JPS63166195A - シリコン単結晶引上装置用カーボンヒータ - Google Patents
シリコン単結晶引上装置用カーボンヒータInfo
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- JPS63166195A JPS63166195A JP61315578A JP31557886A JPS63166195A JP S63166195 A JPS63166195 A JP S63166195A JP 61315578 A JP61315578 A JP 61315578A JP 31557886 A JP31557886 A JP 31557886A JP S63166195 A JPS63166195 A JP S63166195A
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- Japan
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- carbon
- heater
- carbon heater
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- cylindrical
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- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims description 54
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 53
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
- H05B3/64—Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は抵抗加熱を行なうための円筒状のカーボンヒー
タの改良に係る。
タの改良に係る。
抵抗加熱を行なうためのカーボンヒータとしては、種々
の形状のものが作製されている。このうち円筒状の形状
を有するものは、例えば半導体デバイスの基板として用
いられるシリコン単結晶の引上袋２に用いられている。
の形状のものが作製されている。このうち円筒状の形状
を有するものは、例えば半導体デバイスの基板として用
いられるシリコン単結晶の引上袋２に用いられている。
すなわち、シリコン単結晶引上装置は、チャンバー内に
ルツボを回転自在に支持し、このルツボ外周に配置され
た円筒状のカーボンヒータを用いてルツボ内のシリコン
原料を溶融し、シリコン融液に上方から回転自在に吊下
された種結晶を浸してこれを引上げることによりシリコ
ン単結晶インゴットを引上げるものである。
ルツボを回転自在に支持し、このルツボ外周に配置され
た円筒状のカーボンヒータを用いてルツボ内のシリコン
原料を溶融し、シリコン融液に上方から回転自在に吊下
された種結晶を浸してこれを引上げることによりシリコ
ン単結晶インゴットを引上げるものである。
上記カーボンヒータは円筒状の外観を有し、下端から上
方へ延びる溝と上端から下方へ延びる溝とが交互に形成
されたものである。そして、印加される電流を、このカ
ーボンヒータの円筒面に沿って上下にジグザグを描く長
い電流経路を流すことにより抵抗加熱を行なうようにな
っている。
方へ延びる溝と上端から下方へ延びる溝とが交互に形成
されたものである。そして、印加される電流を、このカ
ーボンヒータの円筒面に沿って上下にジグザグを描く長
い電流経路を流すことにより抵抗加熱を行なうようにな
っている。
ところで、従来のカーボンヒータは、大径の等方性カー
ボンのブロックの中心部をくり抜いて円筒状のカーボン
成形体を作製し、この成形体に下端から上方へ延びる溝
及び上端から下方へ延びる溝を加工することにより製造
されている。
ボンのブロックの中心部をくり抜いて円筒状のカーボン
成形体を作製し、この成形体に下端から上方へ延びる溝
及び上端から下方へ延びる溝を加工することにより製造
されている。
しかし、従来のカーボンヒータは、一体物の円筒状のカ
ーボン成形体を用いるため、どうしても成形条件の不均
一性の影響を受け、位置によって異なる物性を示しやす
い。このため、使用時に位置によって温度が異なり、均
一な加熱が困難となる。また、円筒状のカーボン成形体
に下端及び上端から延びる溝を加工するため、加工費が
高くなり、製品価格を上昇させるという問題がある。
ーボン成形体を用いるため、どうしても成形条件の不均
一性の影響を受け、位置によって異なる物性を示しやす
い。このため、使用時に位置によって温度が異なり、均
一な加熱が困難となる。また、円筒状のカーボン成形体
に下端及び上端から延びる溝を加工するため、加工費が
高くなり、製品価格を上昇させるという問題がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
り、均一な物性を有し、しかも加工費を低減することが
できるカーボンヒータを提供することを目的どする。
り、均一な物性を有し、しかも加工費を低減することが
できるカーボンヒータを提供することを目的どする。
本発明のカーボンヒータは、中央部に下端から上方へ延
