JPS63174841A - ダイサ−用ワ−クテ−ブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、カッティング済みの半導体ウェーハを洗浄処
理する洗浄装置を備えたグイザーにおけるワークテーブ
ルに関する。詳細には、高速ＩＩ！１転するスピンナー
テーブルと精密に回転割り出しするチャックテーブルと
の両者の機能を兼ね備えたダイサー用ワークテーブルに
関する。

（発明の背景） １へ導体つＪ−ハ（以下ウェーハと称する）のダイシン
グ加工技術において、カッティングされたウェーハはブ
レーキングされてデツプに細断されるが、ブレーキング
に先ｑっでウェーハに付着した切粉等を除去することが
必要とされており、カッティングから洗浄処理までを連
続して自動的に行ない得るダイサーが開発され、実用化
されている。

ところが、前記ダイサーは、ウェーハの取り扱い構造が
複雑でトラブル発生の原因となり、又洗浄処理を十分に
行ない難いという問題点がある。

すなわち、前記ダイサーは、例えばウェーハのストリー
トをカッターの基準切断線に位置合わせ（以下アライメ
ントと称する）するアライメント装置と、アライメント
されたウェーハをストリートに沿ってカッティングする
切断装置と、カッティングされたウェーハに高圧水等を
噴射して切粉等を除去する洗浄装置とを備えたものであ
るが、アライメント時及びカッティング時と洗浄処理時
とではウェーハの取り扱いが異なっており、アライメン
ト時及びカッティング時にはウェーハのストリートがカ
ッターと平行に位置するように精密に回転割り出しし、
洗浄処理時にはカッティング済みのウェーハを高速回転
し得るように構成されていることが必要である。そのた
め、機能の異なった２種類のワークテーブル、すなわち
精密に回転割り出しするチャックテーブルと高速回転す
るスピンナーテーブルとが設けられている。また、カッ
ティング後に洗浄処理を行うためにカッティング済のウ
ェーハをチャックテーブルからスピンナーテーブルに載
せ換える必要があり、両者間に搬送ベルト、ロボット等
の搬送装置が設けられている。

以上のように、カッティングと洗浄処理とを連続して行
うためには機能が異なった２種類のワークテーブルを設
けると共に、両者間を接続する搬送装置を設ける必要が
あり、ウェーハの取り扱い構造が複雑となっている。

また、洗浄処理は、カッティング済のウェーハを搬送装
置によりスピンナーテーブルに載置し、スピンナーテー
ブルを比較的低速で回転している間に高圧水等を噴射し
てウェーハを洗浄し、その後、スピンナーテーブルを比
較的高速回転してウェーハを乾燥することにより行われ
るが、チャックテーブルからスピンナーテーブルに載せ
換える間にカッティング済のウェーハが乾燥して切粉等
がウェーハに固く付着する場合があり、洗浄処理が十分
に行ない難いという問題点がある。

（発明の目的） 本発明は１１η記従来の問題点を解消すべくなされたし
のであり、その［］的は、スピンナーテーブルとチャッ
クテーブルとの両者の機能を兼ね備え、アライメント、
カッティング及び洗浄処理に兼用し得るワークテーブル
を提供することにある。

（発明の構成） 本発明は、ウェーハを吸着保持する回転盤の回転軸に高
速回転するＡＣサーボモータ等からなる第１駆動モータ
をカップリング等を介して直接連結してスピンナーテー
ブルとしての機能を持たせると共に、前記回転盤に摩擦
駆動輪、ベルト、ワイヤー等の摩擦駆動伝達部材を圧接
接触し、該摩ｗｆ、駆動伝Ｊｊ！部材を微少角宛回転す
るパルスモータ、インダクション等の割り出し用モータ
からなる第２駆動モータに連結してチャックテーブルと
しての機能を持たせることにより、スピンナーテーブル
とチャックテーブルとの両者の機能を兼ね備えたワーク
テーブルを構成したものである。

′４“なわら、本発明の構成ｌ−の特徴は、ウェーハを
吸着保持する回転盤と、該回転盤を高速回転する第１駆
動モータと、摩擦駆動伝達部材を介して回転盤を微少角
宛回転すると共に、回転盤との駆動伝達が接続・分離し
得るように設けられた第２駆動モータとを備えているこ
とにある。

