JPS63182A - パルスガスレ−ザ装置 - Google Patents
パルスガスレ−ザ装置Info
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- JPS63182A JPS63182A JP14133586A JP14133586A JPS63182A JP S63182 A JPS63182 A JP S63182A JP 14133586 A JP14133586 A JP 14133586A JP 14133586 A JP14133586 A JP 14133586A JP S63182 A JPS63182 A JP S63182A
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- array circuit
- arc
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 49
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000752 ionisation method Methods 0.000 claims description 11
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は容量移行型・紫外線予備自動電離方式ヲ用いた
、ＴＥＡ ＣＯ２レーザ、エキシマレーザなどのパル
スガスレーザ装置に関するものである。
、ＴＥＡ ＣＯ２レーザ、エキシマレーザなどのパル
スガスレーザ装置に関するものである。
第３図は従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を
用いたパルスガスレーザ装置の本発明に係わる部分構成
図である。従来のパルスガスレーザ装置は、アークギヤ
ツブ１１とピーキングコンデンサ１２との直列回路が複
数個並列に並べられたアークギャップアレー回路１３が
主放電電極２により構成される主放電空間１と並列に接
続されている。
用いたパルスガスレーザ装置の本発明に係わる部分構成
図である。従来のパルスガスレーザ装置は、アークギヤ
ツブ１１とピーキングコンデンサ１２との直列回路が複
数個並列に並べられたアークギャップアレー回路１３が
主放電電極２により構成される主放電空間１と並列に接
続されている。
図では、１個のピーキングコンデンサに１個のアークギ
ャップ１１が付いている場合を示しているが、実際には
ピーキングコンデンサ１２には各々工ないし３個位のア
ークギヤノブ１１が付いている。なお図中、７は主コン
デンサ、８はスイッチング素子、９はインダクタである
。複数個のピーキングコンデンサ１２の合計容量値Ｃ２
は、主コンデンサ７の容量値Ｃ１に比べ等しいか、また
は小さく設定されている。
ャップ１１が付いている場合を示しているが、実際には
ピーキングコンデンサ１２には各々工ないし３個位のア
ークギヤノブ１１が付いている。なお図中、７は主コン
デンサ、８はスイッチング素子、９はインダクタである
。複数個のピーキングコンデンサ１２の合計容量値Ｃ２
は、主コンデンサ７の容量値Ｃ１に比べ等しいか、また
は小さく設定されている。
このパルスガスレーザ装置においては、スイッチング素
子８をオンにし、主コンデンサ７に蓄積したエネルギー
を急速にアークギャップアレー回路１３中の複数個のピ
ーキングコンデンサ１２に移すことにより主放電電極２
間に電圧Ｖ、１を立上げ、またこの際起こるアークギャ
ップアレー回路１３中の複数個のアークギャップ１１で
のアーク放電により発生する紫外線により主放電空間１
を予備電離し、レーザ励起のための放電を得ている。
子８をオンにし、主コンデンサ７に蓄積したエネルギー
を急速にアークギャップアレー回路１３中の複数個のピ
ーキングコンデンサ１２に移すことにより主放電電極２
間に電圧Ｖ、１を立上げ、またこの際起こるアークギャ
ップアレー回路１３中の複数個のアークギャップ１１で
のアーク放電により発生する紫外線により主放電空間１
を予備電離し、レーザ励起のための放電を得ている。
従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパ
ルスガスレーザ装置についての詳しい説明は、文献“レ
ーザ研究、第１２巻、第８号、２４〜３１頁”に述べら
れているのでここでは省略する。
ルスガスレーザ装置についての詳しい説明は、文献“レ
ーザ研究、第１２巻、第８号、２４〜３１頁”に述べら
れているのでここでは省略する。
容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルスガ
スレーザ装置において、アークギャップアレー回路中に
複数個並列に接続されているピーキングコンデンサの容