びる溝を有し横断面が円弧をなす複数のカーボン製のヒ
ータ分割体と、隣接するヒータ分割体の下端部どうしを
接続する複数のカーボン板とを具備し、これらを隣接す
るヒータ分割体どうしの間隔及び隣接するカーボン板ど
うしの間隔がほぼ上記溝の幅と同じになるように接続し
て円筒状に組立てたことを特徴とするものである。
びる溝を有し横断面が円弧をなす複数のカーボン製のヒ
ータ分割体と、隣接するヒータ分割体の下端部どうしを
接続する複数のカーボン板とを具備し、これらを隣接す
るヒータ分割体どうしの間隔及び隣接するカーボン板ど
うしの間隔がほぼ上記溝の幅と同じになるように接続し
て円筒状に組立てたことを特徴とするものである。
本発明において、カーボン板は隣接するヒータ分割体ど
うしを機械的に結合するとともに、電気的な接続を得る
ようにするものである。なお、組立てられたカーボンヒ
ータは、従来のカーボンヒータとほぼ同様の外観を有す
る。
うしを機械的に結合するとともに、電気的な接続を得る
ようにするものである。なお、組立てられたカーボンヒ
ータは、従来のカーボンヒータとほぼ同様の外観を有す
る。
上記のようなカーボンヒータによれば、複数のヒータ分
割体として互いに物性の近似したものを選択することが
でき、こうしたヒータ分割体を組立てて製造されたカー
ボンヒータは位置による物性の不均一性を少なくするこ
とができ、均一加熱に有利である。また、従来のように
円筒状のカーボン成形体にそれぞれ上端及び下端からそ
れぞれ溝を加工する場合と比較して、個々のヒータ分割
体の加工は容易であるので、加工費を削減して製品価格
を低減することができる。
割体として互いに物性の近似したものを選択することが
でき、こうしたヒータ分割体を組立てて製造されたカー
ボンヒータは位置による物性の不均一性を少なくするこ
とができ、均一加熱に有利である。また、従来のように
円筒状のカーボン成形体にそれぞれ上端及び下端からそ
れぞれ溝を加工する場合と比較して、個々のヒータ分割
体の加工は容易であるので、加工費を削減して製品価格
を低減することができる。
以下、本発明の実施例を第１図及び第２図（ａ）〜（ｃ
）を参照して説明する。なお、第１図は本発明に係るカ
ーボンヒータの斜視図、第２図（ａ）は同カーボンヒー
タの一部を分解して示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ
）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図、同図（ｃ）は同図（ａ）
のｃ−ｃ’線に沿う断面図である。
）を参照して説明する。なお、第１図は本発明に係るカ
ーボンヒータの斜視図、第２図（ａ）は同カーボンヒー
タの一部を分解して示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ
）のＢ−Ｂ’線に沿う断面図、同図（ｃ）は同図（ａ）
のｃ−ｃ’線に沿う断面図である。
第１図及び第２図（ａ）〜（Ｃ）において、カーボンヒ
ータｌは、１２個のヒータ分割体２．・・・をカーボン
板３、・・・及びカーボンポルト４、・・・を用いて円
筒状に組立てることにより構成されている。
ータｌは、１２個のヒータ分割体２．・・・をカーボン
板３、・・・及びカーボンポルト４、・・・を用いて円
筒状に組立てることにより構成されている。
上記ヒータ分割体２は中央に下端から上方へ延びる溝２
ａが形成され、その横断面は円弧をなしている。また、
その下端部２ｂは外周部がカーボン板３の厚み分だけ削
られ、内周部は外燗部で削られてた厚み分を補って通電
時に局部加熱が起らないように十分な肉厚に加工されて
いる。また、下端部２ｂにはカーボンポルト４用のネジ
穴２ｃが形成されている。更に、ヒータ分割体２の下端
部２ｂは溝２ａの左右で長さが異なるように加工されて
いる。なお、ヒータ分割体２の上端部には傾斜がつけら
れている。一方、カーボン板３にもカーボンポルト４用
の４個のネジ穴３ａが形成されている。このカーボン板
３のネジ穴３ａは隣接する２個のヒータ分割体２の２個
ずつのネジ穴２ｃと合わせられ、カーボンネジ４によっ
て取付けられる。そして、隣接するヒータ分割体２どう
しの間隔及び隣接するカーボン板３どうしの間隔がほぼ
溝２ａの幅と同じになるように接続して円筒状に組立て
られ、カーボンヒータ１が構成されている。これにより
ヒータ分割体２どぅしが機械的に結合されるとともに、
電気的に接続される。
ａが形成され、その横断面は円弧をなしている。また、
その下端部２ｂは外周部がカーボン板３の厚み分だけ削
られ、内周部は外燗部で削られてた厚み分を補って通電
時に局部加熱が起らないように十分な肉厚に加工されて
いる。また、下端部２ｂにはカーボンポルト４用のネジ
穴２ｃが形成されている。更に、ヒータ分割体２の下端
部２ｂは溝２ａの左右で長さが異なるように加工されて
いる。なお、ヒータ分割体２の上端部には傾斜がつけら
れている。一方、カーボン板３にもカーボンポルト４用
の４個のネジ穴３ａが形成されている。このカーボン板
３のネジ穴３ａは隣接する２個のヒータ分割体２の２個
ずつのネジ穴２ｃと合わせられ、カーボンネジ４によっ
て取付けられる。そして、隣接するヒータ分割体２どう
しの間隔及び隣接するカーボン板３どうしの間隔がほぼ
溝２ａの幅と同じになるように接続して円筒状に組立て