（実施例） 本発明の実施例を図に基いて説明する。本実施例は第４
図に示すダイサーに適応されたものであり、第４図にお
いて、Ｉは軸方向に所定間隔で位置調整＋ｊＪ能に設け
られたカッター２を備えた切断装置、３はパターニング
されたウェーハＷのストリートを顕微鏡等により検知す
る検知装置４と、該検知装置４からの信号により基べへ
切断線と前記ストリートとのアライメントの状態を演算
すると」（に表示する演算及び表示装置５とを備えたア
ライメント装置、６は高圧水等を噴射する噴射ノズルを
備え、カッティング済みのウェーハＷから切粉等を除去
する洗浄装置、７はウェーハＷを吸着保持するワークテ
ーブル装置である。

ワークテーブル装置７は、第１移動台８が第１移動装置
Ｉ■によりΔ矢印方向に往復移動されるように支持レー
ル＋２４−に摺動自在に設けられ、第２移動台９が第２
移動装置１３により１３矢印方向に移動されるように第
１移動台８Ｊ−に摺動自在に設けられ、ワークテーブル
ｌＯが第２移動台９１−に設：すられている。

ワークテーブルｌＯは第１〜３図に示すように構成され
ており、回転盤２０の」二面にはバキューム溝２２が形
成され、該バキューム溝２２を覆゛うように吸着板２１
が固定されている。吸着板２Ｉは、多孔質セラミック等
の多孔質材、多数の小孔が形成された多孔板等からなり
、図示せざるバキューム源と切り換え弁を介して連通ず
ることにより後述するバキュームラインを介して吸引空
気が供給され、ウェーハＷを吸着保持するものである。

回転盤２０の下面には支持台２３が一体に設けられてお
り、該支持台２３は第２移動台９に固定されたベース３
０に第１軸受け３１及び第２軸受け３２により回転自在
に支持されている。支持台２３の中心部には回転軸２４
が設けられ、該回転軸２４の一端にはカップリング２５
を介して高速回転用のＡＣサーボモータ２６が連結され
ている。

なお、ＡＣサーボモータ２６は、高圧水等による洗浄時
には比較的低速で回転され、洗浄後に乾燥する際には比
較的高速で回転されるように制御されている。回転軸２
４には、外周面にバキューム管２９に連結されたシール
部材２８が摺動自在に設けられ、一端がバキューム溝２
２に連通し、他端がシール１１１．材２８に連通しかつ
回転軸２４の外周面の複数箇所に開放するバキューム孔
２７が形成されている。なお、バキューム管２９は、図
示されていない切り換え弁を介してバキューム源に連結
されており、バキューム溝２２、バキューム孔２７及び
シール部材２８とによってバキュームラインが構成され
ている。

回転盤２０の外周面には、複数のリング状溝３４が形成
されたゴム、プラスデック等からなるリング状の摩擦輪
３３が固定されており、該摩擦輪３３には前記リング状
溝３４と係合する溝３６が形成された摩擦駆動輪３５が
圧接・分離可能に設けられている。すなわち、摩擦駆動
輪３５は、微少角宛回転駆動するパルスモータ３７に連
結されており、該パルスモータ３７はｆ部用側面がベー
ス３０に固定された支持ブラケット３８の一端に揺動自
在に支持されている。また、パルスモータ３７の下部一
端には、ベース３０に固定されたソレノイド３９のロッ
ド４０が連結され、パルスモータ３７の」二部一端とベ
ース３０との間にはパルスモータ３７を回転盤２０側に
引き寄せるようにスプリング４１が設けられている。ソ
レノイド３９は、オン時にはロッド４０が後退し、オフ
時にはロッド４０が突出するように作動される。従って
、パルスモータ３７は、ソレノイド３９がオンされた時
には摩擦駆動輪３５がスプリング４１の弾性力に抗して
摩擦輪３３から分離する方向に傾動され、ソレノイド３
９がオフされた時には摩擦駆動輪３５がスプリング４Ｉ
の弾性力により摩擦輪３３を圧接する方向に傾動される
。なお、摩擦駆動輪３５は、摩擦輪３３に圧接される時
には摩擦輪３３との間に滑りが生じないように強く圧接
されていることが好ましい。