量を大きくし、複数個のアークギャップでのアーク放電
への注入エネルギーを大きくすることにより予備電離の
強度を大きくし、またアークギャップアレー回路中のピ
ーキングコンデンサの個数を多くし、主放電空間全体に
わたって均一にすることにより、高効率なレーザ出力が
得られる。
スレーザ装置において、アークギャップアレー回路中に
複数個並列に接続されているピーキングコンデンサの容
量を大きくし、複数個のアークギャップでのアーク放電
への注入エネルギーを大きくすることにより予備電離の
強度を大きくし、またアークギャップアレー回路中のピ
ーキングコンデンサの個数を多くし、主放電空間全体に
わたって均一にすることにより、高効率なレーザ出力が
得られる。
ところが、第３図の容量移行型・紫外線予備自動電離方
式を用いたパルスガスレーザ装置においては、アークギ
ャップアレー回路中の複数個のピーキングコンデンサ１
２の合計の容量値Ｃ２は主コンデンサ７の容量値Ｃｔ
に等しいか、または小さいから、ピーキングコンデンサ
１２の個数には制限があり、そこで、アークギャップア
レー回路中のアークギャップ１１でのアーク放電に注入
されるエネルギーとアークギャップ１１の個数が制限さ
れる。
式を用いたパルスガスレーザ装置においては、アークギ
ャップアレー回路中の複数個のピーキングコンデンサ１
２の合計の容量値Ｃ２は主コンデンサ７の容量値Ｃｔ
に等しいか、または小さいから、ピーキングコンデンサ
１２の個数には制限があり、そこで、アークギャップア
レー回路中のアークギャップ１１でのアーク放電に注入
されるエネルギーとアークギャップ１１の個数が制限さ
れる。
従って、予備電離の強度はあまり大きくならず、また予
備電離は主放電空間全体にわたって均一にならず、高効
率でレーザ出力が得られない。
備電離は主放電空間全体にわたって均一にならず、高効
率でレーザ出力が得られない。
本発明の目的は高効率でレーザ出力が得られる容量移行
型・紫外線予備自動電離方式のパルスガスレーザ装置を
提供することにある。
型・紫外線予備自動電離方式のパルスガスレーザ装置を
提供することにある。
第１の本発明は、容量移行型・紫外線予備自動電離方式
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続したことを特徴とする。
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続したことを特徴とする。
第２の本発明は、容量移行型・紫外線予備自動電離方式
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続し、前記第１のアークギャップアレー回路と前記第２
のアークギャップアレー回路との間に可飽和インダクタ
を付加したことを特徴とする。
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続し、前記第１のアークギャップアレー回路と前記第２
のアークギャップアレー回路との間に可飽和インダクタ
を付加したことを特徴とする。
第１及び第２のアークギャップアレー回路を用いると、
ピーキングコンデンサの容量と個数を従来の２倍まで増
やせ、アーク放電への注入エネルギーが２倍近くなり予
備電離の強度が大きくなる。
ピーキングコンデンサの容量と個数を従来の２倍まで増
やせ、アーク放電への注入エネルギーが２倍近くなり予
備電離の強度が大きくなる。
また、アークギャップの個数も２倍まで増やせ、予備電
離が主放電空間全体にわたって均一になる。
離が主放電空間全体にわたって均一になる。
従って、高効率でレーザ出力が得られる。
ところで、第２のアークギャップでの予備電離では、予
備電離開始後すぐに主放電が起こるから、第３図の従来
の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルス
ガスレーザ装置での予備電離と同様の予備電離の効果が
得られる。−方、第１のアークギャップでの予備電離に
関しては、予備電離から主放電までは数１００ｎｓ以下
ではあるが時間がかかる。しかし、予備電離の効果は１
μｓ以上も持続するので、第１のアークギャップでの予
備電離は充分効果がある。従って、第１及び第２のアー
クギャップアレー回路を用いることにより２倍近くの予
備電離効果が得られる。なお、予備電離の効果の時間変
化については文献“アプライド・フィジックス・レター
（Ａｐｐｌｉｅｄ ＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ ）
＋第２９巻、第１１号、７０７〜７０９頁”に詳述さ
れているので省略する。
備電離開始後すぐに主放電が起こるから、第３図の従来
の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルス
