JP2874439B2 - 光波長可変フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
光波長可変フィルタ及びその製造方法Info
- Publication number
- JP2874439B2 JP2874439B2 JP4081211A JP8121192A JP2874439B2 JP 2874439 B2 JP2874439 B2 JP 2874439B2 JP 4081211 A JP4081211 A JP 4081211A JP 8121192 A JP8121192 A JP 8121192A JP 2874439 B2 JP2874439 B2 JP 2874439B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- transparent substrate
- film
- thickness
- multilayer film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
びその製造方法に関するものである。
(B) は詳細図である。図4において、11は光学ガラスよ
りなる直方体状の透明基板である。
膜厚の高屈折率誘電体薄膜(例えばTiO2で、屈折率は2.
3)と低屈折率誘電体薄膜(例えばSiO2で、屈折率は1.4
6)とを、交互に所望数重層して形成された誘電体多層
膜である。
長のみ透過する。したがって、透明基板11に誘電体多層
膜12を形成してなる光波長フィルタ10は、パンドパスフ
ィルタ等である。
伝送路(例えば光ファイバ)1-1の出射光をレンズで平行
ビームにし、その平行ビームを光波長フィルタ10に投射
し、光波長フィルタ10を透過した平行ビームを、他のレ
ンズで集光して他の光伝送路1-2 に入射させている。
角度を変える、即ち入射角を変えることで透過する波長
帯が変化する。即ち光波長可変フィルタとなる。なお、
入射角を大きくすると、短波長側にシフトし、入射角を
小さくすると、長波長側にシフトする。
とによる波長シフトは、1500nm帯で(2〜3)nm/度で
ある。また、光波長フィルタと光伝送路間の結合損失は
通常0.5 dB 以下である。
誘電体多層膜に投射する平行ビームの入射角を変えるこ
とで、光波長可変フィルタとした従来のものは、図4の
(B) に図示したように、光軸が入射角に比例して、δだ
けずれる。
ち可変幅を拡開すると光波長フィルタと光伝送路間の結
合損失が著しく増加するという問題点があった。一方、
入射角が変わると誘電体多層膜の透過率が変化するの
で、波長を広範囲に可変することができないという問題
点があった。
もので、結合損失が一定で、且つ透過率が変動しない光
波長可変フィルタを提供することにある。また他の目的
は、上述の特性を有する光波長可変フィルタの製造方法
を提供することにある。
めに本発明は、図1に図示したように、直方体状の透明
基板21と、一方の端部に移行するに伴い膜厚が漸次減少
する高屈折率誘電体薄膜と低屈折率誘電体薄膜とが、交
互に重層して透明基板21の表面に形成されてなる、一方
の端部の膜厚が薄く他方の端部の膜厚が厚い誘電体多層
膜22と、透明基板21を光路に直交する方向に微細移動す
る手段とを、備えた構成とする。
向する面を所定の曲面31に形成し、その曲面31に、剥離
可能に透明体薄板25を貼着する。そして、所定の屈折率
を有する誘電体物質を、底面32にほぼ直交する方向か
ら、透明体薄板25に交互に投射し蒸着して、透明体薄板
25の表面に一方の端部の膜厚が薄く他方の端部の膜厚が
厚い誘電体多層膜22を設ける。
し、直方体状の透明基板21の表面に貼着して、光波長可
変フィルタとする。
移行するに伴い膜厚が漸次減少する高屈折率誘電体薄膜
と、同方向の端部に移行するに伴い膜厚が漸次減少する
低屈折率誘電体薄膜とが、交互に重層して形成されたも
のである。
光路に直交する方向に移動することで、光が通過する部
分の誘電体多層膜の膜厚が変化する。よって、パンドパ
スフィルタ等のパスする波長帯がシフトする。
ように入射するので、光波長フィルタを通過する前と後
とで光軸がずれることがない。よって、光伝送路と光波
長可変フィルタ間の結合損失が増加することがない。
に移動すのであるから入射角は不変である。即ち、誘電
体多層膜の透過率もまた変動することがない。一方、本
発明の製造に際して用いる基台は、所定の形状の曲面
で、この局面に板厚が一定の透明体薄板を貼着し、その
透明体薄板の表面に所定の同方向から誘電体物質を投射
し蒸着している。
は、誘電体物質の入射角の余弦に比例して形成されるこ
とになる。即ち、この曲面を所定の二次曲線よりなる曲
面とすることで、一方の端部の膜厚が薄く他方の端部の
膜厚が厚い誘電体薄膜を透明体薄板の表面に形成するこ
とができる。
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
(B) は側面図、図2は本発明の実施例の断面図、図3の
(A),(B) は本発明の製造工程を示す図である。図におい
て、21は、光学ガラスまたは高分子材料等からなる直方
体状の透明基板である。
漸次減少する高屈折率誘電体薄膜と低屈折率誘電体薄膜
とが、交互に重層して透明基板21の表面に形成された、
一方の端部の膜厚が薄く他方の端部の膜厚が厚い誘電体
多層膜である。
板21の選択した面に、一方の端部の膜厚が薄く他方の端
部の膜厚が厚い、中心部の膜厚がλ0 /4(λ0 は光波
長)の高屈折率誘電体薄膜(例えばTiO2で、屈折率は2.