また、回転盤２０の外周面には摩擦輪３３に隣接してリ
ング状の回転角読み取りスケール４２が固定され、該回
転角読み取りスケール４２と対向して読み取りヘッド４
３がベース３０に設けられている。回転角読み取りスケ
ール４２と読み取りヘッド４３は、回転盤２０の回転角
を検出する回転角検出器であり、回転角読み取りスケー
ル４２の移動！１ｔを読み取りヘッド４３により検出し
、読み取りヘッド４３からの信号によりパルスモータの
駆動’＋ｔを制御し、回転盤２０の回転角を精密に設定
し得るように構成されている。

本実施例は、以上のように構成されており、次のように
作動される。

第４図に示すダイサーにおいて、パターニングされたウ
ェーハＷは、ワークテーブル装置７がアライメント装置
３に対応する位置と洗浄装置６に対応する位置との間を
往復する間に、アライメント、カッティング及び洗浄処
理が順次行なわれる。

°４゛なわち、パターニングされたウェーハＷは、ワー
クテーブル装置７がアライメント装置３の検知装置４に
対応する位置に位置決めされている際に、図示せざる搬
入装置又は手作業によりワークテーブル装置７の回転盤
２０上に載置され、バキュームラインがバキューム源に
連通されて吸着板２１により吸着保持される。しかる後
、例えばウェーハＷに形成された２方向のストリートが
アライメント装置３により順次アライメントされる。ま
ず、−・方のストリートについて、向きが基準切断線に
平行になるように回転盤２０を回転割り出しした後に、
基準切断線と一致するように第２移動台９を１３矢印方
向に位置調節することによりアライメントする。次いで
、回転盤２０を９０”回転割り出しして他方のストリー
トについて、前記と同様に向きを調節した後にＩ３矢印
方向に位置調節される。

アライメントが完了した後、ワークテーブル装置７が切
断装置Ｉのカッター２と対応する位置よりＴ′−１１ζ
ｉまで移動され停止される。そして、カッター２が設定
された加工位置まで下降された後、ワークテーブル装置
７が移動されて一方のストリートのカッティングが開始
される。一方のストリートについて、最初のストリート
のカッティングが終了した後にカッター２が上昇され、
ワークテーブル装置７が前記停止位置に復帰される。次
いで、カッター２が軸方向に位置調節されると共に、加
工位置まで下降され、再度ワークテーブル装置７が移動
され、次のストリートがカッティングされる。以後、同
様にして一方のストリートについて、全てのストリート
が順次カッティングされる。

一方のストリートについて全てのストリートのカッティ
ングが完了した後、ワークテーブル装置７の回転盤２０
が９０°回転割り出しされて、他方のストリートがカッ
ター２と対応するように設定され、以後一方のストリー
トの場合と同様に順次カッティングが行われる。

他方のストリートのカッティングか完了すると、ワーク
テーブル装置７は、洗浄装置６と対応する位置に移動さ
れ、回転盤２０が比較的低速で１［１転されると共に洗
浄装置６から高圧水等が噴射されて、カッティング済の
ウェーハＷから切粉等が除去される。そして、その後高
圧水等の噴射が停止されると共に回転盤２０が比較的高
速で回転され、ウェーハは乾燥される。

洗浄処理が終了して回転盤２０の回転が停止された後、
図示せざる搬出装置又は手作業により、カッティング済
のウェーハＷが搬出される。そして、ワークテーブル装
置７がアライメント装置３と対応する位置に復帰され、
前記と同様に新しいウェーハＷが載置され、以後同様に
アライメント、カッティング及び洗浄処理が繰返される
。

以−ＬのウェーハＷの処理工程において、ワークテーブ
ル装置７の回転盤２０はアライメント時及びカッティン
グ時には回転割り出しされ、洗浄処理時には比較的低速
で回転された後比較的高速で回転されるが、夫々次のよ
うに行なわれる。