ガスレーザ装置での予備電離と同様の予備電離の効果が
得られる。−方、第１のアークギャップでの予備電離に
関しては、予備電離から主放電までは数１００ｎｓ以下
ではあるが時間がかかる。しかし、予備電離の効果は１
μｓ以上も持続するので、第１のアークギャップでの予
備電離は充分効果がある。従って、第１及び第２のアー
クギャップアレー回路を用いることにより２倍近くの予
備電離効果が得られる。なお、予備電離の効果の時間変
化については文献“アプライド・フィジックス・レター
（Ａｐｐｌｉｅｄ ＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ ）
＋第２９巻、第１１号、７０７〜７０９頁”に詳述さ
れているので省略する。
本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第１図は第１の本発明の一実施例の構成図であり本発明
に係る部分を示している。
に係る部分を示している。
第１図のパルスガスレーザ装置においては、第１のアー
クギャップアレー回路１４と、主放電電極２が作るレー
ザ励起のための主放電空間１との間に、第２のアークギ
ャップ回路１５が設置されている。第１のアークギャッ
プアレー回路１４は、第１のピーキングコンデンサ４と
主放電空間ｌを紫外線予備電離するための第１のアーク
ギャップ３との直列回路が複数個並列に並べられたもの
で、また第２のアークギャップ回路１５は第２のピーキ
ングコンデンサ６と主放電空間ｌを紫外線予備電離する
ための第２のアークギャップ５との直列回路が複数個並
列に並べられたものである。第１のピーキングコンデン
サ４及び第２のピーキングコンデンサ６には、各々ｌな
いし３個位のアークギャップ３または５を付けることが
できる。なお図中、９はインダクタである。
クギャップアレー回路１４と、主放電電極２が作るレー
ザ励起のための主放電空間１との間に、第２のアークギ
ャップ回路１５が設置されている。第１のアークギャッ
プアレー回路１４は、第１のピーキングコンデンサ４と
主放電空間ｌを紫外線予備電離するための第１のアーク
ギャップ３との直列回路が複数個並列に並べられたもの
で、また第２のアークギャップ回路１５は第２のピーキ
ングコンデンサ６と主放電空間ｌを紫外線予備電離する
ための第２のアークギャップ５との直列回路が複数個並
列に並べられたものである。第１のピーキングコンデン
サ４及び第２のピーキングコンデンサ６には、各々ｌな
いし３個位のアークギャップ３または５を付けることが
できる。なお図中、９はインダクタである。
このパルスガスレーザ装置では、第１のピーキングコン
デンサ４の個数と第２のピーキングコンデンサ６の個数
を合計すると、第３図に示した従来の容量移行型・紫外
線予備自動電離方式を用いたパルスガスレーザ装置のピ
ーキングコンデンサの個数の２倍までにでき、またアー
クギャップの数も２倍までに多くできる。容量に関して
も２倍までにできる。
デンサ４の個数と第２のピーキングコンデンサ６の個数
を合計すると、第３図に示した従来の容量移行型・紫外
線予備自動電離方式を用いたパルスガスレーザ装置のピ
ーキングコンデンサの個数の２倍までにでき、またアー
クギャップの数も２倍までに多くできる。容量に関して
も２倍までにできる。
このパルスガスレーザ装置においては、まずスイッチン
グ素子８をオンにし主コンデンサ６に蓄積したエネルギ
ーを第１のアークギャップアレー回路１４中に複数個の
第１のピーキングコンデンサ４に移す。この際起こる第
１のアークギャップアレー回路中の複数個のアークギャ
ップ３でのア・−ク放電により発生する紫外線により、
主放電空間ｌは予備電離される。次に、第１のピーキン
グコンデンサ４に蓄積されたエネルギーは、第２のアー
クギャップアレー回路１５中の複数個の第２のピーキン
グコンデンサ６に移る。主放電空間１は、この時起こる
複数個の第２のアークギャップ５でのアーク放電により
発生する紫外線によっても予備電離される。同時に主放
電電極２間に電圧Ｖｄが立上がり、予備電離されている
主放電空間１にはレーザ励起のための放電が得られる。
グ素子８をオンにし主コンデンサ６に蓄積したエネルギ
ーを第１のアークギャップアレー回路１４中に複数個の
第１のピーキングコンデンサ４に移す。この際起こる第
１のアークギャップアレー回路中の複数個のアークギャ
ップ３でのア・−ク放電により発生する紫外線により、
主放電空間ｌは予備電離される。次に、第１のピーキン
グコンデンサ４に蓄積されたエネルギーは、第２のアー
クギャップアレー回路１５中の複数個の第２のピーキン
グコンデンサ６に移る。主放電空間１は、この時起こる
複数個の第２のアークギャップ５でのアーク放電により
発生する紫外線によっても予備電離される。同時に主放
電電極２間に電圧Ｖｄが立上がり、予備電離されている
