JPS63175804A - 干渉膜フイルタ及びその製造方法 - Google Patents
干渉膜フイルタ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS63175804A JPS63175804A JP612687A JP612687A JPS63175804A JP S63175804 A JPS63175804 A JP S63175804A JP 612687 A JP612687 A JP 612687A JP 612687 A JP612687 A JP 612687A JP S63175804 A JPS63175804 A JP S63175804A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interference film
- substrate
- film filter
- thickness
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明は、光通信等で使用する干渉膜フィルタとその
製造方法に関する。
製造方法に関する。
（従来の技術）
干渉膜フィルタは、光の合波・分波１分岐・結合等の機
能を有しており、光通信等いろいろな分野で用いられて
いる。
能を有しており、光通信等いろいろな分野で用いられて
いる。
従来、干渉膜フィルタは、 ＳｉＯオとＴｉｅ、の積層
が、一般的で１通常０．３■以上の厚みのガラス板に蒸
着法で形成される。そして、これを、ガラスブロック上
に接着剤等により張り付けて光の合波・分波用、あるい
は１分岐・結合用等のプリズムとして使用される。
が、一般的で１通常０．３■以上の厚みのガラス板に蒸
着法で形成される。そして、これを、ガラスブロック上
に接着剤等により張り付けて光の合波・分波用、あるい
は１分岐・結合用等のプリズムとして使用される。
最近、特に、光通信や光情報処理の分野において、光導
波路を用いた光回路部品が開発され、実用化されようと
している。光導波路の途中に干渉膜フィルタを、挿入す
る場合、干渉膜フィルタの厚みは薄ければ薄いほど挿入
損失が小さい、しかしながら、ガラス板の片面のみに蒸
着された従来の干渉膜フィルタを、薄くなるように研磨
すると干渉膜フィルタが反ってしまい、平面を有する干
渉膜フィルタかえられないといった問題があった。
波路を用いた光回路部品が開発され、実用化されようと
している。光導波路の途中に干渉膜フィルタを、挿入す
る場合、干渉膜フィルタの厚みは薄ければ薄いほど挿入
損失が小さい、しかしながら、ガラス板の片面のみに蒸
着された従来の干渉膜フィルタを、薄くなるように研磨
すると干渉膜フィルタが反ってしまい、平面を有する干
渉膜フィルタかえられないといった問題があった。
これは、基板用ガラスと干渉膜との線膨張係数が異なる
ためで、基板用ガラスの厚みが大きいときには平面を有
しているものの、上記の組成の干渉膜の場合には、厚さ
０．２５■あたりから干渉膜フィルタの反りが顕著に見
られるようになる。
ためで、基板用ガラスの厚みが大きいときには平面を有
しているものの、上記の組成の干渉膜の場合には、厚さ
０．２５■あたりから干渉膜フィルタの反りが顕著に見
られるようになる。
（発明が解決しようとする問題点）
以上のように、従来の干渉膜フィルタは薄くすると、反
ってしまうといった問題があった。
ってしまうといった問題があった。
本発明は、薄くても反らない干渉膜フィルタと。
その製造方法を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
このような目的を実現するため１本発明による干渉膜フ
ィルタは、干渉膜を中心に、基板と同じ材質で厚みがほ
ぼ同じ材料が張り合わされている構成となっている。
ィルタは、干渉膜を中心に、基板と同じ材質で厚みがほ
ぼ同じ材料が張り合わされている構成となっている。
また、本発明による干渉膜フィルタは０．２５■以上の
ガラス基板上に干渉膜フィルタを蒸着した後、基板と同
じ材質のガラス板を、干渉膜を中心にはりあわせ、両側
のガラス板をｏ、ｉｓ■以下の厚さとなるよう光学研磨
することにより製造される。
ガラス基板上に干渉膜フィルタを蒸着した後、基板と同
じ材質のガラス板を、干渉膜を中心にはりあわせ、両側
のガラス板をｏ、ｉｓ■以下の厚さとなるよう光学研磨
することにより製造される。
（作 用）
本発明にる干渉膜フィルタは、干渉膜を中心に、基板と
同じ材質で厚みがほぼ同じ材料が張り合わされている構
成となっているために、反ることはない。
同じ材質で厚みがほぼ同じ材料が張り合わされている構
成となっているために、反ることはない。
また、本発明による干渉膜フィルタは、もともと、反り
の小さな厚みを有するガラス板上に、干渉膜を蒸着させ
た後、基板と同じ材質のガラス板を、干渉膜を中心には
りあわせ１両側のガラス板を０．１５■以下の厚さとな
るよう光学研磨することにより製造されるので、反りの
ない干渉膜フィルタを実現することが出来る。
の小さな厚みを有するガラス板上に、干渉膜を蒸着させ
た後、基板と同じ材質のガラス板を、干渉膜を中心には
りあわせ１両側のガラス板を０．１５■以下の厚さとな
るよう光学研磨することにより製造されるので、反りの
ない干渉膜フィルタを実現することが出来る。
（実施例）
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は、本発明の干渉膜フィルタの実施例を、第２図
は、第１図の実施例の製造方法を説明する図である。ガ
ラス板１，２はＢＫ−７で、干渉膜はバンドパスフィル
タである。ガラス板１，２の厚みは、それぞれ０．０５
■、 ０．０５ｍｍで、全体でほぼ０．１閣の厚さであ
る。
は、第１図の実施例の製造方法を説明する図である。ガ
ラス板１，２はＢＫ−７で、干渉膜はバンドパスフィル
タである。ガラス板１，２の厚みは、それぞれ０．０５
■、 ０．０５ｍｍで、全体でほぼ０．１閣の厚さであ
る。
１ 第１図の実施例は、厚さ０．５ｍ（７） Ｂ Ｋ
−７ガラス１′上に干渉膜３を蒸着させた後、厚さ０．
３ｍのＢＫ−７ガラス２′を光学接着剤で干渉膜上に張
り合わせ、しかる後、交互に研磨を行って作製した。
−７ガラス１′上に干渉膜３を蒸着させた後、厚さ０．
３ｍのＢＫ−７ガラス２′を光学接着剤で干渉膜上に張
り合わせ、しかる後、交互に研磨を行って作製した。
以上説明したように、本発明による干渉膜フィルタとそ
の製造方法は、薄くても反りがなく、平面を有する干渉