られ、カーボンヒータ１が構成されている。これにより
ヒータ分割体２どぅしが機械的に結合されるとともに、
電気的に接続される。
上述したカーボンヒータによれば、ヒータ分割体２、・
・・とじて互いに物性の近似したものを選択することが
でき、こうしたヒータ分割体２、・・・を組立てて製造
されたカーボンヒータｌは位δによる物性の不均一性を
少なくすることができ、均一加熱に有利である。
・・とじて互いに物性の近似したものを選択することが
でき、こうしたヒータ分割体２、・・・を組立てて製造
されたカーボンヒータｌは位δによる物性の不均一性を
少なくすることができ、均一加熱に有利である。
実際に、従来のカーポヒータと上記実施例のカーボンヒ
ータとを用い、１５００’０まで加熱する場合、従来に
カーボンヒータでは位置によって１５００±４０℃の誤
差があったが、上記実施例のカーボンヒータでは温度誤
差は１５００±１０℃であった。
ータとを用い、１５００’０まで加熱する場合、従来に
カーボンヒータでは位置によって１５００±４０℃の誤
差があったが、上記実施例のカーボンヒータでは温度誤
差は１５００±１０℃であった。
また、従来のように円筒状のカーボン成形体にそれぞれ
上端及び下端からそれぞれ溝を加工する場合と比較して
、個々のヒータ分割体２、・・・の加工は容易であるの
で、加工費を削減して製品価格を低減することができる
。
上端及び下端からそれぞれ溝を加工する場合と比較して
、個々のヒータ分割体２、・・・の加工は容易であるの
で、加工費を削減して製品価格を低減することができる
。
以上詳述したように本発明のカーボンヒータによれば、
均一な物性を有し、均一加熱に有利であり、しかも加工
費を低減することができる等工業上極めて顕著な効果を
奏するものである。
均一な物性を有し、均一加熱に有利であり、しかも加工
費を低減することができる等工業上極めて顕著な効果を
奏するものである。
第１図は本発明の実施例におけるカーボンヒータの斜視
図、第２図（ａ）は同カーボンヒータの一部を分解して
示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ ’線に
沿う断面図、同図（Ｃ）は同図（ａ）のｃ−ｃ ’線に
沿う断面図である。 ｌ・・・カーボンヒータ、２・・・ヒータ分割体、２ａ
・・・ｔｔ’ｌｔ 、 ２ ｂ・・・下端部、２ｃ・・
・ネジ穴、３・・・カーボン板、３ａ・・・ネジ穴、４
・・・カーボンボルト。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 （ｃ） 第２図
図、第２図（ａ）は同カーボンヒータの一部を分解して
示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ ’線に
沿う断面図、同図（Ｃ）は同図（ａ）のｃ−ｃ ’線に
沿う断面図である。 ｌ・・・カーボンヒータ、２・・・ヒータ分割体、２ａ
・・・ｔｔ’ｌｔ 、 ２ ｂ・・・下端部、２ｃ・・
・ネジ穴、３・・・カーボン板、３ａ・・・ネジ穴、４
・・・カーボンボルト。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 （ｃ） 第２図
Claims (1)
- 中央部に下端から上方へ延びる溝を有し横断面が円弧を
なす複数のカーボン製のヒータ分割体と、隣接するヒー
タ分割体の下端部どうしを接続する複数のカーボン板と
を具備し、これらを隣接するヒータ分割体どうしの間隔
及び隣接するカーボン板どうしの間隔がほぼ上記溝の幅
と同じになるように接続して円筒状に組立てたことを特
徴とするカーボンヒータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61315578A JP2521682B2 (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | シリコン単結晶引上装置用カ―ボンヒ―タ |
| DE19873743879 DE3743879A1 (de) | 1986-12-26 | 1987-12-23 | Kohlenstoff-heizvorrichtung und zugehoeriges heizelement |
| KR1019870015024A KR880008691A (ko) | 1986-12-26 | 1987-12-24 | 탄소 가열기 및 그 가열요소 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61315578A JP2521682B2 (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | シリコン単結晶引上装置用カ―ボンヒ―タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63166195A true JPS63166195A (ja) | 1988-07-09 |
