JPS63172134U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63172134U JPS63172134U JP6563387U JP6563387U JPS63172134U JP S63172134 U JPS63172134 U JP S63172134U JP 6563387 U JP6563387 U JP 6563387U JP 6563387 U JP6563387 U JP 6563387U JP S63172134 U JPS63172134 U JP S63172134U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- substrate
- view
- internal wiring
- protect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Local Oxidation Of Silicon (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の半導体装置の平面図であり、
第３図は従来の半導体装置の平面図である。 １……基板周辺部、２……内部素子又は内部配
線、３……ボンデイングパツド、４……基板周辺
の窒化膜のために存在する段差。 第２図は本考案の半導体装置の縦断面図であり
、第４図は従来の半導体装置の縦断面図である。 １……基板Ｓｉ、２……熱酸化膜、３……基板
周辺の窒化膜、酸化膜、４……第１Ａｌ、５……
層間膜、６……第２Ａｌ、７……カバー膜、８…
…ボンデイングパツド。
第３図は従来の半導体装置の平面図である。 １……基板周辺部、２……内部素子又は内部配
線、３……ボンデイングパツド、４……基板周辺
の窒化膜のために存在する段差。 第２図は本考案の半導体装置の縦断面図であり
、第４図は従来の半導体装置の縦断面図である。 １……基板Ｓｉ、２……熱酸化膜、３……基板
周辺の窒化膜、酸化膜、４……第１Ａｌ、５……
層間膜、６……第２Ａｌ、７……カバー膜、８…
…ボンデイングパツド。
Claims (1)
- 半導体装置において、内部配線部を保護するた
めに、基板周辺部が内部より高くなつていること
を特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6563387U JPS63172134U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6563387U JPS63172134U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63172134U true JPS63172134U (ja) | 1988-11-09 |
Family
ID=30902888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6563387U Pending JPS63172134U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63172134U (ja) |
-
1987
- 1987-04-28 JP JP6563387U patent/JPS63172134U/ja active Pending