主放電空間１にはレーザ励起のための放電が得られる。
このように第１図の実施例においては、第１及び第２の
アークギャップアレー回路１４．１５中の複数個の第１
．第２のアークギヤツブ３，５により予備電離が２度起
こり、予備電離に注入されるエネルギーは大きく、また
アークギャップの個数が多いので主放電空間１は均一に
予備電離される。
アークギャップアレー回路１４．１５中の複数個の第１
．第２のアークギヤツブ３，５により予備電離が２度起
こり、予備電離に注入されるエネルギーは大きく、また
アークギャップの個数が多いので主放電空間１は均一に
予備電離される。
従って、第１図の実施例の容量移行型・紫外線予備自動
電離方式パルスガスレーザ装置においては高効率なレー
ザ出力が得られる。
電離方式パルスガスレーザ装置においては高効率なレー
ザ出力が得られる。
第２図に第２の本発明の一実施例の構成図を示す。
前述した第１図の実施例においては、主コンデンサ７に
蓄積したエネルギーを第１のアークギャップアレー回路
１４中の第１のピーキングコンデンサ４に移す際、その
エネルギーのごく一部は第２のアークギャップアレー回
路１５中の第２のピーキングコンデンサ６に移る。その
ため、主放電に注入されるエネルギーは主コンデンサ７
に蓄積したエネルギーよりやや小さくなり、レーザ出力
が得られる効率がやや低（なる（しかし、従来のパルス
ガスレーザ装置よりは高効率でレーザ出力が得られる。
蓄積したエネルギーを第１のアークギャップアレー回路
１４中の第１のピーキングコンデンサ４に移す際、その
エネルギーのごく一部は第２のアークギャップアレー回
路１５中の第２のピーキングコンデンサ６に移る。その
ため、主放電に注入されるエネルギーは主コンデンサ７
に蓄積したエネルギーよりやや小さくなり、レーザ出力
が得られる効率がやや低（なる（しかし、従来のパルス
ガスレーザ装置よりは高効率でレーザ出力が得られる。
）
第２図の実施例は、この点を改善したものであり、その
特徴は主コンデンサ７に蓄積したエネルギーをすべて主
放電に注入すべく可飽和インダクタ１０を並列になって
いるアークギャップアレー回路１４と第２のアークギャ
ップアレー回路１５との間に付加したことにある。
特徴は主コンデンサ７に蓄積したエネルギーをすべて主
放電に注入すべく可飽和インダクタ１０を並列になって
いるアークギャップアレー回路１４と第２のアークギャ
ップアレー回路１５との間に付加したことにある。
第２図の実施例において、主コンデンサ７から第１のア
ークギャップアレー回路１４中の複数個の第１のピーキ
ングコンデンサ４ヘエネルギーの移行が終了した時、可
飽和インダクタ１０が飽和するように、即ち、可飽和イ
ンダクタ１０が高インダクタンスの状態から低インダク
タタンスに変化するようにしておけば、主コンデンサ７
に蓄積されたエネルギーの全てが第１のアークギャップ
アレー回路中の複数個の第１のピーキングコンデンサ４
へ移る。従って、第２図の実施例においては第１図の実
施例に比べ、より高効率でレーザ出力が得られる。ただ
し、第２図の実施例のほうが可飽和インダクタ１０を使
ったぶんコスト高になる。
ークギャップアレー回路１４中の複数個の第１のピーキ
ングコンデンサ４ヘエネルギーの移行が終了した時、可
飽和インダクタ１０が飽和するように、即ち、可飽和イ
ンダクタ１０が高インダクタンスの状態から低インダク
タタンスに変化するようにしておけば、主コンデンサ７
に蓄積されたエネルギーの全てが第１のアークギャップ
アレー回路中の複数個の第１のピーキングコンデンサ４
へ移る。従って、第２図の実施例においては第１図の実
施例に比べ、より高効率でレーザ出力が得られる。ただ
し、第２図の実施例のほうが可飽和インダクタ１０を使
ったぶんコスト高になる。
以上説明したように本発明の第１図、第２図の実施例で
あるパルスガスレーザ装置において、予備電離に注入さ
れるエネルギーは大きく、主放電空間を均一に予備電離
できるから高効率でレーザ出力が得られる。
あるパルスガスレーザ装置において、予備電離に注入さ
れるエネルギーは大きく、主放電空間を均一に予備電離
できるから高効率でレーザ出力が得られる。
本発明によれば、従来の容量移行型・紫外線予備自動電
離方式を用いたパルスガスレーザ装置より高効率でレー
ザ出力が得られる。
離方式を用いたパルスガスレーザ装置より高効率でレー
ザ出力が得られる。
第１図は第１の本発明の一実施例の構成図、第２図は第
２の本発明の一実施例の構成図、第３図は従来の容量移
行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルスガスレー
ザ装置の構成図である。 ■・・・・・主放電空間 ２・・・・・主放電電極 ３・・・・・第１のアークギャップ ４・・・・・第１のピーキングコンデンサ５・・・・・
第２のアークギャップ ６・・・・・第２のピーキングコンデンサ７・ ・ ・