3)22-1が蒸着等されて形成されている。
薄く他方の端部の膜厚が厚い、中心部の膜厚がλ0 /4
(λ0 は光波長)の低屈折率誘電体薄膜(例えばSiO
2で、屈折率は1.46)22-2が形成され、さらにこの低屈
折率誘電体薄膜22-2の表面上に他の高屈折率誘電体薄膜
22-1が形成されている。
/2(λ0 は光波長)の低屈折率誘電体(例えばSiO
2で、屈折率は1.46)よりなるキャビティ薄膜22-3が形
成され、次に高屈折率誘電体薄膜22-1, 低屈折率誘電体
薄膜22-2, 高屈折率誘電体薄膜22-1, キャビティ薄膜22
-3と交互に、例えば50層を蒸着等して重層させたもので
ある。
長λ0 のみ透過する。したがって、透明基板21に誘電体
多層膜22を形成してなる光波長フィルタ20は、パンドパ
スフィルタである。
より、パスする波長帯の幅を所望に加減し得る。光伝送
路(例えば光ファイバ)1-1の出射光をレンズで平行ビー
ムにし、その平行ビームを光波長フィルタ20の誘電体多
層膜22に直交するように投射し、光波長フィルタ20を透
過した平行ビームを、他のレンズで集光して他の光伝送
路1-2 に入射させている。
を挟むように、一対の平行するガイド27を設けるととも
に、貫通するねじ孔を有する角形部材28を、透明基板21
の横方向に所望の間隔を隔てて設置している。
を螺合し、調整ねじ29の先端部を透明基板21の端面に取
りつけたラジアルボールベアリングの孔に圧入してい
る。したがって、調整ねじ29を所望に回動することで、
光波長フィルタ20は、光路に直交する方向に微細に移動
する。このことにより、光が通過する部分の誘電体多層
膜22膜厚が微細に変化する。即ちパンドパスフィルタの
パスする波長帯がシフトする。
を移動すると、短波長側にシフトし、膜厚が厚い方向に
光波長フィルタ20を移動すると、長波長側にシフトす
る。以下図3を参照しながら、上述の光波長可変フィル
タの製造方法を説明する。
が、所定の二次曲線が並列してなる曲面31を有する基台
である。この二次曲線は下式で示される。
樹脂等) 等からなる、板厚が50μm 程度の短冊形の透明
体薄板である。
剥離可能に貼着した後に、高屈折率誘電体物質を底面32
に直交する方向から、透明体薄板25の面に投射し蒸着し
て、所望の膜厚の高屈折率誘電体薄膜を形成する。次に
低屈折率誘電体物質を底面32に直交する方向から、透明
体薄板25の面に投射し蒸着して、所望の膜厚の低屈折率
誘電体薄膜をを形成する。
互に蒸着し重層して、所望の層数の誘電体多層膜を透明
体薄板25の表面に形成する。その後、透明体薄板25を基
台30から剥離し、直方体状の透明基板21の表面に、光学
接着材26を用いて貼着することで、光波長フィルタ20が
完成する。できる。
れぞれの誘電体薄膜の膜厚T(x) と、誘電体物質の投射
される入射角θとは、
次曲線からなる曲面である。したがって、
得られる。
部に移行するに伴い膜厚が漸次減少する高屈折率誘電体
薄膜と、同方向の端部に移行するに伴い膜厚が漸次減少
する低屈折率誘電体薄膜とを、交互に重層してなる誘電
体多層膜を、直方体状の透明基板に表面に形成し、誘電
体多層膜を光路に直交する方向に移動して、パスする波
長帯をシフトするようにした光波長可変フィルタであっ
て、光波長フィルタを通過する前と後とで光軸がずれる
ことがないので、光伝送路と光波長可変フィルタ間の結
合損失が一定で小さいという、実用上で優れた効果を有
する。
とがなくて、安定した波長特性を有する。一方、本発明
方法によれば、所望に膜厚が減少する誘電体多層膜を容
易に得られる。
Claims (3)
- 【請求項1】 表面に屈折率の異なる誘電体膜を交互に
積層し該誘電体膜の膜厚が漸次減少するよう構成した誘
電体多層膜を有する透明基板(21)と、 該透明基板を光路に対して該膜厚が変化する方向に平行
にガイドするガイドと、 該透明基板をガイドに沿って移動させる手段とを備えた
ことを特徴とする光波長可変フィルタ。 - 【請求項2】 基台(30)の底面(32)に対向する面を所定
の曲面(31)に形成し、該曲面(31)に剥離可能に透明体薄
板(25)を貼着し、 所定の屈折率を有する誘電体物質を、該底面(32)にほぼ
直交する方向から、該透明体薄板(25)に交互に投射し蒸
着して該透明体薄板(25)の表面に、一方の端部の膜厚が
薄く他方の端部の膜厚が厚い誘電体多層膜(22)を設けた
後に、 該透明体薄板(25)を該基台(30)から剥離し、直方体状の
透明基板(21)の表面に貼着することを特徴とする光波長
可変フィルタの製造方法。 - 【請求項3】 表面に屈折率の異なる誘電体膜を交互に
積層し該誘電体膜の膜厚が漸次減少するよう構成した誘
電体多層膜を有する透明基板(21)と、 該誘電体多層膜に対する光の入射角が一定になるように
該透明基板を平行移動する手段と 、該誘電体多層膜を通過する光を平行光にする1対のレン
ズ を備えたことを特徴とする光波長可変フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4081211A JP2874439B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 光波長可変フィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4081211A JP2874439B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 光波長可変フィルタ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05281480A JPH05281480A (ja) | 1993-10-29 |
JP2874439B2 true JP2874439B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=13740156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4081211A Expired - Lifetime JP2874439B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 光波長可変フィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2874439B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8620161B2 (en) | 2010-08-31 | 2013-12-31 | Nec Corporation | Wavelength multiplexing unit and wavelength multiplexing method of wavelength multiplexing optical transmission system |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792530B2 (ja) * | 1993-03-26 | 1995-10-09 | サンテック株式会社 | 波長可変型干渉光フィルタ装置 |
