
に飛び出して、上記冷却装置の右側の所定位置に載置さ
れたキャリアプレートＣＰの右側に、両アーム１１の間
に取付けたディスタンスビーム１２及びスライドプレー
ト１３のうち最も右側のものが位置する。
に飛び出して、上記冷却装置の右側の所定位置に載置さ
れたキャリアプレートＣＰの右側に、両アーム１１の間
に取付けたディスタンスビーム１２及びスライドプレー
ト１３のうち最も右側のものが位置する。
続いて、エアシリンダ７のピストンロッドを後退させる
ことにより、スライドプレート１３の凹部１３ａで位置
決めされたキャリアプレートＣＰがスライドプレート１
３の左方への移動によって最も右側の冷却テーブル４上
に載置される。そして、所定時間上記冷却テーブル４上
に載置されたキャリアプレートＣＰは、該冷却テーブル
４内の空Ｐ２Ｄｓを流通ずる冷却水によって、円滑に冷
却される。
ことにより、スライドプレート１３の凹部１３ａで位置
決めされたキャリアプレートＣＰがスライドプレート１
３の左方への移動によって最も右側の冷却テーブル４上
に載置される。そして、所定時間上記冷却テーブル４上
に載置されたキャリアプレートＣＰは、該冷却テーブル
４内の空Ｐ２Ｄｓを流通ずる冷却水によって、円滑に冷
却される。
このようにして、最も右側の冷却テーブル４上で所定Ｆ
ｆｆ間冷却されたキャリアプレートＣＰは、上述した操
作、すなわち、昇降機構１５のシリンダ１５ｅのピスト
ンロッドの上昇、エアシリンダ７のピストンロッドの前
進、シリンダ１５ｅのピストンロッドの下降、エアシリ
ンダ７のピストンロッドの後退の一連の操作を一定時間
毎に繰り返すことにより、冷却テーブル４．３を右から
左へ間欠的に移動し冷却される。
ｆｆ間冷却されたキャリアプレートＣＰは、上述した操
作、すなわち、昇降機構１５のシリンダ１５ｅのピスト
ンロッドの上昇、エアシリンダ７のピストンロッドの前
進、シリンダ１５ｅのピストンロッドの下降、エアシリ
ンダ７のピストンロッドの後退の一連の操作を一定時間
毎に繰り返すことにより、冷却テーブル４．３を右から
左へ間欠的に移動し冷却される。
そして、冷却テーブル３上に載置されたキャリアプレー
トＣＰは、エアシリンダ１７のピストンロッドを上昇さ
せることにより、ビーム１８．リフトフレーム１９を介
して、載置板２１の４つのガイド突起２２のガイド而２
２ａに位置決めされた状態で持ち上げられ、次のウェー
ハ研磨工程に搬送される。
トＣＰは、エアシリンダ１７のピストンロッドを上昇さ
せることにより、ビーム１８．リフトフレーム１９を介
して、載置板２１の４つのガイド突起２２のガイド而２
２ａに位置決めされた状態で持ち上げられ、次のウェー
ハ研磨工程に搬送される。
以上説明したように、本発明は、内部に冷却液を流通さ
せかつ上面に主１１リアプレートを載置、摺動させる冷
却テーブルが設けられると共に、該冷却テーブルの上方
に、上記キャリアプレートを移送させるスライドプレー
トを、上記冷却テーブルの上面に沿って移動自在にかつ
昇降自在に設けたものであるから、スライドプレートに
よって、冷却テーブル上のキャリアプレートを間欠的に
移動することにより、ワックスによってウェーハを貼着
したキャリアプレートを迅速にかつ円滑に冷却させるこ
とができ、冷却効率が良好で、かつ冷却時間を大幅に短
縮することができるという優れた効果を右する。
せかつ上面に主１１リアプレートを載置、摺動させる冷
却テーブルが設けられると共に、該冷却テーブルの上方
に、上記キャリアプレートを移送させるスライドプレー
トを、上記冷却テーブルの上面に沿って移動自在にかつ
昇降自在に設けたものであるから、スライドプレートに
よって、冷却テーブル上のキャリアプレートを間欠的に
移動することにより、ワックスによってウェーハを貼着
したキャリアプレートを迅速にかつ円滑に冷却させるこ
とができ、冷却効率が良好で、かつ冷却時間を大幅に短
縮することができるという優れた効果を右する。
第１図ないし第５図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は平面図、第２図は正面図、第３図は第１図のｍ
−■線に沿う断面図、第４図は第１図のｒＶ−ｒＶ線に
沿う断面図、第５図は冷却水供給部の断面図、第６図は
冷却水排出部の断面図である。 １・・・架台、３・・・冷却テーブル、４・・・冷却テ
ーブル、５・・・冷却水供給管、６・・・冷却水排出管
、１３・・・スライドプレート、Ｓ・・・内部空間、Ｃ
Ｐ・・・キャリアプレート。
第１図は平面図、第２図は正面図、第３図は第１図のｍ
−■線に沿う断面図、第４図は第１図のｒＶ−ｒＶ線に
沿う断面図、第５図は冷却水供給部の断面図、第６図は
冷却水排出部の断面図である。 １・・・架台、３・・・冷却テーブル、４・・・冷却テ
ーブル、５・・・冷却水供給管、６・・・冷却水排出管
、１３・・・スライドプレート、Ｓ・・・内部空間、Ｃ
Ｐ・・・キャリアプレート。
Claims (1)
- 架台上に、内部に冷却液を流通させかつ上面にキャリ
アプレートを載置、摺動させる冷却テーブルが設けられ
ると共に、該冷却テーブルの上方に、上記キャリアプレ
ートを移送させるスライドプレートが、上記冷却テーブ
ルの上面に沿って移動自在にかつ昇降自在に設けられた
ことを特徴とするキャリアプレートの冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62013372A JPS63183360A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | キヤリアプレ−トの冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62013372A JPS63183360A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | キヤリアプレ−トの冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63183360A true JPS63183360A (ja) | 1988-07-28 |
Family
ID=11831257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62013372A Pending JPS63183360A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | キヤリアプレ−トの冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63183360A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02219624A (ja) * | 1989-02-22 | 1990-09-03 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 低オリゴマー性シートおよびその製造方法 |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP62013372A patent/JPS63183360A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02219624A (ja) * | 1989-02-22 | 1990-09-03 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 低オリゴマー性シートおよびその製造方法 |
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