| JP2521682B2 JP2521682B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=18067034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61315578A Expired - Lifetime JP2521682B2 (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | シリコン単結晶引上装置用カ―ボンヒ―タ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2521682B2 (ja) |
| KR (1) | KR880008691A (ja) |
| DE (1) | DE3743879A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05182747A (ja) * | 1991-06-11 | 1993-07-23 | Soc Europ Propulsion (Sep) | 電気抵抗加熱装置 |
| CN103160913A (zh) * | 2011-12-18 | 2013-06-19 | 洛阳金诺机械工程有限公司 | 一种晶体生长的温度梯度控制装置及其方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003073794A1 (en) * | 2002-02-27 | 2003-09-04 | Carbone Lorraine Composants | Resistor made from carbonaceous material |
| FR2836592A1 (fr) * | 2002-02-27 | 2003-08-29 | Carbone Lorraine Composants | Resistor en materiau carbone |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825346A (ja) * | 1971-08-10 | 1973-04-02 | ||
| JPS5865795U (ja) * | 1981-10-28 | 1983-05-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 熱間静水圧処理装置における加熱装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH243928A (de) * | 1944-09-18 | 1946-08-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | Hohler Heizkörper für elektrische Hochtemperaturöfen. |
| DE1565398A1 (de) * | 1965-09-03 | 1970-04-16 | Atomic Energy Of Australia | Heizstab fuer elektrische Widerstandsoefen und unter Verwendung solcher Staebe gebildete Heizeinrichtung |
| US4410796A (en) * | 1981-11-19 | 1983-10-18 | Ultra Carbon Corporation | Segmented heater assembly |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61315578A patent/JP2521682B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-12-23 DE DE19873743879 patent/DE3743879A1/de not_active Withdrawn
- 1987-12-24 KR KR1019870015024A patent/KR880008691A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825346A (ja) * | 1971-08-10 | 1973-04-02 | ||
| JPS5865795U (ja) * | 1981-10-28 | 1983-05-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 熱間静水圧処理装置における加熱装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05182747A (ja) * | 1991-06-11 | 1993-07-23 | Soc Europ Propulsion (Sep) | 電気抵抗加熱装置 |
| CN103160913A (zh) * | 2011-12-18 | 2013-06-19 | 洛阳金诺机械工程有限公司 | 一种晶体生长的温度梯度控制装置及其方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3743879A1 (de) | 1988-07-07 |
| KR880008691A (ko) | 1988-08-31 |
| JP2521682B2 (ja) | 1996-08-07 |
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