・ ・主コンデンサ ８・・・・・スイッチング素子 ９・・・・・インダクタ １０・・・・・可飽和インダクタ １１・・・・・アークギャップ
２の本発明の一実施例の構成図、第３図は従来の容量移
行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルスガスレー
ザ装置の構成図である。 ■・・・・・主放電空間 ２・・・・・主放電電極 ３・・・・・第１のアークギャップ ４・・・・・第１のピーキングコンデンサ５・・・・・
第２のアークギャップ ６・・・・・第２のピーキングコンデンサ７・ ・ ・
・ ・主コンデンサ ８・・・・・スイッチング素子 ９・・・・・インダクタ １０・・・・・可飽和インダクタ １１・・・・・アークギャップ
Claims (2)
- （１）容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパ
ルスガスレーザ装置において、第１の予備電離用アーク
ギャップと第１のピーキングコンデンサとの直列回路を
複数個並列に配置した第１のアークギャップアレー回路
と、レーザ励起のための放電空間との間に、第２の予備
電離用アークギャップアレーと第２のピーキングコンデ
ンサとの直列回路を複数個並列に配置した第２のアーク
ギャップアレー回路を、前記第１のアークギャップアレ
ー回路と前記放電空間と並列になるように接続したこと
を特徴とするパルスガスレーザ装置。 - （２）容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパ
ルスガスレーザ装置において、第１の予備電離用アーク
ギャップと第１のピーキングコンデンサとの直列回路を
複数個並列に配置した第１のアークギャップアレー回路
と、レーザ励起のための放電空間との間に、第２の予備
電離用アークギャップアレーと第２のピーキングコンデ
ンサとの直列回路を複数個並列に配置した第２のアーク
ギャップアレー回路を、前記第１のアークギャップアレ
ー回路と前記放電空間と並列になるように接続し、前記
第１のアークギャップアレー回路と前記第２のアークギ
ャップアレー回路との間に可飽和インダクタを付加した
ことを特徴とするパルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14133586A JPH069263B2 (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | パルスガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14133586A JPH069263B2 (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | パルスガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182A true JPS63182A (ja) | 1988-01-05 |
| JPH069263B2 JPH069263B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=15289556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14133586A Expired - Lifetime JPH069263B2 (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | パルスガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069263B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63227083A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-21 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
-
1986
- 1986-06-19 JP JP14133586A patent/JPH069263B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63227083A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-21 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069263B2 (ja) | 1994-02-02 |
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