JPH08237203A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-13 | Fujitsu Ltd | 光フィルタアレイ、光送信機及び光送信システム |
JP4286351B2 (ja) | 1998-11-13 | 2009-06-24 | 富士通株式会社 | 光アッド/ドロップ回路 |
JP4930036B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2012-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 外部共振型レーザ光源装置及びそれを用いたモニタ装置並びに画像表示装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02132405A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-21 | Minolta Camera Co Ltd | 分光フィルター及び分光測定センサー |
JPH04126201U (ja) * | 1991-05-09 | 1992-11-17 | 株式会社アドバンテスト | 多層誘電体膜波長フイルタ |
-
1992
- 1992-04-03 JP JP4081211A patent/JP2874439B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8620161B2 (en) | 2010-08-31 | 2013-12-31 | Nec Corporation | Wavelength multiplexing unit and wavelength multiplexing method of wavelength multiplexing optical transmission system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05281480A (ja) | 1993-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4367921A (en) | Low polarization beam splitter | |
US5400174A (en) | Optical notch or minus filter | |
US4415233A (en) | Achromatized beam splitter of low polarization | |
EP0041358A3 (en) | Non-polarizing thin film edge filter and fiber optic communication systems incorporating such filters | |
WO2010025536A1 (en) | Thin film optical filters with an integral air layer | |
JP2000047027A (ja) | 光フィルタの製造方法 | |
JP2874439B2 (ja) | 光波長可変フィルタ及びその製造方法 | |
US7315420B2 (en) | CWDM filter with four channels | |
JP2697882B2 (ja) | 光学フィルター | |
JPH08227014A (ja) | 波長可変フィルタおよびその製造方法並びに波長可変光源 | |
JPH03284705A (ja) | 偏光ビームスプリッタ | |
US4884868A (en) | Optical component for separating light into different wavelength components | |
JP2000131522A (ja) | 偏光子とその製造方法及びこれを用いた導波型光デバイス | |
JP2005091996A (ja) | 光学部品実装モジュール及び光通信モジュール | |
JP2741731B2 (ja) | 偏光子 | |
JPH06250017A (ja) | 光ファイバ用多層膜フィルタ装置 | |
JPH0660966B2 (ja) | 光デバイスの製造方法 | |
JPS6275403A (ja) | エツジ・フイルタ | |
JPH0727931A (ja) | 光導波路 | |
JP2000214392A (ja) | 光波長フィルタ | |
JP2637254B2 (ja) | 光バンドパスフィルタ | |
JPH0738041B2 (ja) | 無偏光ビ−ムスプリツタ− | |
JPH0667131A (ja) | 光フィルタ | |
JP2004279856A (ja) | 波長可変型光フィルターモジュール | |
JP3008962B2 (ja) | 誘電体多層膜フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981215 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090114 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110114 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110114 Year of fee payment: 12 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110114 Year of fee payment: 12 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110114 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120114 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130114 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130114 Year of fee payment: 14 |