膜フィルタを提供することができる。
の製造方法は、薄くても反りがなく、平面を有する干渉
膜フィルタを提供することができる。
第１図は本発明の干渉膜フィルタの実施例を示す図、第
２図は本発明の製造方法の実施例を説明する図である。 １．１’、２．２’・・・ガラス板、 ３、・・・干渉膜。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第１図 第２図
２図は本発明の製造方法の実施例を説明する図である。 １．１’、２．２’・・・ガラス板、 ３、・・・干渉膜。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板も含めた、その厚みが０．２５ｍｍ以下となる
干渉膜フィルタにおいて、干渉膜を中心に、基板と同じ
材質で厚みがほぼ同じ材料が張り合わされていることを
特徴とする干渉膜フィルタ。 ２、０．２５ｍｍ以上のガラス基板上に干渉膜フィルタ
を蒸着した後、基板と同じ材質のガラス板を、干渉膜を
中心にはりあわせ、両側のガラス板を０．１５ｍｍの厚
さとなるよう光学研磨することを特徴とする干渉膜フィ
ルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP612687A JPS63175804A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 干渉膜フイルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP612687A JPS63175804A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 干渉膜フイルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63175804A true JPS63175804A (ja) | 1988-07-20 |
Family
ID=11629815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP612687A Pending JPS63175804A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 干渉膜フイルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63175804A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19700385A1 (de) * | 1996-01-12 | 1997-07-17 | Nec Corp | Optisches Filter |
| JP2001508190A (ja) * | 1996-11-26 | 2001-06-19 | ディポジション・サイエンシイズ・インコーポレイテッド | 過酷な温度環境に耐え得る光学干渉コーティング |
-
1987
- 1987-01-16 JP JP612687A patent/JPS63175804A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19700385A1 (de) * | 1996-01-12 | 1997-07-17 | Nec Corp | Optisches Filter |
| JPH09197112A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-07-31 | Nec Corp | 光学フィルタ |
| JP2001508190A (ja) * | 1996-11-26 | 2001-06-19 | ディポジション・サイエンシイズ・インコーポレイテッド | 過酷な温度環境に耐え得る光学干渉コーティング |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5613534A (en) | Optical recording body and its manufacture | |
| JPS63175804A (ja) | 干渉膜フイルタ及びその製造方法 | |
| JP2786996B2 (ja) | 光学部品の製造方法 | |
| JPH03284705A (ja) | 偏光ビームスプリッタ | |
| JP2003195031A (ja) | エアギャップ型エタロンフィルタとその製造方法 | |
| JP2874439B2 (ja) | 光波長可変フィルタ及びその製造方法 | |
| JPH1039150A (ja) | 導波型光回路及びその製造方法 | |
| JP2741731B2 (ja) | 偏光子 | |
| JPS6086506A (ja) | 短波長パス干渉フイルタ | |
| JPH03233501A (ja) | 光学多層膜フイルタ素子及びその製造方法 | |
| JPS63268145A (ja) | 光学情報担体デイスク | |
| JPH01142508A (ja) | 導波路型光デバイス | |
| US5687263A (en) | Optical RF bandpass filter and method for manufacturing same | |
| JP2000081512A (ja) | エタロンフィルタおよびその製造方法 | |
| JPS59107416A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH1123845A (ja) | 積層型偏光子 | |
| JPS6114485B2 (ja) | ||
| JPS59195616A (ja) | 光分波器 | |
| JPS5960407A (ja) | 光学フイルタ | |
| RU2167837C2 (ru) | Способ изготовления однослойного интерференционного оптического фильтра | |
| JPS61283021A (ja) | 浮動形磁気ヘツド | |
| JPS60242531A (ja) | 光学式情報記録媒体基板 | |
| JPS62143243A (ja) | 光ディスク | |
| JPS63142304A (ja) | 水晶光学フイルタ | |
| JPH02277007A (ja) | 導波路端面の研磨方法 |