アライメント時及びカッティング時に゛は、ＡＣザーボ
モータ２６は非通電状態に設定され、パルスモータ３７
は通電状態に設定されている。そして、ソレノイド３９
が非作動状態に設定されているため、パルスモータ３７
は摩擦駆動輪３５が摩擦輪３３を圧接するようにスプリ
ング４１により回転盤２０の側に傾動されている。この
状態において、例えばウェーハＷの一方のストリートを
アライメントする場合には、アライメント装置３からの
信号によりパルスモータ３７が駆動され、パルスモータ
３７の駆動が摩擦駆動輪３５を介して摩擦輪３３すなわ
ち回転盤２０に伝達され、＋ｉＱ記ストリートが基準切
断線と・［行になるように回転割り出しされる。また、
１）η記ストリートがアライメントされた後に、パルス
モータ３７は回転盤２０が９０°回転割り出しされるＪ
：うに駆動されるが、該パルスモーク３７の駆動１１ｔ
は回転盤２０とともに回転する回転角読み取りスケール
４２の移動’＋１を読み取りヘッド４３で検出すること
により行なわれる。なお、ＡＣサーボモータ２６が非通
電状態であることにより、回転盤２０は摩擦駆動輪３５
により円滑に回転され、摩擦駆動輪３５がスプリング４
１により回転盤２０の１１擦輪３３に強く圧接されてい
ることにより、摩擦駆動輪３３から摩擦輪３５にスリッ
プを生じることがなく回転伝達され、又回転角検出器に
より回転盤２０の実際に割り出される角度が検出される
ため、回転盤２０は精密に回転割り出しされる。

洗浄処理時には、ソレノイド３９が作動され、パルスモ
ータ３７は摩擦駆動輪３５が摩擦輪３３から分離するよ
うに傾動される。そして、ＡＣサーボモータ２６が駆動
され、回転盤２０は比較的低速で回転された後比較的高
速で回転される。゛本実施例は、以−ヒのように回転盤
２０の回転割り出し及び高速回転を円滑かつ精密に行な
い得る。

特に、回転割り出しについては、摩擦駆動輪３５により
行なわれるため、精密に行ない得ることは勿論のこと、
カッティング時等に回転盤２０に外力が作用する場合に
おいても回転盤２０が摩擦駆動輪３５により固定されて
おり、動くことがなく割り出し角を正確に維持し得る。

本発明は、本実施例のみに限定されるものではなく、例
えばパルスモータ３７と回転盤２０とをベルト、ワイヤ
ー等により摩擦駆動伝達し得るように構成されていても
よい。また、パルスモータ３７にピニオン歯車を取り付
け、回転盤２０に歯車を取り付けることにより、駆動伝
達し得るように構成されていてもよい。

（発明の効果） 本発明は、実施例においても説明しているように、回転
盤が摩擦駆動輪を介して微少角宛回転する第２駆動モー
タに連結されていることにより、回転割り出しを精密に
行ない、かつ回転割り出し後における回転盤の動きを防
＋ｔ−Ｌ、て割り出し角を正確に維持し得ると共に、回
転盤に高速回転する第１駆動モータが連結されているた
め、チャックテーブルとスピンナーテーブルとの雨音の
機能を兼備し得るものであり、従来のようにウェーハの
取り扱い構造を複雑とすることがなく、簡単な構造で洗
浄装置を備えたダイサーを構成し得るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の正面図で、一部を破断面で示
す。第２図は同じく一部を破断面で示す平面図、第３図
は第２図のＩｌｌ　−Ｉｌｌ線に沿った拡大断面図、第
４図は本実施例を適用したダイサーの要部のみを示す斜
視図である。 １・・・切断装置、３・・・アライメント装置、６・・
・洗浄装置、７・・・ワークテーブル装置、１０・・・
ワークテーブル、２０・・・回転盤、２１・・・吸着板
、２６・・・ＡＣサーボモータ、３３・・・摩擦輪、３
５・・・摩擦駆動輪、３７・・・パルスモータ、３９・
・・ソレノイド、４１・・・スプリング、４２・・・回
転角読み取りスケール、４３・・・読み取りヘッド、Ｗ
・・・ウェーハ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）洗浄装置を備えたダイサーにおいて、ウェーハを
   吸着保持する回転盤と、該回転盤を高速回転する第１駆
   動モータと、摩擦駆動伝達部材を介して回転盤を微少角
   宛回転すると共に、回転盤との駆動伝達が接続・分離し
   得るように設けられた第２駆動モータとを備えているこ
   とを特徴とするダイサー用ワークテーブル。
2. （２）前記回転盤の外周面に摩擦輪が設けられ、前記摩
   擦駆動伝達部材が摩擦駆動輪であり、該摩擦駆動輪が前
   記摩擦輪に圧接・分離し得るように前記第２駆動モータ
   が揺動可能に設けられている特許請求の範囲第１項に記
   載のダイサー用ワークテーブル。